《高真空泵浦简介》PPT课件

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1、高真空泵浦简介24thMarch.201011.高真空定义以及高真空泵浦分类2.TurboPump的介紹以及使用上的注意事項3.DP的介紹以及使用上的注意事項4.低温泵浦介紹以及使用上的注意事項項目2高真空泵浦分类1.高真空定义压力在1×10-3到1×15-6毫米汞柱范围内的真空2.高真空分类1、分子泵2、扩散泵3、低温泵3Turbopump的介紹4TMP的構造及特長・回転体はタービン翼とネジ　部からなる複合型。・取付け方向は全方位自由な、５軸制御形磁気軸受を採用。ROTOR為一體成型<1>轉子：<2>葉片間距與寬度比<3>葉片與轉動盤

2、面之角度<4>壓縮級的數目5例：Ar平均速度：390m/s(15℃)ROTORの周速度250～400m/s.STATOR翼ROTOR翼PUMP的排氣原理(1)依據ROTOR的旋轉運動,給予氣體分子朝特定方向(排氣口端)運動的能量PUMP的排氣原理(2)粘滯流及分子流λ：平均自由徑粘滯流：藉由氣體分子間反覆地相互碰撞推擠而移動｡分子流：藉由氣體分子反覆地向管壁衝撞及反射而移動之｡ターボ分子ポンプは､分子流れのこの特性を利用して排気します｡7磁浮控制原理(1)依SENSOR電壓的變動來控制供給磁石的電流,使磁浮體保持在中心位置.8感應型SE

3、NSOR(2)旋轉體的位置若有變動,線圈會感應而隨之變動.此變動是指電能轉換成動能.9磁浮控制單元(3)電磁石変位SENSORROTOR(SHAFT)根據SENSOR檢測出旋轉體位置的訊號,透過磁石,對SHAFT的另一端做吸引的動作,使磁浮對象浮到中心位置.10五軸控制,全方位安裝11Rotor,Stator及其他零件間的空隙因Rotor與T/DBearing的間隙為最小.藉此可防止Rotor或Stator與其他零件相互接觸.12停電時的動作發生停電時,由rotor的回轉的動能持續發電,繼續磁浮控制.平常運轉時的電流停電時的電流PUMP

4、13停電時動作的時間変化磁捊控制持續同時做減速動作,直到一定的回轉數時,發電能力即完全消失,而touchdown於bearing之上,之後再藉由T/DBearing的回轉抵抗緩緩的減速直到完全停止｡停電時動作通常停止時動作14使用上的注意事項151.cable要確實安裝插入Pump,controller及cable間有互換性｡在做更換時,請務必確認cableconnector有確實安裝好.162.請在規定的容許壓力下使用.MFCprocessgasventinggas(inertgas)lessthan1500SCCMpurgegas(

5、inertgas)20～30SCCMprocesschamberthrottlevalvemainvalveforevalvebypathvalveventinggas(inertgas)lessthan1500SCCMDrypumpTMP吸気口圧力:67Pa*–2003LM200Pa*–403LM排気口圧力:270Pa*-2003LM400Pa*-403LM173.其他的使用注意事項如有以下的狀況發生時會導致pump故障,故請避免之.a)避免抽含有Ga(镓)Gas的氣體｡（如有此需求,請與SMZ連絡）b)避免抽固態異物c)避免堆積多量

6、之反應生成物d)避免給予強大的外部振動(許容最大値:0.1G/50Hz)e)避免於強大的磁場中運轉(許容最大値:半径方向3mT軸方向15mT)f)避免放射線干擾(許容最大値:5000rads)g)避免Plasma侵入h)避免使用非規定範圍的電壓,Purge流量,壓力,冷却水量等.i)避免反覆地大氣突入18Troubleshooting(1)-Action請先確認controller面板上的alarmNo.↓參照使用說明書確認{可能的原因}及{處理方法}↓依據處理方法將trouble原因去除19岛津分子泵使用注意事项请相关人员仔细阅读并充

7、分理解岛津分子泵及其控制器的操作说明书分子泵运转之前请确认分子泵安装稳妥，电缆线正常连接并锁紧分子泵在通电后及正常运转时内部旋转体是由电磁力支撑悬浮的，请尽量不要碰撞泵体、控制器和缆线当换靶或做设备保养需要停止分子泵时，请先给出停机指令（STOP），待分子泵减速结束，ROTATION指示灯熄灭（液晶显示屏上显示STOP及转速显示为0%），确认分子泵已经完全停止，才可以关掉电源。如需要拆下缆线，在如前述正常停止分子泵并关掉对应的控制器电源后，才可以拆下与分子泵对应的缆线。分子泵在正常运转时绝对不能拔下电缆插头当需要对腔体恢复大气时，务必等

8、分子泵完全停止时再进行放气20岛津分子泵使用注意事项当遇到意外断电时，分子泵会发生报警（POWERFAILURE），此时分子泵会自发电以维持内部旋转体保持悬浮状态，同时减速运行（BRAKE），在减速到一定转