高数值孔径系统多重初级像差对高斯光束的影响

《高数值孔径系统多重初级像差对高斯光束的影响》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、第44卷第9期光子学报Vo1．44No．92015年9月ACTAPHOTONICASINICASeptember2015doi：10．3788／gzxb2Ol544O9．0912001高数值孑L径系统多重初级像差对高斯光束的影响李红福一，解慧明。，张琛，王凯歌，王爽，贺庆丽，白晋涛(1西北大学光子学与光子技术研究所省部共建光电技术与功能材料国家重点实验室培育基地，西安710069)(2西北大学物理学院，西安710069)(3西安市教育科学研究所，西安710003)摘要：为了揭示高数值孔径光学系统在多重初级像差共同作用时受到的

2、影响，基于衍射理论，研究了多重初级像差，特别是彗差、象散和球差对汇聚高斯光束的影响效果．通过数值模拟计算，获得了在彗差、象散和球差共同作用下，汇聚高斯光束在焦平面处光斑的光强分布，发现多重像差对聚焦光斑的影响并非各单像差影响效果的简单叠加．通过对高数值孔径光学系统激光焦斑的实际测量，发现其光强分布特点与数值模拟结果具有高度的一致性．研究结果对于评估与分析实际的光学系统具有一定的指导意义．关键词：多重初级像差；高数值孔径；衍射理论；高斯光束；数值模拟中图分类号：043文献标识码：A文章编号：1004—4213(2015)09—

3、0912001—7StudyingtheCombinedEffectsofPrimaryAberrationsonGaussianBeaminHighNAFocusingSystemLIHong—fu～，XIEHui—ming。，ZHANGChen，WANGKai—ge，WANGShuang。HEQing—li，BAIJin—tao(1InstituteofPhotonics&Photo—Technology，NorthwestUniversity，Xian710069，China)(2PhysicsDepartment，N

4、orthwestUniversity，Xian710069，China)(3XianEducationScientificResearchInstitute，Xian710003，China)Abstract：Forpurposeofrevealingthenegativeimpactsofmultipleprimaryaberrationsinhighnumericalapertureopticalsystem，thecombinedinfluenceoftheprimaryaberrations，especiallyco

5、ma，astigmatismandsphericalaberration，onfocusingGaussianbeaminhighnumericalaperturesystemwascarriedoutbasedondiffractiontheory．TheintensitydistributionoftheGaussianbeamfocalspotsufferingmultipleinfluenceofcoma，astigmatismandsphericalaberrationwereacquiredbynumerical

6、simulation．Theresultsshowthattheimpactofmultipleabrrationwasnotonlysuperimposedofsingleaberration．Inaddition，ahighconsistencywasfoundbetweenthesimulationresultsandthelaserspotscapturedonthefocalplaneofaself-madehighnumericalaperturesystem，whichindicatedthereliabili

7、tyandreasonablenessofthenumerica1simulation．TheresultspresenttheopticaldistributionpropertiesofGaussianbeamreceivingmultipleprimaryaberrationeffects，whichwillbehelpfulforevaluatingandanalyzingthepracticalopticalfocusingsystem．Keywords：Multipleprimaryaberration；High

8、numericalaperture；Diffractiontheory；Gaussianbeam；NumericalsimulationOCISCodes：050．1970；080．1010；120．4820Foundationitem：TheNationalNaturalScienceF