SFJ-261 型氦质谱检漏仪使用说明书

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1、SFJ-261使用说明书使用说明书SFJ-261型氦质谱检漏仪n皖仪科技44SFJ-261使用说明书◎目录◎n1-1概述4二仪器介绍5n2-1仪器性能参数52-1-1SFJ-261性能参数5n2-2仪器使用环境62-2-1SFJ-261使用环境6n2-3仪器结构72-3-1仪器外观72-3-2内部结构及部件82-3-3操作面板9n2-3-3-1261面板9n2-3-3-2261外部接口92-3-4电子系统示意图11n2-4工作流程122-4-1系统示意图122-4-2系统工作流程14三使用方法16n3-1开始使用（以喷吹法为例）161启动16

2、2参数设定193检漏（喷吹法）274标漏校准285调零（校零）286停止297运行状态298停机断电30n3-2其他检漏方法的操作303-2-1吸入法检漏303-2-2背压法检漏30四维护31n4-1基本维护项目314-1-1漏率校准314-1-2机械泵保养314-1-3分子泵维护314-1-4质谱管及离子源清洗3144SFJ-261使用说明书五常见故障和处理32n5-1常见故障和处理32n5-2错误代码及其排除33六附录34n6-1氦质谱检漏仪的工作原理34n6-2氦质谱检漏仪的检漏方式35n6-3常用单位的换算366-3-1压强单位的换算

3、366-3-2漏率单位的换算36n6-4常用检漏方法376-4-1喷吹法——确定漏孔位置376-4-2吸入法——确定漏孔位置386-4-3钟罩法——测总漏率396-4-4背压法——测总漏率406-4-5辅助真空系统41七售后服务42n7-1售后服务4244SFJ-261使用说明书一概述1-1概述SFJ－261型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，所以安全可

4、靠。目前，检漏技术在以下领域中得到了广泛的应用：n科学研究n航空航天n汽车制冷n军事工业n分析仪器n发电厂n核工业n压力容器n精密机械加工n医疗仪器/仪表n真空炉、镀膜设备等装置或系统n高真空和超高真空的工程n半导体等行业SFJ－261型氦质谱检漏仪将为您提供更快速，更经济，更精确的检漏方案。44SFJ-261使用说明书二仪器介绍2-1仪器性能参数性能参数机型参数值最小可检漏率（Pa.m3/s）SFJ-2615×10-12响应时间（s）SFJ-261<1启动时间（min）SFJ-261<3min漏率指示范围（Pa.m3/s）SFJ-2611×

5、10-3～1×10-12检漏口允许最大压力（Pa）SFJ-2611000Pa线控器SFJ-261选配双灯丝自动切换SFJ-261有允许质谱管最大压力（Pa）SFJ-2613×10-3检大漏功能SFJ-261基本型号不具备仪器物理尺寸（W）×（D）×（H）SFJ-261450×480×350重量（KG）SFJ-261<45KG2-1-1SFJ-261性能参数44SFJ-261使用说明书2-2仪器使用环境2-2-1SFJ-261使用环境机型环境参数极限条件SFJ-261环境温度（℃）0~50相对湿度<80%供电电压单相~220V±10%,50Hz

6、最大工作电流（A）5A注意1、使用本产品前请确保仪器已可靠接地,严禁在没有接地的情况下使用本产品！如果因没有可靠接地而造成的仪器损坏或人员伤亡，本公司不承担任何责任。2、仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要有良好通风，以防氦气干扰44SFJ-261使用说明书2-3仪器结构2-3-1仪器外观SFJ-26144SFJ-261使用说明书2-3-2内部结构及部件151114510136212749811编号部件名称备注1检漏口被检工件与检漏仪的接口，KF-25接口2接收器收集氦离子信号并放大3离子源产生氦离子4质谱室离子飞行的腔体5

7、真空计接口共两只，一只用于测量检漏口真空，另外一只用于测量分子泵排气口真空值6分子泵可使质谱室达到高真空7组合阀座完成气路切换的工作8磁铁为离子旋转提供磁场9电磁阀实现气路的通或断10电气控制位置电气控制都集中在此（高压危险）11散热风扇-----12标漏漏率参照14真空泵分子泵的前级泵和预抽工件时使用15开关电源为电器部分提供电源44SFJ-261使用说明书注n不同的机型可能各部件布局略有差异n图片仅供参考，请以实物为准2-3-3操作面板n2-3-3-1261面板触摸显示屏调零开始/停止部件名称部件类型备注触摸显示屏显示操作显示设备当前的运

8、行状态,可通过触摸方式更改参数切换显示画面开始/停止按钮开始检漏或停止检漏按钮.长按可对检漏口放入空气,以便更换工件调零按钮按下后可自动扣除当前本底,长按取消调零n