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1、第卷第期中国激光,年月硅片背面激光损伤的吸杂效果孙金坛陈军宁,合合肥工业大学应用物理系肥提要本文介绍了硅片背面激光损伤吸杂实验,用金相显微镜观察证实了高温退火后激光损伤的热稳定性,研究,用中子活化分析法测出了了激光损伤对氧化层错和载流子寿命的影响吸杂效果。,,氧化,,中子活化分析关键词激光损伤吸杂热稳定性层错少子寿命刀,〔撇刀枷了滋如翎了沙尹动,,胎,,,,引言,。,‘」为了提高晶体管和集成电路的成品率和可靠性人们想方设法减少和消除晶体缺陷,又以“”,除了制造高质量单晶硅和采用无缺陷工艺之外动态
2、缺陷的概念用吸杂方法,在非器件有源区充分控制和利用一些缺陷来减少或消除器件有源区及其附近的缺陷。其中、、、,。有本征吸杂含氯氧化背面喷砂扩散和退火等等都取得了一定的效果。本文主要研究了激光损伤硅片背面对正表层的吸杂技术〔卜〕给出了激光损伤热处理前,,后的图片激光损伤吸杂对氧化层错和载流子产生寿命的影响困并用中子活化分析给出了激光损伤对金属的吸杂效果川。收稿。日期年月日收到修改稿日期年月日期硅片背面激光损伤的吸杂效果一参考文献乙,记心,,山习子人,诫泞。。,,生,艺记占‘,,,祝,,,月哪云洲咖她
3、功,班记勿,,加仍一厉‘召勿名犯,‘。,‘滋,,,艺吼名名犯路,,一请订请向《中国激光》英文版《中国激光》投稿、,英文版《中国激光》年经国家科委批准年月份创刊的专业性科学期刊,,。双月刊每期页全是用进口克双胶纸印刷主要刊登激光器件最新研究成果激光物理和激光化学、激光实验技术、激光材料和元件的近期进展激光信息处理、激光应用、、、医。,,包括工业农业生物学的新成就成果报道及时来稿半年内发表重要成果个月见刊。发表的论文代表着我国激光技术研究和应用的水平,是在激光领域及相关科学领域从事激光技术研究、应用
4、的科研、工程技术人员、高等院校师生进行学术交流的窗口,欢迎订阅。本刊海外由美国光学学会发行,每期定价美元国内由科学出版社和《中国激,,。光》编辑部发行每期元人民币全年元一联系地址上海市枫林路号上海市信箱科学出版社上海办事处《中国激光》编辑部,邮编邮编联系人陈沪铭
