车间相关制度和流程表

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1、1目的为了规范生产线各种信息表单填写及部分操作要求，编写本规范。2范围本规范适用于生产线一线员工的操作要求。3职责生产线员工：负责按照本规范的要求进行相关操作。生产主管负责监督管理。4定义无5内容5.1材料信息单的流转各工序（岗位）开始生产新批次硅片时，必须笫一时间将原材料信息单上的相关内容写在生产现场的看板上，在此批硅片的第一张单子流入下一道T序时，一定要同时流入原材料信息单。5.2各工序生产信息看板（见表1）的填写5.2.1各工序在生产新批次产品时，第一时间填写好相关信息（型号，厂家，厚度，电阻率）。5.2.2在信息看板上每两个小时及时记录一次产量和碎片（部分工序述要记录返工片）,不累加

2、。5.2.3各工序根据当班产量要求，设定每対个小时的均产量，前后道工序及时沟通，做到匀速生产。5.3返工片的投放要求5.3.1前四道工序（清洗扩散刻蚀PECVD）产生的返工片，各工序分别用热缩包装后给当班清洗人员，在包装外贴上该返工片的所有信息，包括型号，厚度，批次，数量，班次，岗位，包装人及年刀F1。要注意的是：不同型号，不同厚度，不同批次的返工片要分开包装。清洗人员负责登记（见表2）o5.3.2当相同型号，相同厚度的返工片数量达到500PCS时，清洗人员应及时投放生产。在流程单上注明“返工片”字样，并写明是哪几个批次，以备核查。5.3.3返工片单独入库。5.4生产流程单的填写5.4.1岗

3、位流出数量+碎片+返工片=上道岗位流入数量。5.4.2严格区分每一张流程单所对应的硅片，不能混淆。5.4.3前道岗位流出一定数量的硅片必须有一张相对应的流程单同时流出。并负责相关记录的准确性。5.4.4清洗间每投四百片写一张对应的流程单，并顺序编号（1234•••）o下一个批次的流程单要重新编号。5.5工序生产记录的填写（见表3系列）5.5.1各工序生产记录填写要和流程单一一对应。5.5.2管P岗位将前面流过来的一区流程单（见表4）分成两张二区流程单（见表5）。并以批次为限重新顺序编号（1234…）。每张单子数屋以管P—个满舟片数为准，结批时，本批片子余多少就写多少数量一张单子流向丝网岗位。

4、下批片子的第一张单子数量以管P第一舟镀膜后的数量为准。5.5.3一区流程单由管P人员负责收集整理，并放置到指定地点。5.6结批条的填写（见表6）5.6.1齐工序结批时，当班要第一时间将结批条填写准确后交给下一个工序，并签字确认。5.6.2结批条上的产量，碎片及返工片均以批次为单位填写。5.7流到分选岗位的所有表单由分选人员负责分类整理，并放置到指定地点。5.8岗位碎片由当班分类放入指定的碎片收集箱（扩散前扩散后镀膜后印刷后烧结后）。6相关文件无7相关附件见下表生产流程单2种生产记录7种结批条1种返工片使用表3种生产现场看板班次：月R原材料信息时间产量碎片返工片异常原因备注记录人厂家8：00—

5、10：00型号10:00—12:00厚度12:00—14:00电阻率14:00—16:00其它16:00—18:0018:00—20:00返工流程单日期班次对应序号型号批号返工岗位返工数量返工原因：返工流程（配液）:丁艺确认：操作员：专员确认：返工入库单H期班次对应序号型号批号返工岗位返工数量返工原因：返工片登记记录批次号工序接收日期返工班次返工原因数量送片人接收人仓库确认批次产量退库碎片返工差异确认人表3：装片、清洗、扩散、刻蚀、PECVD、丝印、分检、外观检查（编号：QF-MM-005）表4：工序流程卡（一区）（编号：QF-MM-006）工序流程卡（一区）recordofprocess（

6、fristsection）日期/date:班次/shift:批量/batchquantity：型号/type：批号/batchNO.:序号/serialNO.:工序process流入碎片inpourscrap差异diffe-rent流入合格品数okquantity岗位碎片stationscrap返工片数rework流出仟格品数pourquantity操作员工operator时间time备注remark装片loadingwafter清洗腐蚀/甩干acidetching/drjdng扩散前装片loadingwaferbeforediffusing扩散后卸片unloadingwaferafterd

7、iffusing等离子刻蚀plasmaetching去磷硅玻璃/甩干wipingoffPSG/drying表5：工序流程卡（二区）（编号：QF-MM-007）工序流程卡（二区）recordofprocess（secondsection）Fl期/date：班次/shift：批fi/batch：型号/type：批号/batchNO.:序号/serialNO.：工序流入碎片inpourscrap差异differen