真空镀膜基础知识培训

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1、真空镀膜基础知识培训沈阳法雷奥车灯有限公司工艺工程师：孙成志July2013July2013I1目录:
为什么需要真空？实现加工的目的需要实现不同的工艺
真空的基础什么是真空？如何获得真空？
真空蒸发镀膜原理真空蒸镀物理气相沉积离子清洗与离子轰击
机器的设计单个腔体的多个腔体的July2013I2目录:
产品质量要求产品一般性测试(划格附着力,NaOH耐腐蚀,)
检漏介绍检漏原理方法沈阳工厂检漏标准
镀铝笼架
镀铝常见缺陷
镀膜机常见故障July2013I3为什么需要真空?产品的需要-需要镀铝层-产品的技术要求材料的特性-铝材需要从固态到气态再沉积在产品表面，不氧化

2、工艺过程的需要-真空度越高，材料蒸发的温度越低。-真空度越高，污染就少，沉积率就高。-合适的真空度，才有合适的等离子区域。July2013I4真空镀膜简介真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要领域也是生产和制造车用车灯的关键技术之一，，其基本原理是在真空中把金属，其基本原理是在真空中把金属、、合金或化合物进行蒸发、合金或化合物进行蒸发（（溅射（溅射），使其涂覆工件表面。按照镀膜方法分,,,在车灯制造行业普遍使用真空蒸发镀和真空溅射镀,在车灯制造行业普遍使用真空蒸发镀和真空溅射镀，，按，按照真空镀膜机设计制造形式分卧式镀膜机和立式镀膜机镀膜工序是车灯制造业中较关键的工序，，它是将毛坯映光经此

3、工序加工，它是将毛坯映光经此工序加工后镀上一层铝膜，，使毛坯映光达到具有一定反射率的发射镜，使毛坯映光达到具有一定反射率的发射镜。。另外对于车灯。另外对于车灯的装饰件进行装饰镀膜。July2013I5真空基础知识目的：为提高在镀膜过程中沉积物的稳定性。我们偶尔能发现，有的沉积物会产杂色，主要是由于氧化物和氮化物作用所导致。为此需要一个密闭容器，以提高沉积过程中的真空。空气分子水分脏污腔体分子移动腔体内的分子出去，逐步形成正空。July2013I6真空基础知识通常环境高真空环境脏污（（水（水水）水）清洁表面可以提供一个清洁的表面July2013I7真空基础知识真空量度单位1标准大气压=7

4、60mmHg=760(Torr)1标准大气压=1.013x105Pa1Torr=133.3Pa1mbar=100Pa水银柱，1N/M2=1PaJuly2013I8真空基础知识工业上把压力低于大气压的气体空间称为真空，，习惯上又把真空分为低真空，习惯上又把真空分为低真空、中真空、、高真空、高真空、、超高真空、超高真空、、极高真空、极高真空。常用真空表示单位有毫巴（mbar）、托托（托（Torr）、帕斯卡（pa）1mbar=100pa低低真空低真空：1.0E3mbar（（大气压（大气压）----10mbar中真空：10mbar---1.0E-3mabr食品干燥,热处理,溅射镀膜高真空

5、:1.0E-3mbar---1.0E-8mbar蒸发镀膜工艺真空范围超高真空:1.0E-8mbar---1.0E-12mbar极高真空:<1.0E-12mbarJuly2013I9真空基础知识几几种常用真空泵的工作压强范围几种常用真空泵的工作压强范围旋片机械泵105-10-2pa3-1萝茨泵10-10pa100-10-5pa扩散泵101-10-8pa涡轮分子泵100-10-10pa溅射离子泵低温泵10-1-10-11paJuly2013I10如何获得真空真空镀膜机的组成真空腔：：真空腔是镀膜机的主体：真空腔是镀膜机的主体，，内部是蒸着系统和存放需要镀膜的，内部是蒸着系统和存放需要镀膜的

6、靶材。抽真空系统：：抽真空系统是给真空腔内的空气排出：抽真空系统是给真空腔内的空气排出，，使真空腔内行成，使真空腔内行成真空。（真空泵、、管路、管路、、阀门、阀门）蒸着系统：蒸着系统是给蒸着物质以加热的方法使蒸着物质蒸发出来。并均匀的镀在基片表面构成薄膜。冷却系统：：冷却系统是给一些发热部分起冷却作用：冷却系统是给一些发热部分起冷却作用。控制系统：：控制系统是对镀膜机的各个系统进行控制操作：控制系统是对镀膜机的各个系统进行控制操作。检测系统：：检测真空腔及各管路真空度：检测真空腔及各管路真空度电力系统：：电力系统是给镀膜机供应电力：电力系统是给镀膜机供应电力。July2013I11如何获

7、得真空立式双开门镀膜机July2013I12如何获得真空真空泵的分类气体传输泵:是一种能将气体不断地吸入并排出泵外以以达到抽气目的的真空泵以达到抽气目的的真空泵，，例如旋片，例如旋片机械泵泵、泵、、罗茨泵、罗茨泵、、油扩散泵、油扩散泵、、涡轮分子泵、涡轮分子泵。气体捕集泵:是一种使气体分子短期或永久吸附、、凝、凝结结在泵内表面的真空泵结在泵内表面的真空泵，，例如分子筛，例如分子筛吸附泵、、鈦升华泵、鈦升华泵、、溅射离子泵、溅射离子泵