《滑片式真空泵》PPT课件

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1、真空知识1、真空基础知识（1）真空单位换算　重点换算单位：Pa，mbar(hPa)，MPa，mmHg，大气压1mmHg=133Pa,1mbar(hPa)=100Pa,1MPa=106Pa（2）绝对压力与相对压力　　绝对压力（也称为绝压），即以“绝对的真空”(自然界中没有绝对的真空，理论上才能达到的绝对真空)为零位，标出的数值都是正值，这个数字越小，越接近绝对真空，也就是绝对压力越小，真空度越高。　　相对压力（也称为表压），即以大气压作为零位，低于大气压的用负值表示，所以叫“负压”。这个负值的绝对值越大，则真空度越高。

2、　　应该充分理解绝对压力与相对压力的概念并熟练换算例：60mmHg＝-700mmHg＝-0.093MPa真空知识真空表，U形真空计，测得是相对压力，麦氏真空计，电子真空测出的是绝对压力？真空泵定义2、真空泵是根据一定的工作原理，用来产生、改善和维持真空环境的装置。解释：•真空泵的工作原理：机械、物理、化学。•真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。•真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。•真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。解释：•真空泵的工作原理：机械、物理、化学。•真空泵的工作目的：排出气体，获得真空

3、。•真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。•真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。真空泵应用方面粗低真空•食品行业•化工行业•冷冻干燥•轻工行业•制药行业•导电(真空放电灯具)超高真空•空间模拟•材料科学分析•物理现象研究•表面分析•高纯材料制备(如MBE)高真空•冶炼•真空热处理、真空焊接•集成电路、半导体制造•各种镀膜工艺•各种表面加工工艺•化学研究•离子注入•隔离作用（绝热）真空系统的组成1真空室2高真空泵（主泵）3预抽泵3a前级泵4高真空阀门5低真空阀门6前级管道7放气阀8低真空计9高真空计真空泵的

4、类型（按真空获得方式）真空泵的分类（按真空泵用途）主泵(Mainpump):在真空系统中，用来获得所要求真空度的真空泵；粗抽泵(Roughingvacuumpump):从大气压开始降低系统的压力到另一抽气系统开始工作的真空泵；前级泵(Backingvacuumpump):用来维持另外一个泵的前级压力在其临界前级压力以下的真空泵；维持泵(Holdingvacuumpump):在真空系统中，当气体量很小，不能有效的利用主前级泵。此时，可以利用容量较小的辅助前级泵来维持主泵工作或维持容器所需真空度；粗/低真空泵(Rough/Low

5、vacuumpump):从大气压力开始并用来获得低真空度的真空泵；高真空泵(Highvacuumpump):在高真空范围工作的真空泵；超高真空泵(Ultrahighvacuumpump):在超高真空范围工作的真空泵；增压真空泵(Boostervacuumpump):安装在低真空和高真空泵之间，用来提高系统工作效率或降低前级泵容量要求的真空泵。参见国标：GB/T3163-2007《真空技术术语》机械真空泵凡是利用机械运动（转动或滑动）来获得真空的泵，称为机械真空泵。变容真空泵（Positivedisplacementpump）

6、：泵腔容积的周期性变化来完成抽气。动量传输泵（Kineticvacuumpump）：依靠高速叶片、射流，将动量传递给气体，完成抽气。常见机械真空泵图形符号参见国标：GB/T3164-2007《真空技术图形符号》机械真空泵性能参量抽气速率（Flowrate）：在相关标准测试条件下，从测试罩流过的气体流量和在测试罩指定位置测得的平衡压力之比。极限压力（Ultimatepressure）：在标准测试条件下，不引入气体正常工作条件下，趋向稳定的最低压力。启动压力（Statingpressure）:泵无损坏启动并且有抽气作用的压力。前

7、级压力（Backingpressure）:排气压力低于一个大气压，真空泵的出口压力。最大前级压力（Maximumbackingpressure）:能使泵损坏的前级压力。最大工作压力（Maximumworkingpressure）:对应最大抽气量的入口压力。抽气量（Throughoutofvacuumpump）:流经泵入口的气体流量。压缩比（Compressionratio）:泵对给定气体的出口压力和入口压力之比。机械真空泵性能参量几点说明：实际应用中真空泵的抽气速率和极限压力是真空泵选配的最重要参量；真空泵的性能测试必须严格

8、按照相关国家标准规定的项目和测试条件来执行；性能测试标准由国标、部标、企业标准几个等级；真空泵在不同使用条件下，强调的性能参数是不同的；对于不同类型真空泵，所需测试的项目差别很大；真空泵性能和真空系统性能是两个概念。机械真空泵规格及型号参见标准：JB/T7673-2011《真空技术真空设备