时代、社会、青年

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1、牡丹江大学光伏学院教育训练计划河北东旭投资集团有限公司2011.03.101个人简介姓名：王玺年龄：26岁爱好：运动，读书联系方式：手机：13936620976(哈尔滨)QQ:386412560课程要求：上课认真听讲，注意重点；考试范围全部涵盖在所讲内容之中；缺课不要超过3次，有事情可以提前请假；平时成绩30%+期末考试70%；上节要点回顾：1薄膜材料简介：定义、分类，对薄膜材料的性能要求。2真空技术基础：定义、真空基本特点、真空度单位与区域划分。5SiliconsubstrateOxide宽长厚与衬底相比薄膜非常薄薄膜是指一种在衬底上生长的薄固体物质。如果一种固体物质具有三维尺寸，那么

2、薄膜是指一维尺寸远远小于另外两维上的尺寸。薄膜材料的简单分类薄膜材料涂层或厚膜薄膜(<1um)材料保护涂层材料装饰涂层光电子学薄膜微电子学薄膜其它功能薄膜(>1um)(力,热,磁,生物等)1.3薄膜的分类按功能和应用领域分为：电学薄膜：导电、电阻、半导体、介电、压电、铁电、超导、光电、传感、磁电、光能、电光。光学薄膜：减反射、反射、分光滤光、光存储。工程薄膜：耐腐蚀、防磨损、热传导、润滑。生物医学薄膜：抗菌杀毒、生物活性装饰包装薄膜：金、仿金TiN、铝箔8对薄膜的要求Desiredcomposition,lowcontaminates,goodelectricalandmechanica

3、lproperties.组分正确，沾污少，电和机械性能好Uniformthicknessacrosswafer,andwafer-to-wafer.每一硅片和硅片之间均匀性好3.Goodstepcoverage(“conformalcoverage”).台阶覆盖性好4.Goodfillingofspaces.填充性好5.Planarizedfilms.平整性好上节要点回顾：1薄膜材料简介：定义、分类，对薄膜材料的性能要求。2真空技术基础：定义、真空基本特点、真空度单位与区域划分。“真空”这一术语译自拉丁文Vacuo，其意义是虚无。其实真空应理解为气体较稀薄的空间。在指定的空间内，低于一个

4、大气压力的气体状态统称为真空。真空状态下气体稀薄程度称为真空度，通常用压力值表示。真空技术是基本实验技术之一。自从1643年托里拆利(E.Torricelli)做了著名的有关大气压力实验，发现了真空现象以后，真空技术迅速发展。现在，真空技术已经成为一门独立的前言学科。它的基本内容包括：真空物理、真空的获得、真空的测量和检漏、真空系统的设计和计算等。随着表面科学、空间科学高能粒子加速器、微电子学、薄膜技术、冶金工业以及材料学等尖端科技的发展，真空技术在近代尖端科学技术中的地位越来越重要。（1）真空的基本特点在真空中，气体分子密度低，在某些情况下，真空可以近似地看作没有气体“污染”的空间。真

5、空中，气体分子或带电粒子的平均自由程为：其中为分子直径，p为压强，T为气体温度，k为玻耳兹曼常数。由于上述原因，真空中分子之间碰撞频率很低，分子与固体表面碰撞的频率极低。单位面积上气体分子碰撞频率ν与压强p的关系为：式中M和T分别为气体分子的分子量（单位：g）和温度（单位：K）。（2）真空度的单位与区域划分真空状态下气体稀薄程度称为真空度，通常用压力值表示。1958年，第一界国际技术会议曾建议采用“托”(Torr)作为测量真空度的单位。国际单位制(SI)中规定压力的单位为帕(Pa)。我国采用SI规定。1标准大气压(1atm)≈1.013×105Pa(帕)1Torr≈1/760atm≈1m

6、mHg1Torr≈133Pa我国真空区域划分为：低真空、中真空、高真空、超高真空和极高真空。本节内容概述：1获取真空的办法；2测量真空度的办法；真空度对薄膜质量的影响1、减少蒸发分子与残余气体分子的碰撞2、抑制它们之间的反应，减少对衬底表面的玷污P：压强NA：阿佛伽德罗常数（6.0231023/mol）T：绝对温度R：气体普适常数MG：残余气体的分子量残余气体分子到达基板的速率：真空系统应包括：待抽空的容器(真空室)获得真空的设备(真空泵)测量真空的器具(真空计)必要的管道、阀门和其他附属设备功能：是在指定的时间、空间内获得需求的真空度，保持真空，确保系统内某项工艺过程或物理过程的实施

7、真空系统至今还没有一种泵能直接从大气一直工作到超高真空常常需要把２～３种真空泵组合起来构成复合排气系统以达到所需要的高真空真空泵：获得特定真空度的机械装置；极限压力：系统所能达到的最低压力，或称做极限真空，是真空系统能否满足镀膜需要的重要指标之一。前级泵：能使压力从一个大气压开始变小的泵常称为“前级泵”次级泵：只能从较低压力抽到更低压力的真空泵称为“次级泵”真空泵的分类常用真空泵的分类气体传输泵气体捕获泵扩散泵（次级）钛升华泵溅射离