中文IC5说明书

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1、IC/5薄膜镀层控制仪使用说明书IPN074-237M第1章前言和技术规范1.1前言IC/5是闭环工艺过程控制仪主要用于PVD镀膜过程。仪器监测和控制镀膜的速率和镀层的厚度。由于石英晶体表面淀积层质量的增加，引起频率的改变来推断镀膜的速率与厚度。这个技术将传感器置于蒸发源与基片之间的路径上。传感器装有振荡的石英晶体，当镀层增厚时，频率降低。频率的变化提供确定速率与镀厚的信息，并连续控制蒸发源的功率。在用户设定要求的时间、厚度、速率、材料特性和功率限值后，仪器能精确和可重复地自动控制镀膜过程。用户通过仪器的面板操作，包括工艺参数的选

2、用和输入。IC/5整个系统包括主电子学单元，传感器探头和晶体接口单元（XIU），用于每个连接的传感器。这些组件整套供应，也可单独订购。IC/5说明书提供仪器的安装、编程、校准和主电子学单元的运行。阅读IC/5说明书，请特别注意文中的注、注意和警告。注、注意和警告的定义在1-2页的第121节中。请将有关本说明书有用性与精确性方面的意见填写在登记表中，返回我公司。1.1.1相关说明书传感器包含在各说明书中。¨074-154–可烘烤¨074-155-六探头¨074-156–单/双¨074-157–溅射1-1第3章操作3.1面板控制IC/

3、5的操作控制位于仪器的面板上，如图3-1所示。图3-11C/5的控制面板1CRT显示屏显示图形、菜单、状态和故障信息。2功能键在显示屏边上有一列功能键：F1至F6。用于选择显示或菜单项。其功能在显示中指示，并在下面的章节中说明。3数据输入键键盘上有从0至9的数字键和是（Y），否（N），输入（E）。清除（C），打印与菜单等键，用于参数的选择与输入。所有数字和是/否键必须接着按输入键（E）确认输入。清除键（C）用于抹去错误的输入数据。如已输入一个无效的值，使用清除键可抹去错误的信息，重新显示最近的有效数据。菜单键用于导航仪器的显示器。

4、3-14系统开关一列3个键用于工艺过程控制的启动、停止和复位功能。见3-23页的3.4.2节。53.5″软盘存取口3.5″，1.44MB软盘选件的插口。6电源这个开关控制仪器ON与待用之间的切换功能。当按钮按下时电源ON。仪器初始化约5秒钟后出现显示。7指示灯在电源开关边上，打开电源，绿色指示灯亮。8遥控插口用于连接手动遥控器的插口。9光标键一组4个键用于移动显示器的光标向上、向下、向左或向右。这组键自动重复；只要按住键，光标即连续移动，直至显示器的边界。10亮度调节显示器亮度调节电位差计的插孔。用非导电的TV调节工具，顺时针旋转

5、电位差计来增加亮度。3-23.2后面板接口IC/5的接口位于仪器的后面板上，如图3-2所示。图3-2IC/5的后面板1IEEE488插座（选件）连接IEEE-GPIB接口的插座。2传感器插座–通道1和2（标准）连接仪器的两个标准传感器通道的插座。3传感器插座–通道3和4（选件）适配两个附加传感器选件3和4的扩展件。4传感器插座–通道3和4（选件）适配两个附加传感器选件3和4的扩展件。5传感器插座–通道3和4（选件）适配两个附加传感器选件3和4的扩展件。68个继电器×14个输入I/O插件（标准）8个额定120V（ac）继电器和14个

6、TTL输入的插座。78个继电器×14个输入I/O插件（选件）8个额定120V（ac）继电器和14个TTL输入的插座。3-388个继电器×14个输出I/O插件（选件）8个额定120V（ac）继电器和14个开收集型输出的插座。96-通道DAC（标准）6-通道（BNC连接件）源控制电压或记录仪输出。源控制或记录仪电压的输出是可编程的。1024V电源（标准）三个额定电流1.75A的24V电源。11风扇口仪器小型风扇的排风口。有栅网保护。12交流电源插口国际通用的电源插口。工厂设定100V（ac），220V（ac），240V（ac）。13平

7、行打印机口（标准）平行打印机（Epson或IBM）输出插口。14RS-232C遥控通讯插口（标准）9接脚RS-232C遥控通讯插口。3-43.3显示器为工艺过程的监测与编程，IC/5有许多显示屏幕。主要的4类显示为：运行；传感器；维护/诊断；和程序。从一个显示移动至另一个显示，可用显示器边上的功能键或3-8页的3.3.1节中所述的菜单树功能。图3-3给出程序显示的分层结构一览表。图3-4给出运行显示分层结构的一览表。3-5图3-3显示分层结构–程序程序(F1)(F2)(F3)(F4)(F5)材料工艺输入源/传感器应用索引索引输出索

8、引（1/2页）(F5)(F5)*(F1)材料删除工艺编程（页1，2，3）材料（页1和2）源/传感器*如材料未确定按F5(F5)将直接至材料库镀层编程材料库(F1)(F2)(F3)复制删除标记/不标记(F1)(F2)(F3)(F4)(F5)逻辑语句I