集成电路用磷铜阳极

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1、靶材技术成熟度等级划分及定义编制说明（讨论稿）标准编制组二〇一七年十月靶材技术成熟度等级划分及定义编制说明1工作简况1.1任务来源集成电路、平面显示和各种电子元器件等电子制造业是信息产业的硬件基础，其技术和产业水平是衡量国家信息技术竞争力的重要标志之一。近年来，随着我国电子信息产业飞速发展，电子元器件、集成电路制造、TFT-LCD平面显示、磁记录以及薄膜光伏太阳能等生产线均有大量高技术企业出现；高纯溅射靶材是这些高科技行业镀膜用关键配套材料之一。溅射靶材市场规模日益扩大，已蓬勃发展成为一个专业化新材料产业，我国成为了世界上高纯溅射靶材的最大需求地区之一，这也为中国靶材制造业的发展提供了机遇和挑

2、战。我国政府高度重视电子制造业新材料产业的发展，在《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》、《中国制造2025》和《新材料产业发展指南》等国家层面的相关规划中都将“高纯金属及合金等新材料”，作为重点领域急需突破的材料。但迄今为止，中国在电子元器件、集成电路和平面显示等高端领域应用的溅射靶材缺乏系统深入研究，各类靶材产品的质量参差不齐，靶材技术成熟度指标等级缺乏统一标准，严重制约了国内外靶材用户对靶材制造商的产品实力，技术成熟度的评判。技术成熟度反映的是技术对于项目预期目标的满足程度。技术成熟度评价是为了适应新技术发展而产生的一项管理工具，是基于技术发展成熟的客观规律，对其成熟程度进行量化评价的

3、一套系统化标准、方法和程序。“建立新材料技术成熟度评价体系，制定新材料技术成熟度通用分级标准，完善行业管理”是工业与信息化部、发展与改革委、科技部、财政部四部委联发的《关于加快新材料产业创新发展的指导意见》和《新材料产业发展规划（2016-2020年）》中明确提出的重点任务。2017年工信部明确提出了要大力推进重点新材料规模化发展，其中金属靶材制备技术达到国际先进水平是工作的重中之重。本标准的研究内容同时符合国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项》立项的《超高纯系列溅射靶材开发与产业化》项目的相关内容。靶材技术成熟度研究，首先是靶材制造技术成功的保证；通过成熟度研究，确定靶材

4、制造中的关键技术是否达到应用标准，有利于规范产品的设计与制造。其次也有助于风险管理，管控风险。第三，可以作为企业制定战略的重要参考尺度。通过对照靶材制造技术的目前成熟度与要求的成熟度，明白有待完成的空间，从而制定相应的行动计划。《靶材技术成熟度等级划分及定义》是国内首个靶材技术成熟度国家标准，开展本项目的研究，建立靶材技术成熟度评价国家层面的统一标准，可以协助企业对研发产品进行技术成熟度评价，指导企业的靶材研发和生产。同时还可以依据标准提出的技术成熟度量化分级标准，有利于指导社会投资，提高投资效率；依据此标准，可以使企业院所在自行开展或申请科研建设投资的时候，判断其技术所处的总体水平，进一步明

5、确投资方向；在此基础上对全国靶材制造行业技术发展状况进行全面科学量化的评价，为国家相关部委提供决策与规划参考，规范和引导我国靶材制造产业的健康发展和优化布局。通过该项目的实施，建立靶材技术成熟度分级的明确标准，对进一步推动靶材技术领域的标准化、系列化、通用化具有重要意义。1.2起草单位有研亿金新材料有限公司，简称有研亿金，2014年1月由“有研亿金新材料股份有限公司”更名为“有研亿金新材料有限公司”，隶属于北京有色金属研究总院。有研亿金属于中关村科技园高新技术企业、“十百千工程”重点培育企业，拥有北京市企业技术中心,2012年公司被评定为“国家级科技创新型示范企业”。公司是中国半导体行业协会支

6、撑分会理事单位、中关村集成电路产业联盟理事单位、上海黄金交易所综合类会员、中国有色金属学会贵金属学委会副主任单位和全国有色金属标委会贵金属分标委会副主任单位。经过10多年的发展，有研亿金已成为具备一定产业规模在微电子领域内具有良好影响力的快速成长型企业。有研亿金拥有30多年专业从事稀有和贵金属材料研究、开发和生产经验，获得并积累了一大批国家和部级科研成果，培养造就了大批科研、生产人才。有研亿金是国内率先开展磁控溅射用靶材的单位，在微电子领域用高纯金属靶材制备加工领域具有国内领先的优势。多年来，有研亿金利用具有自主知识产权的高性能金属材料制备技术，开发了独具特色的靶材产品，产品涉及各种材料Al、

7、Cu、Ti、Ru及其合金，各种难熔金属等，形成了具有年产值近亿元的产业基地，如先进镀膜用半导体材料、光学材料、稀土材料、集成电路相关材料、磁存储相关材料等，具备一大批对高纯金属材料制备加工技术具有坚实理论基础和丰富实践经验的专家和技术人员。有研亿金历年承担国家级、省部级科技开发项目近百项，其中“十一五”、“十二五”期间，公司承担了国家02专项、国家国际重点合作项目、国家高技术产业化项目、国家科技支