毕业论文智能差压传感器技术の研究

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1、哈尔滨!.业人学I程硕卜学位沦文AbstractInthispaperadifferentialpressuresensor.withtheanti-overloadstructurebasedonthecentrallyisolatedfilm.usedunderthespecialconditionsoftemperatureinfluenceandanti-highstaticpressureispresented.Theworkingrangeofthesensorisrequestedfrom40toI00'Cwiththepre

2、cisionof0.1%FS,andthereisnothiskindofsensorsmadeinourcountry.Anintegrationofthedifferentialpressure,staticpressureandtemperaturesensitivecomponentsinonechipisproposedafterthemainerrorreasonfortemperaturedriftandnon-linearityisanalyzed.Thedifferentialpressuresensoriscompens

3、atedbytheoutputofstaticpressureandtemperaturesensitivecomponentstomeettherequirement.Accordingtotheworkingprincipleanddesignruleofintelligentsensors.Thechipstructuredesign.parameterdeterminationanddataprocessingmethodofthesensorarediscussedrespectively.Thesensitivesystemde

4、signsincludethesensitivechip(suchasstatic,differentialpressureandtemperaturesensitiveunits).elasticsensitivestructureandoverloadprotectionBecausenormalhardwarecompensationcannotmeetthespecialrequirementofthesensor.thesoftwarecompensationisnecessaryforthesystem.Thecompensat

5、ionmethod.relatedcircuitsandprogramarcdesigned.Themeasurementofthesensorsystemfabricatedbythisdesignshowsthattheperformanceofthesensorreachesthedesignrequirement.Forsuchapressuresensorsystemwithzeroandtemperaturedriftswhichproduce士I%FSoftotalerrorin100七temperaturerange.the

6、instantaneoussystemprecisioncanbeupto0.1%FSbyusingthestandardpressurewith士0.02%FSprecisiontocalibratethesensorStStemKeywordsdifferentialpressuresensor.smart,compensation哈尔滨工业大学_〔程硕十学位论文第1章绪论1.1课题研究背景信息采集技术一传感器技术、信息传递技术一通讯技术、信息处理技术一计算机技术已成为当今电子信息技术的三大核心支柱。作为信息采集工具和手段的传感器正以惊

7、人的速度迅猛发展，由于它是电子信息系统的最前端，其性能的好坏直接决定信息系统的水平，因此对传感器技术的开发已成为今天电子信息系统研究开发的一个重要领域。本项研究内容是国防重点电子预研项目的一部分，其研究目的是要开发一种具有智能化功能的差压传感器，通过对相关技术内容的开发，解决目前差压传感器的温度漂移和非线性误差较矢的问题，使之能够在较宽的工作温度范围内具有足够高的精度，满足高精度测量的要求。目前高精度、高可靠、小型化、低成本的智能传感器成为当今传感器技术开发的主流.各国投入大量资金用于智能传感器的研究与开发(I,2.71。本项研究的意义在于

8、将硅敏感元件技术与微处理器的计算、控制能力结合在一起，从而建立起一种新型的传感器概念。使之成为具有温度补偿、自检、自校及标度变换功能的智能差压传感器，继而为今后此类传感器的研究提