MDC-360膜厚控制仪维修手册

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1、MaxtekMDC-360FilmDepositionControllerOperationandServiceManualMDC-360膜厚控制仪操作、维护手册MAXTEK,INC125MDC-360DEPOSITIONCONTROLLER保证Maxteck,inc.根据所公布的产品技术指标及说明书，保证该产品在两年内不发生设备性能，材料及技术故障。上述保证适用于根MAXTEK,INC.公司所提供的使用说明，在正确操作，使用该设备条件下，不包括不正确安装，滥用，误用，疏忽，腐蚀，或在运输过程中所造成的损坏。用户的权益在上述有限保

2、证条件下MAXTEK,INC.公司可选择修理、更换故障设备，或按设备购货价格退款。如经过MAXTEK,INC.公司检验发现故障设备不符合上述保修条件，则该设备用户必须预付该设备的运输费用。如MAXTECK,INC.公司选择退款方式，则该设备所有权归属MAXTECK,INC.公司。该项保修条款及其他的保修条款明确表明MAXTECK,INC.公司对买方所承担的责任。MAXTECK,INC。公司不担保将该产品用于可适用范围之外的用途。MAXTEC,INC.公司认为该项保证不包括因任何事件所产生的损坏、所期待的利益及附带时间上的损失及其他

3、与购买者相关的第三者的损失。Disclosure声明特此声明：以下资料仅供MAXTECK设备拥有者作为设备操作及维护使用，并非权益转让。未经MAXTECK书面同意，任何复制MAXTECK设备及资料的行为都是不被允许的。MAXTECK,INC.的地址：11980TelegraghRoad,suite104SantaFeSprings,CA90670Safety安全使用、操作设备必须遵守所有的电器设备安全操作程序标准。当需要在设备内部工作时，必须首先切断电源。只有经过训练的人员方可进行维护、保养工作。125MDC-360DEPOSIT

4、IONCONTROLLERTableofContents目录GeneralDescription概括描述1.1Purpose目的1.2Features性能1.2.1ExtensiveProgramstorage大容量程序存储1.2.2DynamicmeasurementUpdateRate动态检测校正速率1.2.3SuperiorGraphicsDisplay优良的图象显示1.2.4ProgramSecurity程序安全1.2.5DesignedforUnattendedOperation自行运转设计1.2.6FailSafeAb

5、orts故障安全中断1.2.7AbortStatusRetention中断状态记忆1.2.8RunCompletiononCrystalFailure晶片故障状态完成运行1.2.9PowerfulSystemInterface多功能系统界面1.2.10PowerSupplyNoiseTolerance电源干扰公差1.2.11InternationalStandardPowerConnector国际标准电源插座1.2.12FieldUpgradable现场功能升级1.3Specifications规格详述1.3.1Measureme

6、nt测量1.3.2Display显示1.3.3Communication信息通讯1.3.4ProgramStorageCapacity程序存储容量1.3.5ProcessParameters运行参数1.3.6MaterialParameters材料参数1.3.7Input/OutputCapability输入/输出能力1.3.8SensorParameters感应器参数1.3.9sourceParameters源极参数1.3.10RecorderParameters记录器参数1.3.11UtilitySetupParameters

7、公用参数设定1.3.12Other其他1.4Accessories附件2．FrontpanelDisplaysandControls面板显示和控制2.1OperatingDisplays操作显示2.1.1Rate速率2.1.2Power功率2.1.3Thickness膜厚2.1.4LayerNumber膜层数码2.1.5CrystalHealth%晶片有效状态百分率12.1.6TimetoGo剩余时间2.2Parameter/StatusDisplays参数、运行状态显示1252.3OperatingContros操作控2.3.1

8、ManualKey手动键2.3.2StartKey启动键2.3.3AbortKey中断键2.3.4ResetKey复位键2.3.5ZeroKey回零键2.3.6ShutterKey挡板键2.3.7StatusKey状态键2.3.8ArrowKeys