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时间:2019-08-07
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1、MAP作业规范要求一、目的:规范MAP产品的下单管理流程。二、流程图:■普通方式MAP:(是指每片晶圆都经过CP测试,且对应到每片晶圆都提供唯一的MAP文件)■剔除边缘片MAP:(针对来料无中测无打点的晶圆,客户提供的专用于剔除边缘片的MAP)一、MAP来料要求:1、MAP文件的格式要求:客户所提供MAP文件能够使用windows通用的编辑软件打开查看2、MAP文件命名要求:◆文件名称必须使用晶圆批号+片号的方式标注举例:FA9376--02----25晶圆片号晶圆批号用户批号或晶圆批号晶圆片号◆文件名中片号必须
2、与实际片号对应,不允许出现文件号数字与晶圆片号有差异的现象。3、中测单:为保证产品在上芯加工时对上芯数目的有效管控,客户来料晶圆必须提供纸质的中测单,中测单中应包含以下内容:◆3.1用户批号◆3.2晶圆批号◆3.3每片晶圆需要粘取的BIN的数目◆3.4Passdie的总数目4、MAP产品晶圆:对于使用MAP方式取片的晶圆,客户应在来料晶圆及MAP中添加明显的能够用于确立两者对应关系的点或区域;5、客户必须明确告知所加工产品需取的BIN类型。6、FLATNOTCH方向:MAP文件中中应使用明确的语句标注FLATNO
3、TCH方向,如UP、DOWN、LEFT、RIGHT等字样,避免使用0°、180°等容易出现歧义的字样。一、产品下单过程要求:1、销售部:1.1下委工单时在委工单上要注明MAP取片字样,如果是剔除边缘片的应注明;1.2下委工单时必须要在备注栏中注明本批产品需要取的BIN类型;1.3WAFERMAPPING程序是以邮件形式发给我司,请做好备份,并转发给晶圆检验、生管及上芯工程师,便于各站点核对,禁止随意修改内容;1.4若客户MAPPING程序是以磁盘形式发给我司,请妥善保管磁盘并备份内容,并邮件发送生管、晶圆检验及上
4、芯工艺工程师;1.5MAP产品首次加工,销售需将MAP文件样本邮件方式发送上芯工程师,经上芯工程师确认后方可下线;1.6当剔除边缘片MAP文件版本更新时,需将更新后版本发送晶圆检验、生管及上芯工程师存档,并以邮件形式通知。2、生管部2.1、生管在投料时必须在晶圆管制卡、流程卡上注明“MAP上芯”字样;2.2、如为剔除边缘片MAP产品,需在流程卡备注栏中注明本批产品所使用的文件名;2.3、生管下单时,附带的MAP文件磁盘,标签上的用户批号必须与流程卡中用户批号相一致;2.4、芯片库房管理员在下产品时对晶圆管制卡、流
5、程卡上有WAFERMAPPING说明内容的产品,核对是否一致;2.5、产品下线时随单须附带存储有对应批次WAFERMAPPING程序的磁盘,每片晶圆对应的MAP程序应该是唯一的(剔除边缘片MAP产品所附带磁盘中MAP文件应为1份);(每批产品都需附带MAP磁盘,生管部回复需要增加人员编制,请及时回复是否有结果)2.6、产品下线时,流程卡备注栏中须注明本批产品需要取的BIN类型。3、减薄划片:3.1客户来料中测单用订书机订在晶圆管制卡背面。上芯工艺2010-8-21
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