引言及真空技术基础

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1、薄膜材料制备技术ThinFilmMaterials北京科技大学材料科学学院唐伟忠Tel:62334144E-mail:wztang@mater.ustb.edu.cn课件下载网址：wztang_teaching@sina.com下载密码：123456参考书及参考资料网址参考书：《薄膜材料制备原理、技术及应用》冶金出版社1998年5月第一版，2003年1月第二版邮箱地址：wztang_teaching@yahoo.com.cn密码：123456邮箱地址：wztang_teaching@sina.com密码：123456引言薄膜材料薄膜材料的应用薄膜技术所研究的内容usedapersonal

2、computer?usedaCDplayer?usedatouchingscreeninanATM?usedapairofglasses?Haveyourealizedthatwithoutthinfilmtechnology,therewouldbenomoderncivilization?Haveyouever?WorldwidemarketofrawmaterialsforthinfilmtechnologyThemarkethasbeenestimatedat$7.1billionin2004andwasprojectedas$13.5billionby2009.itrisesa

3、tanaveragedannualgrowthrateof13.7%.薄膜材料的定义利用特殊的技术手段,人为制得的、其一维尺度显著小于另外两维尺度的、具有特定性能与用途的材料.Athinfilmisalayerofmaterialwithahighsurface-to-volumeratio.Itisaverythincoatingappliedtothingsthatweuseeveryday.ThinFilmscanbemadeofmanydifferentmaterialsandcanbeappliedtoalmostanysurface.Itisanimportantandexc

4、itingbranchofmaterialscience.薄膜材料的特点一般并不是单独存在的结合了不同材料的不同特性种类繁多需要使用特殊的制备与研究方法为什么要发展薄膜材料三个理由：不同材料特性的优势互补微电子技术、光电子技术的发展功能性结构的微小型化薄膜材料的应用耐磨、防腐与装饰涂层光学涂层光电薄膜微电子技术磁存储技术微机电系统……耐磨、防腐与装饰涂层光学涂层材料光电薄膜材料P-typeSubstrate微电子技术中的薄膜材料:MOSFETN+N+PolysiliconThingateoxideThickoxidesInterconnectmetalHeavilydopedregio

5、n磁存储技术中的薄膜材料:磁头与磁记录介质Materialstoday,JAN-FEB2007

6、VOLUME10

7、NUMBER1-247Diamond-likecarbonfordataandbeerstorageREVIEW微机电系统中的薄膜材料:微型反射镜组Metals:Al,Cu,Au……Glass:SiOx,SiNx……Ceramics:YBCO,PZT……Semiconductors:Si,GaAs……Polymers:PE,PMMA……Thinfilmsmaterialsmayinclude:薄膜材料技术的研究内容薄膜材料的制备技术手段；薄膜材料的结构理论；薄膜材料的表征

8、技术；薄膜材料的体系、性能与应用Oldpreparationproceduresinclude:DippingSprayingPaintingElectro-deposition………早期的薄膜制备方法小结:现代的薄膜材料科学与技术Thinfilmtechnologyistheartandsciencetodepositthinlayersofmaterialsonasubstrateforvariousapplications.Withamodernthinfilmtechnology,themateriallayerisformedoneatomormoleculeatatime.

9、Ittakesplaceinvacuum,todepositauniformlayerandtoavoidcontamination.Example:AcoaterfortoolcoatingsAcoaterlineforCDsandDVDsAcoatingsystemforharddisksAclusteredcoatingsystemforICAcoaterforflatpaneldisplaysAcommercialCVDeq