《微波管总成工艺》PPT课件

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1、第四章微波管总成工艺总成：把微波管所有零部件组装起来，经过排气以及各种处理、测试，最终成为合格产品的过程，简单地说，就是把零件变成成品管的过程。微波管的总成工艺一般包括装配、排气、调试、老练、测试步骤。§4.1微波管的装配装配：根据零件材料、形状、结构不同采用各种连接，按照设计图纸将各零部件连接起来，组装成一个微波冷测性能合格、整体气密不漏气的排气前整管。装配包括：装架、冷测、焊接、检漏几个工序。装架：固定了管内各种零部件的相对位置；确定了电极间的尺寸；因而决定了微波管的性能。因此有严格的要求。冷测：管内阴极无电子发射，各电极不加工作电压的情况下，由外界输

2、送信号来测定微波管及零部件的冷态电参量的一种测试方法。冷测参量能大致地反映管子在工作状态下的某些电性能，检验管体结构的装配和设计是否合理，以便进行必要的调整。冷测是微波管制造中的重要关键工序之一。高频系统的冷态参量磁控管：振荡频率、调频范围、腔体损耗和反射系数等。行波管：慢波结构的色散特性、输入输出的反射、衰减器反射等。高频系统的装配必须建立在冷测控制参量合格的基础上。焊接：利用各种连接方法，将装架好的零部件连接起来。通常采用氢炉钎焊、高频集中焊、氩弧焊。检漏：对气密性焊接进行检查，是否焊接牢固、密封是否良好；防止不合格的零部件流入下工序，尤其是多级焊接的

3、零部件。零部件在上述几个工序按一定的顺序（工艺流程）流动，最后装配出冷测参数合格的待排气整管。4.1-1微波管装配的一般要求（1）严格按照设计图纸进行装配（a）各零部件的相对位置应符合设计图纸，不能装错、遗漏，尤其不要遗忘装焊料或者用错焊料；（b）电极间距离、零件之间的相对尺寸应在允许的公差范围内，不仅要靠零件本身的结构形状和尺寸精度来保证，也要靠工模夹具来保证；（c）零件不应发生变形。电极的变形要到排气加热、烘烤或工作温度下，内应力消除才产生变形。所以不能使用过大的外力强行装配，必要时可以对不影响微波管性能的一些装配面进行一些轻微修整，以利装配。（2）固

4、定和连接必须可靠（3）严格遵守真空卫生要求（4）必须严格进行检验（a）冷测参量检查（b）电极间相对尺寸和外形检验（c）连接牢固可靠检验4.1-2微波管装配的特点微波管的工作频率高，电子枪、高频结构对尺寸精度的敏感性特别高（随频率升高而增高）；因此微波管的装配要求比其它真空电子器件更高、更严格。（a）微波管零件的连接大量采用钎焊，很多零部件需经过多次焊接。焊缝结构设计、多级焊料的选择（焊料形状、规格、位置和量）至关重要。（b）普遍使用高精度模夹具。（c）装配过程必须与测量、检漏和检验相结合。高频性能、气密性能检验（d）除了个别管型，都是单件手工操作生产。人员

5、高要求、专业化。4.1-2微波管装配的特点（e）在装入阴极组件后，为避免阴极组件受高温影响，皆采用局部加热焊接（大电流焊接、氩弧焊、高频焊集中焊、电子束焊）（f）总装完成后应检查气密性、电气性能（电极之间绝缘性，灯丝阻值），附带钛泵、吸气剂绝缘等等，只有一切合格后才可以转入下一道工序——排气。§4.2排气设备和真空泵构成：真空抽气系统，真空测量装置，加热去气设备，电源及控制机构等。微波管的排气台根据烘箱的种类分为：普通排气台（单真空排气台）双真空排气台；根据所能达到的真空度可分为高真空排气台超高真空排气台。（一）真空系统真空系统是排气台的核心部分，器件内部

6、的空气依赖真空系统抽走并达到一定真空度。真空系统由真空泵、连接管道、真空阀门以及辅助装置等组成。超高真空排气台真空系统示意图（1）对真空系统的要求（a）真空度要求应满足器件对真空度的要求。极限真空度：器件无漏气、放气时所能达到的真空。工作真空度：器件进行真空处理时所能维持的真空。系统的极限真空主要取决于真空泵的极限真空度，真空系统的密封性和去气的彻底。（b）抽气速率抽气速率：被抽器件中所获得的抽速。系统应该具有所需要的抽气速率。抽速的大小决定了器件排气的时间，提高抽速就可以缩短排气时间，提高劳动生产率。微波管在排气中会放出大量气体，也必须有足够的抽速及时把

7、零件放出的气体排走，减少其它零件再次吸附气体和引起阴极中毒的可能。系统的抽速取决于真空泵的抽速、连接管道和真空阀门等零件的导通能力。（c）真空系统结构真空系统应该结构简单、可靠，尽可能操作维护方便，希望噪音低、无污染、成本低。（2）真空度单位与真空区域的划分理想的真空是不存在的。真空：泛指低于一个标准大气压的气体状态，即所谓稀薄的气体。真空度：对气体稀薄程度的一个客观量度。对应的物理量是每单位体积中的分子数。实际采用真空内气体压强来度量。压强越低，真空度越高，反之压强越高，真空度越低。（a）真空度单位早期用毫米汞柱乇（Torr）作为气压的单位1标准大气压＝

8、760毫米汞柱（mmHg）＝760乇（Torr）现在采用国际标准单