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时间：2019-07-13
《电源报警信息原因分析及现场处理方法》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、板式PECVD微波电源报警信息原因分析及现场处理方法谢善文2011.03.10微波源主供电错误原因分析现场处理方法微波源整流桥损坏更换微波源微波源电路板电子元器件损坏微波源变压器损坏微波源X4电源输出线断路(图1）IJBT模块损坏微波头电源线断路（图2）更换微波头CAN总线模块错误（图3）复位CAN总线模块状态微波源低压错误原因分析现场处理方法微波源内24V开关电源损坏更换微波源微波电源X4高压输出至微波头高压（磁控管接线端）输入故障检查接线微波电源主电源断路或缺相（见图）检查主电源电路微波电源最大电压错误原因分析现场处理方法微波头内磁控管损坏更换微波头(
2、图2）微波电源信息错误原因分析现场处理方法CAN总线模块错误复位CAN总线模块状态或更换CAN总线模块微波电源ARC错误原因分析现场处理方法微波源X4电源输出线与外屏蔽线短路检查X4电源输出线与微波头电源线处，重新接线微波头电源线断路与外屏蔽线短路微波电源冷却错误原因分析现场处理方法冷却水流量或温度低于报警极限检查工艺冷却水状态（14，15，16，17）微波电源或微波头冷却风扇损坏更换冷却风扇微波电源或微波头冷接线错误重新接线微波电源反射功率过高原因分析现场处理方法微波天线与微波铜管接触不好检查微波天线位置微波铜管从四氟盘中间脱落重新安装微波铜管弯曲更换微
3、波铜管Thankyou
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