切片机张刀对切片质量的影响-45所

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1、切片机张刀对切片质量的影响内圆切片机是IC行业中对半导体材料进行切片的设备，它是以内圆刀片作高速旋转运动，而丿J片内圆刃口镀上金刚砂，被切割材料相对丁•刀片旋转中心在径向做相対运动，从而实现对材料的切割。刀片基体材料为o.lmm厚的不锈钢钢带。由于钢帶本身具冇抗拉伸强度的机械特点，所以利用张刀装置将刀片和连接刀片的刀环形成刚体，在张力的作用下，使刀片产生刚性而满足在切割过程中刀体的刚度。1•刀片的张丿J装置刀片的张刀方式--般有两种，--种是液压张刀，另一种是机械张刀。1.1液压张刀液压张刀方式是在固定刀片的上刀环槽内与压力环上面形成的腔体内注入黄油，

2、产生压强P,在压力F的作用下，压力环向下移动，这样实现刀片由圆心向四周的拉伸变形，在刀体内产生张力，在张力的作用下形成刚体。如图1所示。1.1.1液压张刀的特点市于上刀环和压力环形成的腔体是连通的，其内部的压强相等，作用于压力环上的压力是均匀的，反映到刀体内的张力也是均匀的，刀片的变形均匀平坦。但是腔体内注入的液压油的压强不能足够大和液压油长时间后有泄漏，所以在刀片上产牛的张力和刚性有减小的趋势。ffiI液圧张7J请况1.1.2液压张刀的检测通过丿J片刃口处径向的变形量可以判断岀刀体内的张力和刚性，釆用液压张丿J方式，刃口处径向变形量可川刀片张力规检测

3、，如图2所示。将刀片张力规安放于刀片刃口处，通过上刀环上的压注油杯，向刀环腔体内压入黄油，压力环产生位移，刀片rh圆心向四周被拉伸变形，张力规上的白分表即可显示出变形量A,据此可以判断出刀片的刚性。一般刀片的规格不同变形量A也不同。变形量△—般为经验值。2晨/ifll刀钩岭期1.2机械张丿J机械张刀方式是在上刀环上安装若干个紧定螺钉，在紧定螺钉的顶压下，压力环产生位移,以实现刀片由圆心向四周被拉伸变形，在刀体内产生张力使莫形成刚体。如图3所示。1.2.1机械张刀的特点机械张刀方式具有张力大，刚性强的特点。所以H前•内圆切片机大部分采用此种方式。但是机械

4、张刀方式，刀体内的张力和变形没有液压张丿J方式丿J体的张力和变形均匀。1.2.2机械张刀的检测采用机械胀刀方式刀片刃口处的变形量可由对刀滚轮检测，如图4所示，拧紧张刀螺钉，压力环产生位移，这时刀片由圆心向四周被拉伸变形。通过对刀滚轮上的百分表能够看出变形量A和刀片刃口中心相对于刀环旋转中心的偏羌8,偏羌6越小越好，刀片径向变形量△由刀片的规格不同而不同，一般为经验值。刀片1.3张刀和刀片的变形刀体山圆心向四周产生拉伸变形，刀体内产生张力，丿J体内的张力，在同半径圆上各点相等,而由圆心向外逐渐增人，最外边的张力最大刀体变形也最大。这种情况是在刀体材料均匀

5、、内部应力和同和压力环对刀片的压力相等的情况下的理想状态。但是在实际操作中特别是在机械张刀方式的情况下，在刀体上的张力和刀体变形不是象上述的同心恻的形式，而出现了断层。这是由于压力环所受压力的不均匀，造成压力环对刀片的拉伸变形不均匀。受到拉伸变形大的部位内部张力大，拉伸变形小的部位内部张力小，山于刀体内部张力不相等，所以刀体岀现凹凸的现象,Iti5藏〃片刀口的勿吆刀片刃口不在同［员

6、上，反映到刃口处的情况见图5。2在切割过程中刀片的动态特性刀片对材料的切割过程就是刃口的金刚砂对材料的薦削过程。在切割过程小必须使用切削液，切削液在切割过程中主要起冷却和润

7、滑的作用。但是由于切削液的存在和刀片的髙速旋转运动，山牛顿内靡擦定律可知，丿J片和切削液与晶片Z间产生凜擦力。如图6所示。rrh牛顿内摩擦定律可知，刀片与晶片2间的内摩擦力为：—切削液的动力貓度从上式中可以看出高速旋转刀片対晶片有很大的摩擦力。刀片经张紧后，市于刀体岀现凹凸现彖，所以在刀片高速旋转时，轴向表现出來的是i种震动，而刀片和晶片间有切削液，所以刀片上的震动被切削液传递到了晶片上。这种震动随着切割面积的增加而增大，当晶片切割行将结束时，晶片的振动最大，如果振动过大，会造成晶片助边的现象。在摩擦力的综合作用下，严巫时会产生飞片的现彖，所以这种震动

8、是影响切片质量的主要因素之一。刀片“卄体的切W3刀片变形当刀片工作一段时间后，由于切削力的作用，刀体内的张力有所变化，因为刃口处所受的切削力最大，所以刃口处的丿J体产生了新的变形，这样刃口处刀体的凹凸现象更为明显，在这种状态下切片，晶片会出现刀纹增大和弯曲度增大等现象。这时必须进行修丿J,修刀就是用刀片切割油石，将刀片刃口突出部分的金刚砂用油石磨去一部分,这样尽量使刀片刃口在同一回转平面上。从而减小刀片在高速旋转时刃11处的振动。4切片过程中易出现的几种现象4.1崩边现象在切割过程中，晶片有崩边的现彖出现，影响晶片质量。造成崩边现象除以上分析的刀片振动

9、外，还应根据切割阶段來判断其造成助边的原因。如果射边现象在切割初期出现，应当考虑是山于主轴及刀