特种气体钢瓶更换

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1、9.7钢瓶更换程序(sop)(一).目的：使厂务人员对SpecialGas（特殊气体）之气体钢瓶更换程序能够充份了解，维护SpecialtyGas系统正常供应，以达到提高供气质量与保障人员安全。(二).钢瓶更换程序：1.进入气体房前之检查：a.进入气体房前先从外面之监视器确认有无气体外漏情形及气体房之含氧量。b.检查钢瓶之状态是否有异常现象。2.钢瓶换装前之检查：a.进入气体房钢瓶换装至少应由两人协助完成。b.确认气体室”维修中”指示灯是否开启。c.检查钢瓶之状态，确认钢瓶空瓶边（左或右）。d.检查欲更换之钢瓶上的空/实瓶的指示标签。e.关闭欲更换之钢瓶盘面上的手动开关阀。f

2、.确认各purgeN2气瓶之压力值：PH3之purgeN2压力>500PSIAsH3之purgeN2压力>500PSIHCL之purgeN2压力>500PSIDeTe之purgeN2压力>1000PSISi2H6之purgeN2压力>1000PSI3.将欲更换之钢瓶上的控制器操作模式（位置参考附图二），操作至PurgeMode程序。附图二：气瓶柜控制器示意图旋钮转至PurgeMode画面如下：SELECTMODEOFOPERATIONPRESSENTER（选择操作方法按ENTER）PROCESS＞PUGER＜MANUALOFF-LINE（供应）＞吹净＜（手动）（离线）按ENT

3、ERENTERSECURITYCODE---------（请输入一个安全密码-----）xxxx*PURGEMODE*xxxx（*吹净模式*）输入1111WARNING–VERIFYPANELFORPURGING（警告---确认面盘准备吹净）RESET=CANCELENTER=CONTINUE（RESET=取消）（ENTER=继续）按ENTER*PURGESELECTION*（吹净选择）1=CYLINDERCHANGE2=MAINTENANCE（1=钢瓶更换）（2=维修）按1CLOSECYLINDERVALVE（关闭钢瓶阀门）xxxxPRESSENTERWHENCOMPLET

4、Exxxx（完成后按ENTER）请确实关掉钢瓶阀，否则下面的动作将会抽掉钢瓶内所有的气体，按ENTERINITLALVENTING（开始排放）xxxxPLEASEWAITING…xxxx（请等待）CYLINDERVALVELEAKTEST（钢瓶接头做负压测漏）xxxxPLEASEWAITING…600xxxx（请等待…600））600表示还有600秒结束这项动作PRE-PURGECYCLE…PLEASEWAITING（前净吹请等待）xxxxCYCLES#25xxxx（25个周期））CHANGEOUTCYLINDEWR（更换新实瓶）****PRESSENTERWHENCOMPL

5、ETE****（完成后按ENTER））PRE-PURGECYCLE…PLEASEWAITINGCYCLES#25前净吹请等待25个周期小心拆下旧钢瓶（请参照钢瓶更换程序第四步骤），并换上新钢瓶（请参照钢瓶更换程序第五步骤）后，按ENTER1.换下空钢瓶：a.佩带携带式toxicgasmonitor（毒气侦测器）及正压式空气呼吸器。b.确认左边或右边钢瓶要更换。c.确认接头是向左边或右边右牙（无刻痕）接头向右侧锁紧，向左侧放松。左牙（有刻痕）接头向左侧锁紧，向右侧放松。d.以手工具拆下接头并将钢瓶盖盖上锁紧。e.除去钢瓶固定链条，再移去空钢瓶。2.实瓶按装：a.确认气瓶柜气体名

6、称及钢瓶名称是否相符。b.确认钢瓶接头型式与气瓶柜Pigtail接头型式是否相符。c.小心地移动钢瓶到气瓶柜内（注意不要触碰到重量传感器及使用中钢瓶）。d.除去钢瓶外盖并将钢瓶接头对准Pigtail。e.将钢瓶固定链固定。f.除去钢瓶盖,清洁钢瓶出口及Pigtail（请穿戴手套）且以手确认衔接处有PurgeGas（N2/He）冲洗。g.放进新垫片（使用清洁手套）。h.以手锁紧接头后用手工具锁紧接头。i.卸下携带式toxicgasmonitor（毒气侦测器）及正压式空气呼吸器。CYINDERCONNECTIONLEAKTEST（钢瓶接头连接做测漏）PLEASEWAIT…600（

7、请等待…600））600表示还有600秒结束这项动作PREFORMHELIUMLEAKTEST（执行氦气测漏试验）xxxxPRESSENTERWHENCOMPLETExxxx（完成后按ENTER））由外部向Pigtail接头喷氦气测漏，一般都省略，直接按ENTER*POST-PURGECYCLE…PLEASEWAIT*（通知净吹请等待…）xxxxCYCLES#25xxxx（25个周期））*PRESSURESTABILIZING*（压力稳定）xxxxPLEASEWAIT…600xxxx（请等待…600））