《lcd前制程简介》ppt课件

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1、LCD前制程簡介一.LCD的顯示原理投片站將來料ITO玻璃裝進籃具中,以方便後續工作站.ITO玻璃:鈉玻璃表面鍍一層氧化銦錫.來料廠商:SSC;AFC;CDC;GOC;RTC;MBCITO鈉玻璃二.TN產品前制程流程清洗站將玻璃一序進行鹼洗,水洗,紅外線,紫外線的處理.洗劑:DTG光阻塗佈將光阻劑均勻塗佈在玻璃表面上,並經預烤後完成.光阻劑:EPL-366溶劑PGMEA光阻劑滾輪曝光站將已上好光阻的玻璃,以紫外線照射,經由光罩上的圖形使光阻感光成為產品需要的圖形.平行UV光顯影站以顯影液將被紫外線照射的部分洗去.顯影液:以KOH調配而成的弱鹼性液體.原理:

2、光阻劑需以強鹼液洗淨,而被紫外線照射後的光阻劑僅需以弱鹼液便可去除.顯影液蝕刻站以蝕刻液將沒有光阻劑保護的ITO蝕去.蝕刻液:以鹽酸(HC1)&硝酸(HNO3)調配而成的強酸液體.原理:光阻劑需以強鹼液洗淨,故有光阻劑保護的區域不會被蝕刻液蝕掉.蝕刻液去光阻站以去光阻液將光阻劑洗去.去光阻液:以KOH調配而成的強鹼性液體.原理:光阻劑可以強鹼液洗淨.最後便達到我們的目的,在玻璃表面製造出需要的圖形.去光阻液圖檢站為確定PHOTOLINE的作業品質,進行短路測試.以兩根測試針同時接觸兩根拉線判斷是否有短路,以此原理重複測試,如測試NG則進行雷射修補.清洗站將

3、玻璃一序進行鹼洗,水洗,紅外線,紫外線的處理.洗劑:DTGTOP(保護層)印刷站在玻璃表面印上一層保護層,保護ITO及配向膜不受傷.治具:APR版.TOP膜膠輪APR版鋼輪版酮清洗站將玻璃一序進行鹼洗,水洗,紅外線,紫外線的處理.洗劑:DTGPI(配向膜)印刷站在玻璃表面印上一層配向膜.治具:APR版.PI膜膠輪APR版鋼輪版酮定向毛輪定向站以定向毛輪在玻璃上有PI膜的區域刷出一道道的痕跡,並以此決定LC的排列方向.定向毛輪印框站在上片玻璃上印上框膠,以此將上下兩片玻璃黏結在一起並行成一個密閉空間(一般稱為LC盒).印點站在下片玻璃上印上點膠,以此將上下兩

4、片玻璃的拉線連結在一起.(並不是每一種玻璃都需要)點膠Spacer撒佈站將Spacer均勻的撒佈在玻璃上,以此控制兩片玻璃之間的間距.Spacer粒徑:6.0um;6.75um;8.13um;8.75umSpacer組合站將兩片玻璃組合在一起.為維持良好的組合精度,在組合前先在下片點上UV膠,避免在完全固定前發生錯開.框膠固烤站組合好的玻璃經預壓合後長時間高壓,高溫壓合固烤使框膠硬化;玻璃間隙成形達到所需的GAP.壓力:40kpa溫度:170~235度時間:約3小時三.TFTLCD之結構四.TFTArray制程