横河川仪_eja讲稿最新版

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1、欢迎遵义钛厂领导及仪表专家光临重庆横河川仪有限公司（CYS）重庆横河川仪有限公司［CYS］创立1995年09月27日资本金总资本US＄1420万元出资比例日本横河电机株式会社60%中国川仪总厂有限公司40%从业人员385人、其中日本长驻人员5人(总经理、付总经理、总工程师、付总工程师)所在地重庆本部重庆市北部新区黄山大道61号川仪工业园上海分公司上海市淮海中路1010号嘉华中心29层北京事务所北京市东城区金宝街89号金宝大夏9层业务内容EJA变送器/DX/AX-无纸记录仪制造、销售/DCS/分析仪销售和售后服务制造方式CYS＝YHQ(NYPS)制造设备

2、CYS＝YHQ品质管理ISO9002＋5M(ManMachineMaterialMethodMeasurement)同一品质EJA/纪录仪/DCS/分析仪全球同一技术/同一品质同/一管理和同一商标横河川仪横河电机株式会社--变送器/记录仪海外生产基地製造　：　日本最新設備的引入横河川仪ＥJA-生产场地A線C線AMP線浄化間机加場净化间一角EJA变送器品質/质量管理体系品質保証活動ＩＳＯ９００２GB/TI9002-1(ISO9002-1)97年12月31日取得质量改善活動QA会议(质量分析会)制贩会(产/质/技/销)客户/生产质量分析质保体系有机化学物质

3、削减ISO14000環境認証2000年12月取得！节约资源、能源，预防污染加强废弃物管理全员参与，持续改进保护生态环境我们只有一个地球遵守环境保护法律、法规CYS环境方针環境保護活動电力削减节约水纸再利用排水噪音管理环保购买横河川儀有限公司◆EJA变送器生产基地日本(横河電機甲府工場)中国［横河川仪有限公司］美国【美国横河公司】生产基地世界最早的数字式传感器1980年代1990年代2000年代日本国内其他公司海外其他公司Analog（电容式）Analog（压阻式）YOKOGAWAAnalog（电容式）UNI⊿DPharpEJDigital（单晶硅谐振式

4、）EJAEJX世界上有120万台在使用DPharp单晶硅谐振式传感器EJA-最新压力传感器技术单晶硅谐振式传感器利用微电子机械加工技术Si谐振传感器制作工程P++P+P++N+④封注外延及退火振動子(100)N型SiSio2(600nm)①切除氧化膜及HCL煤气腐蚀②选择性外延及去除氧化膜③选择性腐蚀Si谐振传感器结构2个Si谐振传感器H型谐振器H型Si谐振器Si片传感器硅片電子顕微鏡写真Si谐振传感器起振原理永久磁铁激励电路电磁力方向频率输出SiH型谐振传感器Si片磁场Si传感器压缩拉伸过程压力隔离垫片H型谐振器基体Si谐振传感器压力转换传感器40k

5、Hz被压缩的谐振梁频率降低被张紧的谐振梁频率升高谐振式传感器谐振式传感器的频率输出压力频率压力差压下的谐振频率变化1101009080705,00010,000差压(mmH2O)频率(kHz)传感器硅谐振传感器的复合传感特性R..f1f2f1-f2=与差压成正比f1+f2=与静压成正比R=与温度成正比传感器横河川儀有限公司◆受圧部份構造振動子励振端子検出端子ダイアフラムチップ振動子真空室シェルダイアフラムチップ振動子中心膜片（マルｴｰｼﾞﾝｸﾞ鋼）传感器ＳＵＳ３１６ＬＬ側　ＢＯＤＹＳＵＳ３１６鍛造ＲＩＮＧ驱动板传感器ＡＳＳＹシリコーンオイル封入液信号ｹ

6、ｰﾌﾞﾙＳＵＳ３１６Ｌ鍛造Ｈ側　ＢＯＤＹ18Cr-12Ni-2.5Mo-低C密封膜片（ハステロイＣ）Ni=BAL60%Cr=15.5%Mo=16%W=3.5%Fe=5.5%ets传感技术比较一览表原理结构优点电容式压阻式单晶硅谐振式结构简单历史悠久滞后小复合传感滞后小温度影响小静压影响小复合传感差压静压温度缺点滞后大重复性差温度误差大(未补偿前)电极中心膜片传感器硅谐振传感器与电容式传感器的比较谐振器基片压力真空罩y磁场固定电极可动电极固定电极DD初始间距d位移C1C2电容C1=电容C2=SD+dSD-dC1-C2C1+C2计算公式c=dD=电极位

7、移初始间距()感应膜片位移最大值mm(100μm)微小位移就能导致误差1μm形变=1%误差感器组件硅油中心膜片接液膜片低压侧高压侧接液膜片冲灌液感应膜片膜盒体fL传感器硅谐振传感器与压阻式传感器的比较差压引起的信号变化压阻式传感器温度变化所引起的信号变化0.25%/50oC静压所引起的信号变化0.1%/100kgfcm24%15%硅谐振传感器0.01%4倍灵敏度高高精度量程宽环境变化影响小长期稳定性0.03%传感器单晶硅谐振传感器性能灵敏度高量程比高滞后小高精度抗环境变化能力强温度影响小长期稳定性静压影响小复合传感器

8、高精度差压灵活多用静压性价比高温度现场运行--稳定性现场运行稳定性总精度输入/输出特性(