半导体制造车间设施规划浅析

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1、制造技术半导体制造车间设施规划浅析俞静，钱省三，邵志芳（上海理工大学微电子发展研究中心，上海200093）摘要：在半导体制造业中，由于其设备的昂贵性、敏感性和制造过程的复杂性，工厂的布局一般不可以轻易更改。设计不周的不良布局将会导致庞大的物料搬运成本，无效的生产以及重新布局时所需要的大量成本。因此，工厂的设施规划已经成为半导体制造商们最关心的问题之一。本文依据设施规划的原则对半导体车间的最新布局方式作了系统的阐述。关键词：设施规划；半导体制造车间；优化配置中图分类号：TN305文献标识码：A文章编号：1003-353X(2003)0

2、6-0021-04LayoutinsemiconductormanufacturingplantYUJing,QIANXing-san,SHAOZhi-fang（TheresearchCenterofMicroelectronicsDevelopmentofUSST.Shanghai200093,China）Abstract:Insemiconductorfactory,thelayoutcannotbechangedrandomlybecauseofthecostlinessandsensitivityofequipmentsan

3、dthecomplexityofprocesses.Thelayoutdesignedinconsideratelywillcauseexpensivecostofmaterialhandling,inefficientmanufactureofproduc-tionsandagreatdealofcostwhichrelayoutisrequired.Therefore,thelayouthasbeenthequestionthatsemiconductormanufacturerscaremost.Thispapermakesa

4、systematicexpositionofthelatestlayoutconfigurationofsemiconductormanufacturingplantbytherulesoflayoutinmanufacturing.Keywords:layout;semiconductormanufacturingplant;optimizationofdisposition搬运成本、无效的生产以及重新布局时所需要的大1引言量成本。因此，工厂的设施规划已经成为半导体制设施规划发源于早期的制造业，是伴随着工业造商们最关心的问题，在建

5、厂初期他们就不得不对生产产生的，一直以来都是工业工程的重要分支。工厂进行谨慎详细的规划。这样，工厂投产以后整自泰勒时代开始，管理工程师就关心制造厂的设施体生产系统才能发挥最大的生产效能。规划问题，开始把“机”和“物”的管理提到2设施规划的内容和定义一定的地位上来。二战以后，一些被战争破坏的国家出现了重建工业的时期，工厂的规模和复杂程度各种文献对设施规划定义的表述不尽相同，但明显增大。由于这些变化，工厂的设施规划也日益在制造业中都是把设施规划定义为对一个生产系统显示出现代的特征。进行全面的、系统的规划和安排，这种规划和安排近几年来，由

6、于半导体芯片在电脑，通信等是有目的的，这就是要确定经济合理的投入，使设领域的广泛应用，半导体制造业也在全球得到了飞施得到优化的配置，以支持整个系统实现有效的运速发展。在半导体制造业中，由于其昂贵设备的敏行，获得期望的产出[1]。感性和制造过程的复杂性，工厂的布局变得不可以从工业工程的角度考察，设施规划的范围被界轻易更改，初始的不良布局结果会导致庞大的物料定为场址选择和设施设计两个组成部分。在制造业June2003SemiconductorTechnologyVol.28No.621制造技术中，设施设计又包含了车间设备布局（Facil

7、ities成，物料搬运所需的时间和费用都是十分可观。Layout）设计和物料搬运系统（MaterialHan-以上几点正是半导体制造厂要求有专业的工业dlingSystem）设计两个互相关联的内容。设备布工程师做设施布置，使之更为合理、有效的原因。局设计是对机器、设备、运输通道、场地，按照物流、再加上半导体产业是在一个快速增长并且是周期性人流、信息流的合理需要，做出有机组合和合理安排；变化的市场中运作的，企业要想生存，必须在一个物料搬运系统设计则是对物料搬运的路线、运量、搬可接受的制造周期下有足够高的产量。建厂设计阶运方法和设备、储

8、存场地等做出合理安排。段的设施规划布局和物料搬运系统决定了投产以后半导体制造车间的设施规划包括设备布局设计的制造周期和产量，为了寻求生产系统的最优运行和物料搬运系统设计两个方面，通过这两方面的设效果，必须在系统设计时就优化其布置方案[