光电检测技术及应用讲作-徐熙平

《光电检测技术及应用讲作-徐熙平》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、光电尺寸检测技术及应用报告人：徐熙平报告内容一、光电检测技术概述二、光电尺寸检测现状三、我校开展的主要研究工作四、综合检测方面的应用五、涉及知识结构1.1定义光电检测技术是光学与电子学技术有机结合而产生一门新检测技术，他是利用电子技术对光信息进行检测，并进一步传递、存储、控制、计算和显示等。1.2检测对象可以检测一切能够影响光量或光特性物理量。如位移、长度、角度、振动、力、压力、转矩、转速、温度、流量、液位、湿度、浓度、成分及图象等。1.3检测系统结构一、光电检测技术概述待测对象光电传感器信号采集信息处理结果显示1.4优点非接触、响应速度高、测量精度高、应用范围广。光电检测技术包含十

2、分丰富的内容，从光信息的获得，光电转换到电信号处理和智能化控制等方面，都有很大的差异，光电检测也没有固定的模式，同一个参数的测量也可以用不同的方法实现。关键是根据具体要求，设计并选择能满足检测精度、检测范围、使用场合、操作难易、自动化水平等诸方面要求的最合理的方案。现在国际上利用光电检测方法进行各种几何尺寸、形状和形位误差等参数的测量，采用的原理和方法也是多种多样的。现就国外几个有代表性的光电尺寸检测仪器做以介绍。一、光电检测技术概述2.1径向测量技术美国AEROEL公司采用激光扫描方法研制的ALS40型高精度在线非接触式雷射测微仪。其主要技术指标：测量范围：0.2～23mm分辨率:

3、0.1μm测量精度:±0.2μm它非常适合下列产品的外径径向偏差值检测:电力电缆线、挤压成型产品、钢棒和钢管、抽拉加工线材、钢索和钢丝、磁性(漆包)线材、光纤、医疗管材等。二、光电尺寸检测现状AEROEL公司采用光学分光法研制的ALS13XY型双向测微仪，测量范围：0.1～10mm分辨率:0.1μm重复精度:±0.3μm可同时测量相互垂直两个方向的不圆度。二、光电尺寸检测现状日本Keyence公司生产的以线阵CCD为光电器件的尺寸检测仪高速线性CCD和远心光学系统每秒2400个样本的高速取样重复性精度：±0.06μm二、光电尺寸检测现状LS-7030型激光测微计测量范围∶0.3～30

4、mm测量精度∶±2μm重复性∶±0.15μmLS-7010型激光测微计测量范围∶0.04～6mm测量精度∶±0.5μm重复性∶±0.06μm日本Keyence公司研制的两种测径仪二、光电尺寸检测现状Tsi公司研制的Holix系列激光扫描检测仪测量原理测量速度：1167-2833次/秒精度：2.5 µm（单次）7.5 µm（单次）测量范围：0.038-6.4 mm1.0-48.0 mm两种测量系统（TS5000、2833型）用于光纤生产线在线测量二、光电尺寸检测现状我国的光电检测技术起步较晚，但发展迅速，经过近二十年的发展，现在已经有了长足的进步。迄今为止，一大批新研制的光电检测仪器已

5、进入了实用阶段，其中有相当数量的产品已达到了国际先进水平，并且正向着高度集成化、柔性化方向发展。现就几种有代表性的国内检测仪器做以介绍。台湾生产的Lasermike雷射测径仪二、光电尺寸检测现状西安达盛公司生产的测径仪测量范围：φ0.5～φ25mm测量精度:0.01mm测量速度:10次/秒二、光电尺寸检测现状单向/双向/便携/旋转四种类型高扫描速度600次/秒高重复性±1μm最多可同时测量12个数据（外径、缝）北京SD1激光扫描测径仪二、光电尺寸检测现状测量范围：φ0.2～φ30mm测量精度：±3μm,线性±2μm，重复性精度±0.5μm显示方式：点阵液晶（192×64）和7位LED

6、数码管分辨率：0.0001mm扫描速度：1800次/秒TLSM100激光扫描测微仪(北京时代集团)二、光电尺寸检测现状主要技术指标:单向测量精度:±0.003mm分辨率:0.001mm测量范围:φ1～φ30mm双向测量精度:±0.002mm分辨率:0.001mm测量范围:φ1～φ20mm二、光电尺寸检测现状激光测径仪的自动测量和自动识别应用实例二、光电尺寸检测现状线性达到±0.1％超长测量距离达到750mm（LK长距离系列）分辨率:1μm(LK-031)测量不受色彩、表面材质或离散光线所影响30μm直径激光射束光点2.2轴向测量技术日本Keyence公司研制的LK系统位移传感器二、

7、光电尺寸检测现状测量CD磁头的跳动量测量电路板芯片引脚排列测量电路板芯片的相对高度测量圆铁薄片的厚度国外典型厂家还有：美国Zygo公司，英国Renishaw公司，瑞士Zambach公司，德国Zeiss和Opton公司，日本安立、三菱、松下公司等。位移计的几种应用方法二、光电尺寸检测现状2.3光栅位移检测技术直线光栅圆光栅二、光电尺寸检测现状2.4空间坐标检测技术三坐标测量机二、光电尺寸检测现状桥式测量机龙门式测量机水平臂测量机二、光电尺寸检测现状车间型测量