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1、2002年第36卷815*超光滑表面的加工、表征和功能李丽伟董申程凯哈尔滨工业大学摘要:超精密加工的目标是通过表面质量控制获得预定的表面功能。一定的加工过程产生相应的表面特征,而表面特征在很大程度上又决定着表面的实际功能。为了通过预先设计及加工控制获得要求的功能表面,必须对超光滑表面的加工、表征、功能及其相互关系进行全面而深入的研究。关键词:超精密加工,超光滑表面,表面特征,表面表征,表面功能Generation,CharacterizationandFunctionofSuper
2、-smoothSurfacesLiLiweiDongShenChengKaiAbstract:Theultra-precisionmachiningaimsatobtainingthedesignedsurfacefunctionsthroughthesurfacequalitycontro-lling.Intheproductionofworkpieces,eachstageofthemachiningandtreatmentprocessresultsincertainsurfacetextu
3、res.Inthemeantime,thesurfacetexturelayerdeterminesthefunctionalityofthefinalproducttoaconsiderableextent.Itsinneedofwhollycomprehendingtheultra-precisionmachiningsurfaceandrelevantfactorssuchassurfacegeneration,surfacecharacterization,sur-facefunctiona
4、ndrelationshipbetweenthem,soastoobtainthedesiresurfacebymeansofdesigningandcontrollingtheprocessinadvance.Keywords:ultra-precisionmachining,super-smoothsurface,surfacetexture,surfacecharacterization,surfacefunc-tion个难点。目前,关于超精密加工表面的一个重要研1引言究方向是研究
5、表面的加工形成机理,并根据表面的随着精密、超精密以及纳米级加工技术、先进控不同用途及相应的功能要求,在加工前对表面进行制系统、激光测量技术、扫描探针显微镜等相关技术设计和预测,从而达到稳定获得所需功能表面以满的快速发展,超精密加工表面的研究不断取得新的足实际应用需求的目的。为此,必须对超精密元件进展,其加工精度正逐步从亚微米级提高到纳米级,表面的加工、表征及功能进行全面而深入的研究。通过超精加工获得超光滑表面已成为可能。但是,2超精密加工表面及其特点这些超光滑表面通常是在反复加工和试验的基础上获
6、得的,如何稳定地、可重复地获得高质量表面,实2.1加工表面的相关定义现表面的设计功能,仍是超精密表面加工研究的一表面是一个物体分隔于其它物体或空间的周界面。为便于研究分析,美国国家标准ASMEB461*国家自然科学基金资助项目(项目编号:59835180)收稿日期:2002年1月1995中给出了名义表面、实际表面和测量表面的定19WangDianjiang.Wearmodesandmechanismsofdiamondsin24陈先.由锯切力引发的思考.石材,1999(3):4~7sawi
7、nghardstone.JournalofCentralSouthUniversityofTech-25徐西鹏,黄辉.锯切过程中花岗岩与金刚石的摩擦效nology(EnglishEdition),Vol.3,No.1,Apr.1996:96~98应.摩擦学学报,1999,19(4):304~31020XuXipeng,ShenJianyun.Wearmechanismofdiamond-alloy26Jerro,HDwayne.Finiteelementanalysisofthesawingp
8、rocesscompositeforsawingofgranites.FuheCailiaoXuebao/Actaforsuperabrasivediamondtools.OffshoreEngineeringandOp-MateriaeCompositaeSinica,Vol.15,No.1,1998:101~107erationsAmericanSocietyofMechanicalEngineers,Petroleum21汤东华,邓诗赞.金刚石圆
