镀膜真空术语全集(中英文对照)

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1、镀膜真空术语全集（中英文对照）5.分压真空计（分压分析器）5-1.射频质谱仪radiofrequencymassspectrometer：  5-2.四极质谱仪（四级滤质器）quadrupolemassspectrometer；quadrupolemassfiler：  5-3.单极质谱仪momopolemassspectrometer：5-4.双聚焦质谱仪doublefocusingmassspectrometer：  5-5.磁偏转质谱仪magneticdeflectionmassspectrometer

2、：  5-6.余摆线聚焦质谱仪trochoidalfocusingmassspectrometer：  5-7.回旋质谱仪omegatronmassspectrometer：  5-8.飞行时间质谱仪timeofflightmassspectrometer：  6.真空计校准6-1.标准真空计referencegauges：  6-2.校准系统systemofcalibration：  6-3.校准系数Kcalibrationcoefficient：  6-4.压缩计法meleodgaugemethod：  

3、6-5.膨胀法expansionmethod：  6-6.流导法flowmethod：4.  1.真空系统vacuumsystem  1-1.真空机组pumpsystem：  1-2.有油真空机组pumpsystemusedoil：  1-3.无油真空机组oilfreepumpsystem1-4.连续处理真空设备continuoustreatmentvacuumplant：  1-5.闸门式真空系统vacuumsystemwithanair-lock：  1-6.压差真空系统differentiallypum

4、pedvacuumsystem：  1-7.进气系统gasadmittancesystem：  2.真空系统特性参量2-1.抽气装置的抽速volumeflowrateofapumpingunit：  2-2.抽气装置的抽气量throughputofapumpingunit：  2-3.真空系统的放气速率degassing(outgassing)throughputofavacuumsystem：  2-4.真空系统的漏气速率leakthroughputofavacuumsystem：  2-5.真空容器的升压

5、速率rateofpressureriseofavacuumchamber：  2-6.极限压力ultimatepressure：  2-7.残余压力residualpressure：  2-8.残余气体谱residualgasspectrum：  2-9.基础压力basepressure：  2-10.工作压力workingpressure：  2-11.粗抽时间roughingtime：  2-12.抽气时间pump-downtime：2-13.真空系统时间常数timeconstantofavacuumsy

6、stem：  2-14.真空系统进气时间ventingtime：  3.真空容器3-1.真空容器；真空室vacuumchamber：  3-2.封离真空装置sealedvacuumdevice：  3-3.真空钟罩vacuumbelljar：  3-4.真空容器底板vacuumbaseplate：  3-5.真空岐管vacuummanifold：  3-6.前级真空容器（贮气罐）backingreservoir：  3-7.真空保护层outerchamber：  3-8.真空闸室vacuumairlock： 

7、 3-9.真空冷凝器；蒸汽冷凝器deviceforcondensingvapor：  4.真空封接和真空引入线4-1.永久性真空封接permanentseal：  4.2.玻璃分级过渡封接gradedseal：  4-3.压缩玻璃金属封接***pressionglass-to-metalseal：  4-4.匹配式玻璃金属封接matchedglass-to-metalseal：  4-5.陶瓷金属封接ceramic-to-metalseal：  4-6.半永久性真空封接semi-permanentseal： 

8、 4-7.可拆卸的真空封接demountablejoint：  4-8.液体真空封接liquidseal  4-9.熔融金属真空封接moltenmetalseal：  4-10.研磨面搭接封接groundandlappedseal：  4-11.真空法兰连接vacuumflangeconnection：  4-12.真空密封垫vacuum-tightgasket：  4-13.真空密封圈ringga