空间洁净技术

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1、洁净技术前言一、洁净技术的基本概念二、综合发展的几项洁净技术三、物净、人净与生产四、W6线的洁净状况结语前言1、LCD发展迅猛—大型化、高精细化纳米级2、微粒沾污—薄膜缺陷和针孔来源：建筑材料—天花板、地面、墙面等生产用品—设备、工具、液体、气体等工艺运作—溅射粉末工作人员3、人眼可见微粒仅为10微米93%5微米7%一、洁净技术的基本概念净化(洁净)技术及玷污(微玷污)控制技术国际上常用玷污控制一词，即对加工或处理对象在加工处理过程中由于玷污物质的存在，影响对象的成功率，而对到达对象表面的玷污物质进行控制后，能提高对象的成功率，此有效控制玷污物质（亦包括加工或

2、处理对象带有对人体有害的玷污物质需进行处理及隔离）的技术。洁净室等级标准《工业企业洁净厂房设计规范》等级尘粒个数粒/m3（粒/L）粒径≥0.5μm≥5μm100≤35×100（3.5）—1000≤35×1000（35）≤250（0.25）10000≤35×10000（350）≤2500（2.5）100000≤35×100000（3500）≤25000（25）美国联邦标准209E等级尘粒数≥0.5μm尘粒数≥5μm粒/ft3粒/m3粒/ft3粒/m31001003,500//10001,00035,00072501000010,000350,000702,50

3、0100000100,0003,500,00070025,000二、综合发展的几项洁净技术1、空气净化—是洁净室的主要组成部分，洁净技术的主要分支。2、高纯水—是镀膜重要的前处理工艺设备条件。3、高纯气体—是镀膜工艺及产品质量保障条件。ArO2Ar/O2空气净化洁净室的头等重要任务：控制室内空气浮游微粒子对生产的污染。空气净化措施：1）空气过滤—用过滤器有效地控制从室外引入室内的空气洁净度。2）组织气流排污—在室内组织特定形式和流强的气流，利用洁净空气把生产中发生的污染物排除。3）提高室内空气静压—防止外界污染空气从门窗以及各种缝隙渗入洁净室内。三级（初、中、

4、高）过滤类过滤主要对象别粒径（μm）初效＞10μm中效1—10μm亚高效＜5μm高效＜1μm气流组织与换气1、乱流与洁净度气流具有不规则的偶然轨迹。稀释洁净度：可提供10万级、万级或1000级洁净度工作环境。2、层流与洁净度层流洁净室气流的流线为单一方向且各个方向上保持互相平行的成层流动。洁净度：可提供1000级、100级或更高级洁净度的工作环境。水及水的纯化1）水中的杂质a.无机物—呈离子态，粒径在“埃”级b.有机物—油脂碳氢化物、洗涤剂及微生物的代谢产物等，不带电，但极细微，高分子有机物大小为“埃”、μm、mm级c.胶体物—包括硅酸及铁、铝的某些化合物，腐

5、殖质胶体等，带电荷，不沉淀，粒径在μm到mm级d.微生物—包括细菌、浮游生物及藻类2）“纯水”及“超纯水”高纯水制取系统典型流程：气体的纯化与净化气体纯化＞99.99%气体净化清除气体中夹带的尘粒含尘量：≤3.5粒/L（＞0.3μm）气体发生站：＞600粒/L（＞0.3μm）尘粒过滤器三、物净、人净与生产1、人对生产环境的污染特性2、人净措施概述3、人净程序人对生产环境的污染特性1、自身产生的污染1）体表脱落物2）体表与呼吸的排出物汗钠离子（Na+）/呼吸道排出物2、携带的污染物1）微粒子a.人身涂抹物，如头油、香水、膏脂、脂粉等b.随机附着头发、衣服和鞋上

6、的外界环境污染物质c.服装的磨损脱落物，如棉纤维或羊毛纤维2）微生物人净措施概述人净措施主要包括：水洗、换衣和鞋、空气吹淋三个方面。1）水洗—一般洗手、脸，无菌行业须洗澡2）换衣鞋—净化服（“人体过滤器”）a.防尘服适于≤10万级环境，允许略带微尘、静电b.无尘服适于≤1万级环境，衣服上无0.5微米以上的灰尘附着，不产生尘粒及静电3）空气吹淋—高速洁净气体吹扫身上附着物人净程序一般工业洁净厂房内人净用室的排列上班：净鞋—换鞋—脱存外出服—盥洗—穿洁净工作服—空气吹淋（风淋）—洁净生产区下班：洁净生产区—换外出服—换鞋四、W6线的洁净状况年前：净化间清靶，真空室

7、内卫生差，净化间内卫生差后果：玻璃清洗不良、靶材中毒严重—连续生产时间短、生产效率低年后：净化间外清靶，真空室卫生大清理，百级间卫生大清理结果：靶材使用状况好转，连续生产时间增加结语希望通过学习1、建立生产中的洁净作业观念2、增进人员的自我修养3、养成规范的作业习惯，防止操作失误4、健全严格的管理体制最终目的提高产品质量和生产率谢谢！制作：刘潺时间：2002.6