20140124 LBSF 高效晶体硅太阳电池铝浆

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1、Local-BSF高效晶体硅太阳电池铝浆儒兴科技开发有限公司2014.01.241目录1.Local-BSF高效晶体硅太阳电池简介2.工艺制程对Local-BSF铝浆的要求3.Local-BSF铝浆的基本参数4.儒兴Local-BSF铝浆的应用效果5.28D22&28D26系列产品介绍及样品推荐2Local-BSF高效太阳电池简介fingerSiNx:HARCn+layer结构增加了背面钝化背面局部接触Al-LBSFSiNx膜厚度~150nm，p-Si线宽20-40µm，rearcontact间距1mm，Al2O3/SiNxor

2、SiO2/SiNx开孔率1-4%。背抛光、镀膜、开线设备背钝化窗口的制作有激光开线和激光开点，但由于优点激光开点的技术仍待优化，目前激光开线成为主流。保持了背面场效应1.抛光设备：RENA,SCHMID;背面钝化降低了载流子复合2.激光设备：蒂尔；3.镀膜(Al2O3)设备：提高了开压和短流（结合其它电池芬兰的ALD设备BENEQ,技术单晶最高转换效率可达23%）3德国的ROTH&RAU，SCHMID的APCVDLocal-BSF高效太阳电池简介工艺流程PhosphorusEtchingrearPolishingTexturingind

3、iffusion,junctionandsinglesurface80ohm/sqPSGDepositingDepositingScreen-printingAl2O3/SiNx:HLaserablationSiNx:HARCinAlpaste,dryingbyPECVDorfrontsideALDScreen-printingAgfingers,Co-firingI-Vtestingdrying4工艺制程对Local-BSF铝浆的要求背钝化高效晶体硅太阳电池工艺制程对铝浆要求：1、对钝化膜（氮化硅/氧化硅/氧化铝）破坏小2、空洞率低、B

4、SF层均匀、接触电阻小3、翘曲、附着力和可靠性测试合格5儒兴Local-BSF铝浆的基本参数铝含量70~80%15000~25000mPa·s(BrookfieldCAP2000+锥板粘度粘度计,25℃,可按客户要求调节)细度≤25µm(QXD-50型刮板细度计检测)方阻≤60mΩ/□(41/2位数字多用表测量)6儒兴Local-BSF铝浆的应用效果1.印刷工艺印刷湿重/g铝浆类型网版类型网版目数6寸wafer5寸waferLocal-BSF铝浆不锈钢丝网250-325目1.00-1.300.60-0.90垂直于开线方向截面图20.2um

5、21.0um20.8um铝层厚度约20um7儒兴Local-BSF铝浆的应用效果2.对钝化膜的腐蚀破坏烧结后采用一定比例的酸去除铝层后观察钝化层腐蚀情况：SiNx层没有被腐蚀表观平整均匀无铝珠线宽为40微米的类单芯片印刷儒兴铝浆烧结后溶去铝层图8儒兴Local-BSF铝浆的应用效果3.填充率和BSF层情况40um60um80um100um在不同的线宽条件下，儒兴铝浆都能形成饱满的填充和良好、稳定的BSF层9儒兴Local-BSF铝浆的应用效果4.电性在单纯应用背钝化和激光开线情况下，应用了儒兴铝浆的单晶电池电性可达>20.5%。10儒兴L

6、ocal-BSF铝浆的应用效果5、附着力EVA测试烧结后EVA层压拉力测试结果在30-40um线宽,1mm间距的开槽工艺下,平均拉力>10N/cm。层压参数：144℃，16min，拉力测试角度：反向180°，拉力速度300mm/minEVA为福斯特806，厚度0.5mm胶带测试260℃烘干后烘干后不脱粉,不污染烘干网带烧结后烧结后3M胶撕拉不脱粉儒兴Local-BSF铝浆的应用效果6、热水测试测试条件：水体:去离子水测试温度:70℃测试时间:10min终止条件:铝背场有粉体脱落测试结果:在70℃去离子水中均无脱粉现象，判断结果合

7、格。1228D22&28D26系列产品介绍及样品推荐28D22&2826系列产品性能介绍①自我实验条件下资料（6寸单晶硅片）铝浆型号28D2228D26开膜参数线宽：40μm，间距：1.0mmNcell(%)19.4819.52填孔率40%-50%50%-60%L-BSF层厚度5-6μm4-5μm特点电性优和附着力强电性优翘曲低和填孔率高由于实验室片源及设备条件所限，以上数据仅供参考。1328D22&28D26系列产品介绍及样品推荐填充效果L-BSF图：28D2228D261428D22&28D26系列产品介绍及样品推荐②客户验证数据（6

8、寸单晶）UocIscRsEta28D2266895230.00320.5528D2666994810.00320.47③样品推荐28D22-128D22系列中耐水煮及电性优的样品耐水煮性能：7