唐殿军__硫酸铜含量对深镀能力影响评估

唐殿军__硫酸铜含量对深镀能力影响评估

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1、2ME技術報告書文件編號:文件傳送和文件做成•審核.批准收件ZPTIN、QA作成唐殿軍2008/10/4抄送經理/副經理審核FAX批准試驗方案設計原理影響因素試驗方法判定方法及改善前數據硫酸銅含量、湧流、打氣對深鍍能力的影響哈林槽評估CuSO480g/l與65g/l及開關打氣情況下,深鍍能力的變化縱橫比4:1深鍍能力75%評估項目和相關指標:1、哈林槽測試確認可行性一高縱橫比測試板在線測試(4#線34#缸)->DB-7785F生產板在線34#缸測試通孔深鍍能力變化;文件核心内容描述技術項目硫酸銅含量對深鍍能力影響評估目標指

2、標通孔深鍍能力提高9%,盲孔深鍍能力不變化報告摘要现况:ZPTIN圖形電鍍深鍍能力較差,縱橫比4:1通深鍍能力75%表銅厚度大,容易造成夾膜短路問題。技術點:通過調整酸銅比,確認最佳條件,提高通孔深鍍能力QDC變什量:Q:縱橫比4:1,提高深鍍能力9%,電鍍效率低,電流密度大,D:不變化C:預期電流密度降低0.5ASF,節約鍍銅成本3.5%(批試時評估)2、正常盲孔板開大窗與開小窗深鍍能力變化情況對比確認'要求深鍍能力>70%。試驗方案及結果孔徑0.20.30.40.50.60.70.8縱橫比10:16:15:14:13:

3、12.8:12.5:1孔銅11.6014.5915.5916.3315.7515.0917.6011.6915」815.5316.2716.7315」217.62avg11.6514.8915.5616.3016.2415.1117.61表銅17.63T/P66%84%88%92%92%86%100%1、哈林槽測試硫酸銅含量、湧流、打氣對深鍍能力的影響:孔徑0.20.30.40.50.60.70.8平均深鍍能力板厚2222222縱橫比10:16:15:14:13:12.8:12.5:1電銅效率1線上測試數據(硫酸銅含量80

4、g/L)52%58%69%75%79%85%87%75%2哈林槽不開打氣(硫酸銅含量80g/L)52%66%72%75%80%83%85%77%3哈林槽不開打氣,硫酸銅離子降低至65g/L71%81%80%82%84%90%91%85%4銅離了降低至65g/L,開打氣66%75%78%84%85%85%88%82%5正常開打氣(硫酸銅含量80g/L)—71%75%77%87%86%87%81%結果:硫酸銅含量由80g/L降低至65g/L,4:1縱橫比通孔板深鍍能力由75%提高至84%2、不同硫酸銅含量在線試板生產深鍍能力如

5、下(板厚2mm):硫酸銅含量65g/L硫酸銅含量80g/L孔銅10.7013.4612.7712.9514.1514.2015.219.6612.8014.3212.8113.6314.0316.41avg10.1813.1313.5512.8813.8914.1215.81表銅16.37T/P62%80%83%79%85%86%97%3、取DB-7785F型號板對比不同硫酸銅含量深鍍能力:藥水狀態硫酸銅含量80g/L硫酸銅含量65g/L縱橫比1.6/1.01.6/0・35(大銅面排孔)1.6/0.351.6/1.01.6

6、/0・35(大銅面排孔)1.6/0.35孔銅18.6017.4118.4519.0017.9916.5619.7117.6017.9419.5017.615.20AVE18.2917.64表銅24.2020.422.5020.5020.2017.00AVE22.3718.84T/P79%86%81%94%88%93%AVET/P81.75%93.66%硫酸銅含量由80g/L降低至65g/L,哈林槽測試結果深鍍能力提高9%-高縱橫比測試板在線測試深鍍能力提高13%->DB-7785F生產板在線34#缸測試通孔深鍍能力提高12

7、%4、取FI-9098A與FI-8928A開小窗板,對比硫酸銅含量調整對深鍍能力的影響,21#銅離子80g/L,34#硫酸銅含量65g/L:取數方式:每種藥水取2個切片,切片讀數如下:名稱切片編號底銅厚孔壁銅厚1孔壁銅厚2表銅厚1表銅厚2深鍍能力偏差FI-9098A開大窗21-118.2923.8824.1627.627.2611.0%21-215.1915.1515.920.0119.3378.4%34-113.8115.6214.2615.8714.2634-215.5418.418.0820.7320.484.3%F

8、I-8928A開小窗21-112.42:3.5616.6^20.420.769.154.3%21-214.515.8717.1821.3921.0574.7%34-114.521.421.225.1924.4334-213.111917.3122.7820.775.8%試板孔形圖片展示:FT-8928A

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