《高透玻璃镀膜》PPT课件

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1、高透技术交流GlassTransmittanceAbsorptionReflectanceR+A+T=1T=1-R-A无法改变玻璃本身的吸收率，只能通过降低玻璃两面的反射率，提升透射率，即所谓“减反增透”——Antireflection。玻璃有2个反射面。一次反射二次反射光在玻璃中的传播IncidentLightAR膜GlassReflectionIncidentLightARAR膜工作原理：光是电磁波，是能量，通过匹配AR膜的折射率、厚度，使光波在AR膜中产生多光束干涉——上表面相消干涉，下表面相长干涉。相消干涉：光程差=n.λ，n为整

2、数。相长干涉：光程差=n.(λ/2)，n为整数。相对于AR膜的厚度，玻璃的厚度可以看作无穷大，但AR膜的透射率≠AR玻璃的透射率，玻璃有2个反射面，玻璃本身还有吸收。AR膜与AR玻璃AR膜的作用GlassLightSourceBackgroundLight增亮：增加有用光(LightSource)的出射。增加对比度：减少干扰光(BackgroundLight)的反射。单面三层AR膜GlassITOTiO2SiO212nm，导电膜，有吸收；膜厚不可调10nm，光学介质膜，无吸收；膜厚可调1000nm，光学介质膜，无吸收；膜厚可调三层膜中，I

3、TO(n=2)厚度一定，只能靠调节SiO2(n=1.4)和TiO2(n=2.4)厚度获得增透效果，但前提是保证SiO2和TiO2的折射率和极低的吸收率，MF需调整到过氧状态。单面三层AR膜复折射率折射率n和消光系数k都是波长的函数。对透明介质，n随波长λ的增加而减小，k反映了介质对光波的吸收。ITOWavelength300350400450500550600650700750800IndexN2.3752.2922.1822.12.062.052.042.032.022.0151.914IndexK0.2470.0820.0450.02

4、10.0160.0140.0120.0110.01050.01050.01SiO2Wavelength300350400450500550600650700750800IndexN1.4781.4721.4671.4631.4591.4551.4521.451.4461.4431.44IndexK00000000000TiO2Wavelength300350400450500550600650700750800IndexN2.62.572.522.4692.4222.3852.3512.3372.3272.3222.312IndexK00

5、000000000Nb2O5Wavelength383.2400.1421.3446476.4512.1557.4612.2682.2773.1900IndexN2.57572.52122.47812.43622.40192.36672.34172.31482.2932.27382.25IndexK00000000000模拟&实验膜厚：G

6、TiO2

7、SiO2

8、ITO——G

9、92

10、1100

11、79模拟软件为TFCalc，模拟值与实测值的差异是由于模拟所用的薄膜的n、k值与实际值不同。因为T+R+A=1，当A不大时，T和R的光谱近似呈镜像分布，

12、所以下面仅分析T光谱。T光谱曲线和颜色三层AR膜T光谱曲线两端低，中间高，颜色表现为：透射色为绿色和黄色的混合色；反射色为蓝色和红色的混合色。T光谱曲线越平缓，颜色越淡。颜色坐标颜色是一种直观的心理感受，通过颜色来检验膜层实际上是间接检验膜层的T、R光谱和膜厚的均匀性。通过颜色匹配函数，可将T、R光谱转换成相应的透射色坐标和反射色坐标。常用的色坐标系有CIE1931XYZ和CIE1978L*a*b*。不同色坐标系之间可以相互转换。CIE1931XYZ每种颜色对应的(x,y)即为其色坐标。马蹄铁线是光谱轨迹。连接马蹄铁底部结束的线叫作无光

13、谱的“紫色线”。从图中还能看出混色和补色关系。CIE1976L*a*b*L*表示心理明度；a*,b*为心理色度明度差ΔL*,色差Δa*,Δb*或ΔC*,ΔH*总色差TiO2对T光谱的影响三层膜中TiO2层的厚度为9-16nm。TiO2层的厚度越厚，T光谱曲线会变窄，即中间高，两边低，决定了最高透过率。虽然TiO2层的厚度变化也会引起峰值波长偏移(厚，峰右移；反之，左移)，但由于膜厚远较SiO2层薄，影响不大。101——G

14、100

15、1050

16、80102——G

17、120

18、1050

19、80102——G

20、140

21、1050

22、80TiO2对颜色的影响反射

23、L*a*b*Yxy101g26.3511.45-20.294.870.25340.2153102g25.0714.87-18.844.440.26870.2151103e25.2715.17-