基于双曲余弦柔性铰链的三自由度微动工作台设计(一)

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1、华东交通大学硕士学位论文基于双曲余弦柔性铰链的三自由度微动工作台设计姓名:谌建华申请学位级别:硕士专业:机械制造及其自动化指导教师:刘平安20080418AbstractIIDESIGNOF3-DOFMICRO-PLATFORMBASEDONCOSH-FLEXUREHINGESABSTRACTInthisthesis,muchinformationonmicro-displacementstageshavebeencollected;theirstudystatusathomeandabroadhasbeenintroducedinbr

2、ief.Andsomecontrolelementsandmechanisminmicro-displacementsystemhavebeensufficientlystatedandcompared.Inaddition,evaluationcriterionofmicro-displacementsystemandapplicationofflexurehingehavebeensummarized.Inchapter2,theblueprintof3degreesoffreedomdisplacementstageislaido

3、ut,appliedtwokindsofflexurehingemicro-displacementmechanism(i.e.singleanddoubleparallelfourbars),thelattermovesonlyinsingledirection.Inchapter3,theclassificationofusualflexurehingeisintroduced.Thestiffnessofcosh-flexurehingeselectedinthisthesisisdeduced,andgettingtherela

4、tionsbetweenstructuralparametersandrotationalstiffness.Thechapter4and5arethekeypartofthisthesis,basedonthestudy,theauthorimprovesthestructuralparametersofrotationstagebyoptimizationmodelafterderivingitsfunctionofdisplacementunderforce.Thestaticanddynamiccharacteristicmod

5、elsofstagearebuiltbyANSYSsoftware,whichanalysesthedisplacement,stressandnaturalfrequency.Furthermore,theinfluenceofprimarystructuralparametersonstaticanddynamiccharacteristicisanalyzedbyorthogonalexperimentalschemecomprehensivelyandthenumericalresultsfromexperimentarereg

6、ressedbystepwiseregressionmethod,thustheoptimizationregressionequationisobtained.KeyWords: micro-displacementstage,finiteelementmethod(FEM),cosh-flexurehinge,stepwiseregression独创性声明本人郑重声明:所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表和撰写的研究成果,也不包含

7、为获得华东交通大学或其他教育机构的学位或证书所使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。本人签名_______________日期____________关于论文使用授权的说明本人完全了解华东交通大学有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权保留送交论文的复印件,允许论文被查阅和借阅。学校可以公布论文的全部或部分内容,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。保密的论文在解密后遵守此规定,本论文无保密内容。本人签名____________导师签名__________日期________

8、___第一章绪论2第一章  绪论 1.1  课题的目的和意义 柔性铰链具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、无间隙、无爬行、机械谐振频率高、抗震动干扰能力强、具有较高的位移分辨率(可达1nm)等特点,利用柔性铰

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