导线引起的寄生效应及其尺寸缩小特性

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1、2013-2014学年第二学期集成电路封装与测试课程考核导线引起的寄生效应及其尺寸缩小特性作者：郭海天（2011303612）胡耀伟（2011303614）雷婉（2011303604）王凯（2011303622）王泽峰（2011303624）摘要介绍了导线引起的各种寄生效应的简单模型，探讨了寄生效应在工艺尺寸缩小下的特性。论述了这些寄生效应对集成电路性能的影响，并提出了相应的优化方案。针对集成电路的未来发展，大胆提出了一种三维器件分布模型。该模型建立在单晶硅制造技术进步的基础上，设想可直接生长出单晶硅层，从而在一块芯片上实现半导体器件的多层分

2、布。在二维分布中需要长的互连线连接的，可用短的垂直连接在三维结构中实现，因而可缩短互连线的长度。关键词：尺寸缩小导线寄生效应优化三维器件分布IAbstractThispaperpresentsavarietyofsimplemodelsoftheparasiticeffectsintroducedbythewires,andexploresthescalingbehavioroftheparasiticeffects.Theinfluenceoftheseparasiticeffectsontheperformanceofintegrated

3、circuitsisdiscussed,andcorrespondingsolutionsareproposed.Forthefuturedevelopmentofintegratedcircuits,weboldlyproposedathree-dimensionaldevicedistributionmodel.Themodelisbasedonadvancesofmonocrystallinesiliconmanufacturingtechnologytoachievemultilayerdistributionofsemiconduc

4、tordevicesonasinglechip,imaginingthatmonocrystallinesiliconlayercanbedirectlygrown.Thelonginterconnectwiresintwo-dimensionalcanbereplacedbytheshortverticalwires,sothelengthoftheinterconnectwiresisshortened.Keywords:dimensionsreduction;interconnectwire;parasiticeffects;optim

5、ization;three-dimensionaldevicedistributionII目录一、引言...................................................................................................................-1-二、工艺尺寸的缩小历程.......................................................................................-1-三、导线

6、引起的寄生效应.......................................................................................-1-1、集成电路的导线.........................................................................................-1-2、导线的寄生电容...................................................................

7、......................-2-3、导线的寄生电阻.........................................................................................-5-4、导线的寄生电感.........................................................................................-6-5、电迁移..........................................

8、...............................................................-7-四、寄生效应造成的影响及其尺寸缩