非晶硅薄膜太阳能电池及生产设备技术发展现状与趋势

《非晶硅薄膜太阳能电池及生产设备技术发展现状与趋势》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、非晶硅薄膜太阳能电池及生产设备技术发展现状与趋势.txt25爱是一盏灯，黑暗中照亮前行的远方；爱是一首诗，冰冷中温暖渴求的心房；爱是夏日的风，是冬日的阳，是春日的雨，是秋日的果。本文由tyektz2863贡献本文由【娱乐圈】贡献pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。科技情报开发与经济文章编号：１００５—６０３３（２００９）３４一０１３６—０２ＳＣＩ—ＴＥＣＨＩＮＦＯＲＭＡＴＩＯＮＤＥＶＥＬＯＰＭＥＮＴ＆ＥＣＯＮＯＭＹ２００９年第１９卷第３４期收稿日期：２００９—１０—２

2、４非晶硅薄膜太阳能电池及生产设备技术发展现状与趋势赵志明（中国电子科技集团公司第二研究所，山西太原，０３００２４）摘要：介绍了非晶硅薄膜太阳能电池和支撑设备的技术发展现状和市场情况，针对我国薄膜太阳能电池产业的需求情况，探讨了发展薄膜太阳能电池产业的途径。关键词：非晶硅薄膜太阳能电池；制备技术；工艺流程中图分类号：ＴＫ５１９文献标识码：Ａ未掺杂的ｉ层，然后再沉积一层掺硼的Ｐ型非晶硅，最后用电子束蒸发一层减反射膜，并蒸镀银电极。该制作工艺可采用一连串沉积室，在生产中形成连续程序，以实现大批量生产。同时，非品硅光伏电池

3、很薄，可以制成叠层式，或采用集成电路的方法制造，在一个平面上，用适当的掩模工艺，一次制作多个串联电池，以获得较高的电压。１太阳能光伏发电技术作为太阳能利用中最具意义的技术，成为世界各国竞相研究应用的热点。最近１０年以每年平均３０％的速度递增。目前，光伏电池仍然是以晶体硅光伏电池为主，市场份额达９０％，其次是非晶硅薄膜太阳能电池发展迅速，市场份额占到６％～７％。非晶硅薄膜光伏电池的特点和应用。非晶硅光伏电池是薄膜光伏电池中最成熟的产品，非品硅因为普通晶体硅光伏电池单个只有０．５Ｖ左右的电压，现在非品硅串联太阳电池可达

4、２．４Ｖ。由于沉积分解温度低，可在玻璃、不锈钢板、陶瓷板、柔性塑料片上沉积薄膜，易于大面积生产，成本较低。在玻璃衬底上制备的非品硅基光伏电池的结构为Ｇｌａｓｓ／ＴＣＯ／ｐ—ａ—ＳｉＣ：Ｈ／ｉ—ａ－Ｓｊ：Ｈ／ｎ—ａ—Ｓｉ：Ｈ／Ａ１；在不锈钢衬底上制备的非品硅基光伏电池的结构为ＳＳ／ＺｎＯ／ｎ—ａ—Ｓｊ：Ｈ／ｉ—ａ—Ｓｉ（Ｇｅ）：Ｈ／ｐ—ｎａ—Ｓｉ：Ｈ／ＩＴＯ／Ａｌ。光伏电池虽然在转换效率方面略逊于晶体硅光伏电池，但其制造成本低廉、能耗小，这是晶体硅光伏电池所不能比的。１．１非晶硅薄膜光伏电池的特点。一是材料和制造工艺

5、成本低。这是因为衬底材料（如玻璃、不锈钢、塑料等）价格低廉。硅薄膜厚度不到１Ｉｘｍ，昂贵的纯硅材料用量很少。制作工艺为低温工艺（１００℃～３００ｏＣ），生产过程巾耗电量小，能量回收时间短。二是易于形成大规模生产能力。这是因为核心工艺适合制作特大面积无结构缺陷的ａ—ｓｉ合金薄膜；只需改变气相成分或者气体流量便可实现ｐｎ结以及相应的迭层结构；生产过程可实现全流程自动化。三是品种多，用途广。薄膜的ａ—ｓｊ太阳电池易于实现集成化，器件功率、输出电压、输出电流都可自由设计．可以较方便地制作出适合不同需求的品种较多的产品。１．

6、２非晶硅薄膜光伏电池的应用由于非晶硅薄膜光伏电池制造成本低，非品硅薄膜光伏电池非常适合用于建筑光伏一体化（＇ＢＩＰＶ）以及大型太阳能并网发２．１非晶硅薄膜光伏电池片生产工艺生产线以硅烷、磷烷等气体为原料采用等离子增强化气相沉积（ＰＥＣＶＤ）系统做成大面积光伏电池板，生产线能生产单结和双结薄膜光伏电池板，单结电池板需要一套ＰＥＣＶＤ系统，对于双结光伏电池板，还需要额外配有两个ＰＥＣＶＤ系统。非晶硅光伏电池的生产工艺流程如下：导电玻璃精细处理（ＷａｓｈｉｎｇｏｆＧｌａｓｓＳｕｂｓｔｒａｔｅ）一镭射切割（ＬａｓｅｒＳｃｒ

7、ｉｂｉｎｇ）＿超声波清洗（Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃｃｌｅａｎｉｎｇ）＿ＰＥＣｖＤ＿镭射切割（ＬａｓｅｒＳｃｒｉｂｉｎｇ）－－－’＿真空溅射（ＶａｃｕｕｍＳｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）＿＋镭射切割（ＬａｓｅｒＳｃｒｉｂｉｎｇ）＿超声波焊接（Ｃｏｎｎｅｃｔｉｏｎ）－＋初检测（Ｐｒｅ—ｔｅｓｔ）＿层压封装（Ｅｎｃａｐｓｕｌａｔｉｏｎ）＿接线盒安装（Ｊｕｎｃｔｉｏｎ（Ｐａｃｋｉｎｇ／Ｓｔｏｒｉｎｇ）。ｂｏｘ电系统。、由于非晶硅薄膜光伏电池光吸收系数高，晴电导很低，适合制作用于室内的微低功耗电源，如手表电池、计算器电池等。同时，非品硅薄

8、膜光伏电池对太阳光适应范围较广。非最佳角度阳光下它的工作情况好于其他光伏电池，因此容易用于玻璃幕墙，特别适合在新建建筑上使用，符合我国目前的建筑节能政策。Ｉｎｓｔａｌｌａｔｉｏｎ）＿检测（Ｔｅｓｔ）＿＋后整理（Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ）＿包装入库２．２非晶硅薄膜光伏电池片整套生产线非晶硅薄膜光伏电池片整套生产线由物料搬运系统和合成设备组成。合成设备包括玻璃上线机