XX蚀刻机评估报告

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1、蚀刻机品质性能验证的方法及过程一、蚀刻机品质性能验证的方法及过程1.蚀刻均匀性测试1.1板件选取：用底铜厚度2OZ(面铜仪测量62um)，板厚1.6mm，尺寸：500mm*600mm板件为实验板件。1.2测试前，蚀刻药水调整蚀刻药水到工艺控制范围分析项目要求范围实测Cu2+125-150g/L142g/LCl-170-200g/L180g/LPH8.3-8.78.471.3蚀刻生产参数蚀刻速度压力温度4m/min上压：2.2下压：2.050℃1.4测试方法与取点规则，见附件：1.5蚀刻均匀性计算方法与判定标准：⑴、蝕刻均勻度C.O.V.=(1-S/Th)×100%其中：th（蝕銅量）

2、=原始銅厚-剩余銅厚Th（平均蝕銅量）=（th1+th2+…thN）/N（N=121）S（標准差）=√[(th-th1)2+(th-th2)2+··+(th-thN)2]/（N-1）⑵、判定标准：COV≥92%为合格；2.蚀刻能力2.1板件选取：用底铜厚度1OZ(面铜仪测量35um)，板厚1.6mm，尺寸：500mm*600mm板件为实验板件。2.2测试方法蚀刻机品质性能验证的方法及过程工程部制作线宽线距为3mil/3mil、4mil/4mil、5mil/5mil、6mil/6mil、7mil/7mil、8mil/8mil的菲林资料通过图形转移来测试新蚀刻机的最小线宽线距蚀刻能力3.

3、蚀刻因子3.1板件选取：取底铜1.0OZ板件为实验板件；3.2测试取点，分别打密集线路和孤立线路的表面铜厚和线宽测定切片。X1hX23.3测量方法线路铜厚为h，读取切片线宽上底为X1，与此同时线宽下底记录为X2，蚀刻因子计算公式为：蚀刻因子（A）=h/(X2-X1)3.4蚀刻因子的判定标准：1OZ的板件≥24.蚀刻机的规格4.1蚀刻机的流程是蚀刻氨水洗两道水洗4.2蚀刻段为3段，总共3米。二、测试结果1.蚀刻线均匀性测试结果：蚀刻均匀性有效长度600*500mm具体数据上喷92%下喷96.24%整体94.12%2.蚀刻能力测试结果蚀刻机品质性能验证的方法及过程板厚为1.6mm，底铜厚

4、度为1OZ的板件最小线宽线距的蚀刻能力是5mil/5mil3.蚀刻因子测试结果上喷速度铜厚（h）上底（X1）下底（X2）偏差蚀刻因子5mil4m/min0.0320.0520.0650.0132.466mil0.0320.0810.0940.0132.467mil0.0320.1100.1220.0122.668mil0.0320.1720.1840.0122.66平均值2.56下喷速度铜厚（h）上底（X1）下底（X2）偏差蚀刻因子5mil4m/min0.0320.0580.0710.0132.466mil0.0320.0830.0950.0122.667mil0.0320.1130

5、.1240.0112.98mil0.0320.1750.1860.0112.9平均值2.73三、结论通过以上数据可得出初步结论1.XX蚀刻机的蚀刻均匀性能适应公司后续难度板件的要求，但是从结果来看上喷与下喷的蚀刻均匀性相差较大,这与蚀刻生产时的压力有很大关系；2.XX蚀刻机的最小线宽线距的蚀刻能力为5mil/5mil，基本能够适合公司的生产品质要求；3.XX的蚀刻机通过做蚀刻因子1OZ的板件蚀刻因子能够达到最小2.46（要求≥2），能够满足生产品质要求。