包装产品制造工艺10-3-先进制造技术-2-2-微细加工

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1、第三章先进制造技术第二节先进制造技术制造自动化技术微细加工技术快速原型技术工业机器人虚拟制造技术纳米技术绿色制造湖南工业大学PackagingManufactureTechnology1包装与材料工程学院包装工程系第三章先进制造技术第二节先进制造技术二、微细加工技术1.概念与特点2.工艺方法3.应用湖南工业大学PackagingManufactureTechnology2包装与材料工程学院包装工程系1第三章先进制造技术第二节先进制造技术二、微细加工技术1.概念与特点微细加工技术是指尺度微小结构或零件的加工技术体积小、精度高、重量轻性能稳定、可靠性高特点：能耗低、灵敏性和工作效率高多功能和

2、智能化适于大批量生产、制造成本低廉湖南工业大学PackagingManufactureTechnology3包装与材料工程学院包装工程系第三章先进制造技术第二节先进制造技术二、微细加工技术2.微细加工工艺方法(1)电子束加工技术(2)离子束加工技术(3)激光束加工(4)光刻加工技术湖南工业大学PackagingManufactureTechnology4包装与材料工程学院包装工程系2第三章先进制造技术第二节先进制造技术(1)电子束加工技术二、微细加工技术Electronbeamprocessing原理电子束加工原理及系统组成电子束加工过程模型湖南工业大学PackagingManufact

3、ureTechnology5包装与材料工程学院包装工程系第三章先进制造技术(1)电子束加工技术第二节先进制造技术二、微细加工技术电子束照射下材料表面的温度分布湖南工业大学PackagingManufactureTechnology6包装与材料工程学院包装工程系3第三章先进制造技术(1)电子束加工技术第二节先进制造技术二、微细加工技术利用电子束热效应的加工低功率密度照射中等功率密度照射高功率密度照射湖南工业大学PackagingManufactureTechnology7包装与材料工程学院包装工程系第三章先进制造技术(1)电子束加工技术第二节先进制造技术二、微细加工技术电主要由：子电子枪系

4、统、束真空系统、加控制系统工和电源系统装等组成置电子束加工装置湖南工业大学PackagingManufactureTechnology8包装与材料工程学院包装工程系4第三章先进制造技术(1)电子束加工技术第二节先进制造技术二、微细加工技术电主要由：子电子枪系统、束真空系统、加控制系统工和电源系统装等组成置电子束加工装置湖南工业大学PackagingManufactureTechnology9包装与材料工程学院包装工程系第三章先进制造技术(1)电子束加工技术第二节先进制造技术二、微细加工技术（1）束径小（0.1~1微米）、能量密度高特（2）采用非接触加工点及（3）被加工对象范围广其（4）电

5、子束能量高，加工速度快、效率高应（5）易于实现自动化用（6）需要一套专用设备和真空系统，价格较贵湖南工业大学PackagingManufactureTechnology10包装与材料工程学院包装工程系5第三章先进制造技术(1)电子束加工技术第二节先进制造技术二、微细加工技术电子束的化学效应及其加工用功率密度相当低的电子束照射高分子材料时，几乎不会引起材料表面温度的上升，但会因入射电子和高分子相碰使其分子链切断或重新聚合，从而使材料的相对分子质量和化学性质产生变化，这就是电子束的化学效应。利用这一效应可进行电子束光刻。湖南工业大学PackagingManufactureTechnology

6、11包装与材料工程学院包装工程系第三章先进制造技术(1)电子束加工技术第二节先进制造技术二、微细加工技术电子束扫描曝光电子束扫描曝光系统湖南工业大学PackagingManufactureTechnology12包装与材料工程学院包装工程系6第三章先进制造技术(1)电子束加工技术第二节先进制造技术二、微细加工技术电子束光刻电子束光刻加工过程湖南工业大学PackagingManufactureTechnology13包装与材料工程学院包装工程系第三章先进制造技术(1)电子束加工技术第二节先进制造技术二、微细加工技术应用范围特征尺寸(μm)湖南工业大学PackagingManufacture

7、Technology14包装与材料工程学院包装工程系7第三章先进制造技术第二节先进制造技术(2)离子束加工技术二、微细加工技术Ionbeamprocessing离子束加工原理离子束加工是在真空下，将离子源产生的离子束经过加速聚焦，经过加速的离子具有很大的能量，离子束打到工件表面上，发生撞击效应、溅射效应和注入效应，从而实现的加工。离子束加工装置离子束加工装置与电子束装置基本类似，是由离子源、真空系统、控制系统、电源等部分组成。湖南工