塑料基板之真空镀膜技术及其应用

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1、塑料基板之真空镀膜技术及其应用在塑料基板具轻、薄、耐冲击及可挠曲的优势下，取代玻璃基板应用于各种光学镀膜及导电膜制镀是未来发展之趋势。但塑料基板上在镀膜上也遭遇到一些瓶颈待克服，如薄膜附着性、低温镀膜所造成膜质不佳等问题。本文旨将针对在塑料基板上制镀各种薄膜之技术，包含光学级塑料基板选择、镀膜前处理及表面改质、各种镀膜制程及其应用的近况做一简单介绍。MoreattentionsarebeinggiventopPlasticbaseddeviceshavereceivedincreasingatte

2、ntionbecauseofowingtotheirpotentialpropertiessuchaslightweight,thin,flexibleandhighimpactresistanceontheapplicationsofintegratedcircuits(IC)andflatpaneldisplays.NowadaystheCurrentdemandsontheflexibledevicesaremorerobust,high-thermalenduringthatcouldbe

3、suitableappropriateforvariouskindofvacuumcoatingprocesses.Thispaperwillillustratearticledescribestheapplicationsofvacuumcoatingtechnologyonaplasticsubstrate.ThatExactlyhowtoselectamoderatelyplasticsubstrateforthevacuumcoatingpurpose,pre-treatmentofpla

4、sticsubstrateandvariousofcoatingprocessareisalsodiscussedinthispaper.一、前言未来塑料基板取代玻璃基板成为次世代显示器材料是可期的。因为塑料基板拥有较玻璃基板之轻、薄、耐冲击、可卷曲等优势，可应用于许多可携式及穿戴式显示装置，以提高使用寿命并增加使用范围。目前塑料基板镀膜在光电产业的应用有：(一)透明导电薄膜(TransparentCon-ductiveFilm)：利用塑料基材的特性，镀上透明导电膜作为电极，应用于触控式面板屏幕、

5、液晶显示面板(LCDpanel)、有机发光二极管(OLED)、电子书(e-book)等，可增加产品的竞争力。除了更轻更薄外，可挠曲的基板优点更是未来被光电产业应用所吸引的主因。(二)抗反射防静电薄膜(Anti-reflection/Anti-static)：抗反射膜能增加对比、降低反射并增加穿透率，同时经由膜层的设计，尚能有抗静电、耐污、防紫外线照射破坏的功能。以往将抗反射膜镀于玻璃上的需求已明显降低，取而代之的是在镀于塑料基材如偏光板、lightguide等，以增加产品的功能性。(三)表面硬化膜

6、(hardcoating)：HardCoating也是塑料基板镀膜的应用之一，对于表面硬度不足的塑料基材而言，镀上hardcoating，如类钻石膜(DiamondLikeCarbon)等，能大幅增加塑料基材表面的硬度，增加产品的使用寿命。产品的应用如：触控面板、偏光板、各式塑料型显示器等。(四)光储存：如CD-R、DVD-R等在polycarbonate(PC)基板上制镀反射层。(五)其它：其它塑料基板镀膜之产品应用方面尚有如，在PI(Polyimide)膜上镀上Cu薄膜以作为制镀铜箔的导电电极

7、，此为FPC(FlexiblePrintCircuit)的制程之基板材料。另外如switchingglazing(图一)、opticalfilter以及降低水氧气渗透所制镀的阻绝层等，均是能利用塑料基板以镀膜方式增加其功能性所发展出来的用途。二、光电产业所需之塑料基板特性基板在整个光电产业应用中所占的成本比例虽不高，但却影响整体产品性能甚巨。因此，选择与产品匹配度最高的塑料基板是各厂家要跨进塑料基板镀膜首要面临的课题，基本上塑料基材的选择其中有几个大方向是不变的，光电、显示器产业应用需考量较高的穿

8、透率、其它如坚固不易碎的物理性质、基材尺寸较不易受外力影响而改变、较平坦的表面、较低的水氧气透过率等等，当然价格也是主要考量的因素。(表一)是目前常用的塑料基材材料特性表。其中O-PET目前常应用于触控式屏幕中透明导电膜ITOfilm、EL(EmittingLight)以及可挠曲式面板的应用。PC则常应用于光储存媒介产品，以上两种皆是价格较低廉的塑料基材适合用于大量且价格低廉的产品。PES由于有着较高的Tg值，能用于较高温的制程，目前Sharp公司已于1999年开发出以PES为基材