水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究报告

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1、目录第一章概述31.1项目提出背景31.2技术开发状况31.3现有产业规模41.4项目产品的主要用途、性能41.5投资的必要性41.6预期经济效益51.7本企业实施该项目的优势5第二章技术可行性分析62.1项目技术路线、工艺设备的合理性和成熟性、关键技术的先进性62.2产品技术性能水平与国内外同类产品的比较102.3项目承担单位在实施本项目中的优势11第三章项目成熟程度123.1产品检测、鉴定及用户使用情况123.2产品质量、价格、性能等情况123.3核心技术的知识产权情况13第四章市场需求情况和风险分析

2、144.1国内市场需求分析144.2国际市场状况及本项目产品市场占有情况154.3风险因素及对策分析1528第五章投资估算及资金筹措175.1项目投资估算175.2资金筹措方案175.3投资使用计划18第六章经济和社会效益分析196.1未来五年生产成本、销售收入估算196.2财务分析196.3不确定性分析206.4财务分析结论206.5社会效益分析20第七章综合实力和产业基础247.1企业员工构成247.2企业负责人情况247.3企业新产品研发能力及内部管理体系257.4企业从事该产品生产的条件、产业基础

3、27第八章项目实施进度计划2828第一章概述1.1项目提出背景砷化镓（GaAs）单晶是一种重要的半导体光电子和高速高频用半导体微电子材料，在国际上其产量仅次于硅。HB工艺是研究开发最早的GaAs单晶生长工艺，也是目前生产量最大的工艺，HB-GaAs单晶年产量占全世界GaAs单晶年产量的50%（2004年全球的GaAs单晶产量约140t）。HB-GaAs单晶生长设备及生长过程涉及到物理、化学、冶金学、自动控制、机械工艺等多个学科，技术含量高，批量生产工艺难度大，日本、美国等少数厂家在上世纪八十年代前后即开始

4、批量生产，但其所使用的生产设备、生产工艺及晶片加工技术对外严格保密。国际上HB-GaAs单晶生产以日本住友电工公司为主，其产量约占全世界产量的60%（2004年为62%），所提供的晶片以Φ2”，Φ2.5”为主。Φ2”，Φ2.5”水平砷化镓单晶近年来大量用于红外LED和高亮度LED，是目前生产量和需求量最大、增长率最快的化合物半导体器件之一。但是由于国内目前还没有生产该产品的企业，使国内企业对该产品的需求主要依赖进口，造成大量资金流向国外。本项目产品的研发工作正是在这一背景下提出并开展的。1.2技术开发状况

5、“水平砷化镓单晶材料产业化”2001年被原国家计委批复为国家高技术产业化示范工程项目，并于2005年通过中国有色金属工业协会组织的科技成果鉴定，鉴定结果为：该项目的技术、产品质量达到了国际先进水平。本项目产品目前关键技术已经突破，并开始批量生产，产品已成功进入国内外市场。下一步工作中，企业计划在进一步综合优化现有工艺技术基础上，使Φ2”HB28－GaAs单晶成品率由现在的75%增加到85%。EPD<5×103cm－2。使Φ2.5”HB－GaAs单晶成品率由现在的55%增加到70%，EPD<5×103cm－

6、2。以进一步提高产品的性价比从而增强其竞争力。1.3现有产业规模本产品2005年通过鉴定后开始进行小规模生产，2005年该产品销售收入达到400万元，2006年产品销售收入达到1000万元，预计2007年销售收入可达到1800万元，净利润达到180万元。1.4项目产品的主要用途、性能本项目产品近年来大量用于红外LED（波长800-900nm）和高亮度（Highbright-HB）LED—即AlGaInP/GaAs高亮度红、橙、黄色LED，是目前生产量和需求量最大、增长率最快的化合物半导体器件之一。主要技术

7、与性能指标如下：N型（掺Si）n(cm-3)：（2～40）×1017；μn(cm2/v.s)：≥1400；晶片直径（mm）：50.0±0.5，63.0±0.5；EPD(cm-2)：≤1×104。P型(掺Zn)p(cm-3)：（2～50）×1018；μP(cm2/v.s)：≥50（50～100）；晶片直径（mm）：50.0±0.5，63.0±0.5；EPD(cm-2)：≤1×104。1.5投资的必要性本项目产品近年来大量用于红外LED和高亮度LED，市场前景非常广。但是目前国内还没有一家进行该项目产品研发生

8、产的企业，国内企业对该产品的需求主要依赖进口，而进口产品价格昂贵，造成生产成本的提高。为缓解这种局面，本公司在原有产品的基础上，组织研发人员进行了该产品研究开发工作，目前该产品技术已基本成熟，关键问题已经解决，产品于282005年9月通过了中国有色金属工业协会组织的科技成果鉴定，鉴定结果为：该项目技术、产品质量均达到国际先进水平，同类商品国际市场占有率接近10%。随着LED在各个应用领域用量的大幅度增长，本项目产品的市场越来越