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时间:2019-09-08
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1、第一章PN结空间电荷区的形成过程:在形成结Z前,N型材料小费米能级靠近导带底,P型材料屮费米能级靠近价带顶。当N型材料和P型材料被连接在一起时,费米能级在热平衡时必定恒等。恒定费米能级的条件是由电子从N型一边转移至P型一边,空穴则沿相反方向转移实现的。电子和空穴的转移在N型和P型各边分别留下未被补偿的施主离子N/和受主离子N]。它们是荷电的,固定不动的,称为空间电荷。空间电荷存在的区域叫做空间电荷区。加偏压的PN结的能带图的画法:w=2kq(00+5)2一qNd耗尽层宽度:雪崩击穿:N区的杂散空穴进入空间电荷层,从电场获
2、得动能,和晶格碰撞电离出一个电子,而后原始的和产生的载流子继续发生更多的碰撞,使载流子数得到倍增.(能描述鳥电压下击穿的结)齐纳击穿:在高电场下耗尽区的共价键断裂产生电子和空穴.即冇些价电子通过量子力学的隧道效应从价带转移到导带,从而形成反向隧道电流.(只能描述具冇低击穿电压的结)反向偏压:在P侧加上相对N侧为负的电压2”势垒高度增加,阻挡载流子通过PN结扩散,结的阻抗很高,电流非常小。(PN结耗尽层的宽度随着反向偏压的增加而增加。)产生隧道电流的条件:(1)费米能级位于导带或价带的内部;(2)空间电荷层的宽度很窄,因而
3、有高的隧道穿透儿率;(3)在相同的能杲水平上在一•侧的能带屮有电子•而在另一侧的能带屮有空的状态。当结的两边均为重掺杂,从而成为简并半导体时,(1)、(2)条件满足。外加偏压町使条件(3)满足。PN结一同质结:由导电类型相反的同一种半导体单晶材料组成。异质结:由两种基木物理参数(如禁带宽度)不同的半导体单晶材料组成的结。pN异质结:和同质结相似,其势垒在界而两侧呈抛物线形状。不同的是,在界而处宽带一侧多了一个尖峰,窄带一侧出现一个能谷。尖峰可以阻止电子向宽带一侧运动一载流子的限制作用。异质结的特性:(1)异质结的高注入比
4、;(2)异质结的超注入现象;(3)异质结对载流子和光的限制:(4)异质结的“窗口效应”异质结的“窗口效应”:两种半导体在一起形成异质结时,山于禁带宽度不同,对光波的吸收波长也不同,即光响应不同。只有在光子能量处于的区域时异质结才有光响应(光子穿透宽带材料而被窄带材料吸收,产生光电流),这一区域Z外光响应很小,这就是所谓的异质结的窗口效应。应用:被用来制作异质结太阳能电池的窗口层、激光器端面保护层,可以提高器件性能、延长器件寿命。量子阱:两个靠得足够近的相向异质结可以构成理想的矩形势阱,当阱宽可以和电子的德布罗意波长相比,
5、而势金的宽度较大,使两个相邻势阱中的电子波函数不能互相耦合(不发生交叠),即形成量子阱。超晶格:山两种或两种以上性质不同的薄膜相互交替生长而形成的多层结构的晶体。i般其周期长度要比各薄膜单晶的晶格常数大儿倍或更多。超晶格,多量子阱区别:多量子阱,势垒足够厚和高时,相邻势阱屮的电子波函数不发生交普,电子行为如同单个阱中电子行为的简单总和,适合制作低阈值,窄谱线的发光器件;超晶格,势垒比较薄和高度比较低时,由于隧道共振效应使阱中的电子隧穿势金,势阱中分立的电子能级形成了子能带,适合制作人功率的发光器件。第二章外延生长:在经过
6、仔细加工的晶体衬底的表面上,在一定的条件下(如温度、真空、气流等),某些物质的原子或分丁•会依照一定的晶向和结构在衬底止规则地排列,形成新的一层单晶层,其晶休的取向和结构会类同-丁•原衬底,这个单晶层称之为外延层,这种生长外延层的技术称之为外延生长。按作用分类:正外延和反外延:器件直接做在外延层上叫正外延;而器件做在衬底上,外延层只起支撑、隔离等作用,则叫反外延。按材料的同异:同质结外延和异质结外延,衬底和外延层为同一种材料时的外延生长为同质结外延,衬底和外延层的组分不同时的外延生长为异质结外延。按生长方法:液柑外延、分
7、子束外延、金属冇机物化学气相沉积、化学束外延、超高真空化学气相沉积等MOCVD(金属有机物化学气相沉积)结构:源输运系统,反应室系统,控制系统,尾气处理和安全保障系统MOCVD特点:1、生长所用的源都为气体,对于III族或II族源來说,釆用它们的金属冇机物气体,对于V族或VI族来说,则采用它们的烷类气体;生长室为常压或低压,无需超高真空;2、生长温度不太高(600-700°C),生长速率较快,可实现各种超晶格、量子结构;3、纯度、组分分布、掺杂分布可控,可获得高纯度、均匀组分、突变组分或掺杂的各类界质结构;4、晶体完整性
8、好,可消除各类缺陷;5、生长过程中由计算机预先设计好的程序控制,可控性好,但不能进行实时监测;6、生长快,生长速度可以高达nm/min,片数多,可同时生长许多片,重复性好,适宜于大批战生产;7、MOCVD的实验设备比较昂贵,所用的源气体的毒性很大,需要特别注意安全防护措施。MOCVD优点:1、利用气态源进行化学反应和
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