硅料清洗机操作说明

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1、2011硅料清洗机使用说明书CSE苏州华林科纳半导体设备技术有限公司2011-05目录一、公司简介.................................................................................................................................................2二、设备概况..................................................................................................

2、...............................................2三、设备构造.................................................................................................................................................4四、工作台面和工艺流程参数......................................................................................

3、...............................5五、控制系统.................................................................................................................................................7六、安全保护.............................................................................................................

4、....................................7七、安全标识.................................................................................................................................................7八、安全使用信息......................................................................................................

5、...................................9九、紧急停止操作介绍...............................................................................................................................11十、设备使用危险品简介.................................................................................................................

6、..........12十一、操作注意事项...................................................................................................................................16十二、设备的搬运及安装...........................................................................................................................16十三、机械附图..

7、.........................................................................................................................................17十四、电控操作说明..........................................................