净化间使用规范

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1、集成中心净化间使用规范 制订日期： 2012 年  4 月  26 日 总则：半导体集成技术中心超净工艺线为保持超净度，维持安全运行，使所有人员都能在一个良好的环境中工作，并保证工作环境持续有效，特制订本条例。 1、安全逃生和工艺安全1.进入净化间以后首先注意观察逃生通道的线路以及通往外界的各个安全门的位置以及应该如何打开；2.进入清洗间工作时应该注意自来水的位置，并注意水流是否流畅，便于及时冲洗和清洗；穿戴防护服和防护眼镜进行清洗操作；3.仔细检查自己的手套是否有破损，如有破损，立即更换；4.轻腐蚀间只能进行有机化学处理，重腐蚀间只能进行

2、无机化学处理，严禁混淆；5.操作时，一定要穿好防护服，戴好防护眼镜进行操作；6.一旦无机试剂接触到皮肤，马上采用大量的水进行冲洗，同时告知工作人员，采取相应措施。 2、净化间人员进入净化间路线： 3、进入集成中心净化实验室：·刷卡·禁止代他人刷卡，每次进出一定要刷卡，以保证系统留有记录·禁止借用他人的卡进入实验室·开门之后禁止采用任何措施使大门不能及时、顺利关闭·禁止私自带人进入净化间；带人参观需提前请示中心领导 4、二楼一次换鞋处（室外鞋换成深色净化间用拖鞋）：·坐在绒凳上脱下室外鞋拿好·跨过绒凳只穿袜子进入换鞋区·在公用鞋柜里找公用拖鞋

3、(有鞋柜的人员应该在自己的鞋柜中拿取自己的拖鞋)·把室外鞋放入公用鞋柜的下层·从公用鞋柜的上层取出拖鞋穿好，并随手关好鞋柜门·在更衣间门口拿好口罩和压发帽戴好·对着镜子把头发全部抿进压发帽，不要有发梢伸出压发帽外·如需帮助，工作人员的电话在净化间二楼入口处。·净化间入口处接待室电话：82304349注意事项：1.因房间有限，鞋柜用完用钥匙关上柜门。不常来实验室的人可以把钥匙留在柜子上，以防时间久了找不到钥匙。禁止采用拔掉钥匙让鞋柜关不上的自私做法。2.禁止户外鞋放置在绒凳边上不管，应放入鞋柜或管理人员指定位置；3.工作区拖鞋不能在绒凳以外的

4、区域穿着；4.如果室外鞋无法放入鞋柜，应放置在鞋柜顶部，或请工作人员帮助解决；5.室外鞋和工作间拖鞋在鞋柜里的放置位置不能混淆；6.不得随意穿着他人的拖鞋，未经允许也不得将鞋放入他人的鞋柜；7.夏天不得穿着凉鞋，拖鞋或穿着其他实验室的拖鞋来本净化间工作；8.离开净化间穿回户外鞋时，应将脚直接穿入室外鞋中，不要将脚首先踩在绒凳以外的地上再穿鞋，以避免再次进入净化工作区时将尘土带入；9.口罩是一次性的，压发帽可以重复使用一到两周。 5、净化服穿戴·分别进入男，女更衣间·把外衣，随身用品放入一次更衣室（简称一更）的衣柜里锁好，一更的衣柜里不得放置

5、水果，饮料等食品·进入二次更衣室（简称二更）开始穿净化服·分体净化服，首先戴好帽子，穿上衣压住帽子，再穿裤子压住上衣，穿袜套压住裤子，穿上拖鞋·用力压好尼龙扣，不要绷开·如果净化服号小，请让工作人员换大一号的净化服·连体净化服，拿住衣袖不要拖在地上，先穿下身，再穿上身，戴好帽子，袜套压住裤子，穿上拖鞋·对着镜子检查好穿戴，头发是否露出，尼龙扣是否扣好，压发帽不应露在净化帽之外之后才能离开更衣室·如需帮助，工作人员的电话在净化间的进门处·离开更衣室之前用钥匙锁好衣柜门，因为空间有限，不要让柜门开着·离开更衣室时注意随手关门·连身净化服拉链，口

6、罩，手套要全部穿戴好之后方可离开更衣室注意事项：1.禁止把食物、饮料以及其他任何食物带入净化间，也不允许将这些物品放入更衣柜；2.使用衣柜以后一定要关好柜门；3.更衣期间不要将净化服、净化袜子放置在地上；4.如果在净化间内需要使用手机，更衣期间应将手机放在净化服口袋中；5.在净化间内禁止拉开净化服拉链。 6、一楼二次换鞋处·从二楼下楼到一楼·有鞋柜的人员，把拖鞋放入自己鞋柜，之后关好柜门·参观人员和没有鞋柜的人员从“已消毒净化鞋”桶里拿出白色净化鞋，·走到换鞋绒凳前脱下拖鞋·跨过换鞋绒凳穿着袜套进入“禁止穿鞋踩踏”区域，把拖鞋拿起，放入拖鞋

7、鞋柜，参观人员和没有鞋柜的人员，应在陪同人员的指导下把拖鞋放在拖鞋鞋柜顶上·拿好白色净化鞋，只穿袜套走过“禁止穿鞋踩踏”的水晶板区域，来到集成中心净化实验室的风淋门前·有专用鞋柜的人员，从自己鞋柜里取出净化鞋，关好柜门·把净化鞋放在水晶板区域以外，穿好·刷卡打开风淋门，一次一人。风淋时应转动身体·参观可以一次两人·进入风淋门面向实验室在风淋区的中心位置站好·不要靠在风淋出风口上·脚下多踩踏几下脚踏粘垫以清洁净化鞋的鞋底·待风淋结束后方可推开通向实验室的风淋门出门；禁止在风淋结束之前打开风淋门进入实验室·进入实验室，关好风淋门注意事项：1.禁

8、止在跨过绒凳前将袜套踩在绒凳外地面；2.禁止穿着拖鞋直接夸过绒凳，将拖鞋踩在绒凳内的地面；3.禁止把更换下来的拖鞋遗留在绒凳外不管。 7、净化间工作其他注意事项：·除非搬运设备、