多晶硅还原尾气干法分离系统技术

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1、还原尾气干法分离系统技术一、原料性质及质量指标1．氢气:分子式：H2分子量：2.0161.1物理性质密度：0.08987kg/m3（标况下）；熔点：－259.2℃沸点：－252.78℃；水中溶解性：几乎不溶解于水；难以液化，液态氢是无色透明液体，有超导性；外观嗅味：无色、无味的气体。1.2化学性质在常温下氢气的化学性质很稳定，但在加热或点燃的情况下，氢气能与许多物质发生化学反应；氢气能与氧、碳、氮、氯分别反应生成水、碳氢化合物、氨和氯化氢；氢气能与活泼的碱金属反应，生成该金属的氢化物；氢气能与多种具有氧化性的化合物发生

2、还原反应；氢气能与不饱和的烃类发生加成反应；1.3氢气的爆炸性：在空气中自燃温度为510℃，最小点火能量（空气中）为0.019H焦耳，爆炸极限：a、空气中4～74.5%b、氧气中4.5～95%c、氯气中5～87.5%d、氯化氢、氯气、氢气混合物中5～13%。1.4主要质量指标氢气纯度（H2）≥99.999%氮气含量:（N2）＜5ppmw甲烷含量:（CH4）＜1ppmw氧气含量:（O2）＜1ppmw水含量:（H2O）＜1ppmw2.氮气2．氮气分子式：N2分子量：282.1物理性质：单质氮在常况下是一种无色无臭的气体，在

3、标准情况下的气体密度是1.25Kg/m3，熔点-210℃,沸点-198℃，临界温度为-147℃，它是个难于液化的气体。在水中的溶解度很小，在10℃时，一体积水约可溶解0.02体积的N2。氮气在极低温下会液化成白色液体，进一步降低温度时，更会形成白色晶状固体。通常市场上供应的氮气都盛于黑色气体瓶中保存。2.2化学性质氮气分子的分子轨道式为,对成键有贡献的是三对电子，即形成两个π键和一个σ键。对成键没有贡献，成键与反键能量近似抵消，它们相当于孤电子对。由于N2分子中存在叁键N≡N，所以N2分子具有很大的稳定性，将它分解为原

4、子需要吸收941.69kJ/mol的能量。N2分子是已知的双原子分子中最稳定的。2.3危害性虽然氮气本身没有毒，但是如果氮气的浓度过高，将直接影响氧气的含量。因此，对于我工序生产的氮气，在输送和使用中必须注意通风，以免造成窒息伤人事故。2.4主要质量指标氮气纯度:（N2）≥99.999%；氧气含量:（O2）＜1ppmw；水含量:（H2O）＜1ppmw含碳化合物总数折算成CH4的容积率不大于0.0003%2氯化氢3中文名：氯化氢3．2分子量：36.463．3英文名：Hydrogenchloride3．4毒性：对眼.呼吸道

5、有强烈刺激作用3．5分子式：HCL3．6最高允许浓度：15mg/m33．7理化性质3．7．1外观..性状：无色发烟气体，有强烈刺激气味。3．7．2溶解性：易溶于水，生成盐酸。3．7．3相对密度：1.19（水=1）1.27（空气=1）3．8燃烧爆炸危险性本品不然危险特性：具有强烈腐蚀性，能与一些金属发生反应，放出氢气，遇高热，容器内热增大，有开裂和爆炸危险。3.9急救皮肤接触：脱去污染衣物，流水冲洗至少20分钟。眼接触：使眼脸张开，用生理盐水或微温水冲洗至少20分钟，后用可的松眼液滴眼。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处，保

6、持呼吸畅通，呼吸困难时输氧就医。误服：立即就医，严禁洗胃，也不可催吐，以免加重损伤或引起胃穿孔。可用2.5%氧化镁溶液，牛奶，豆浆蛋清，花生油等口服，禁用碳酸氢钠溶液洗胃或口服。3．10工程控制：密闭操作，局部排风。3．11防护措施呼吸系统：空气中浓度超标时，佩戴防毒面具。紧急事态抢救时，佩带氧气呼吸器。眼：戴化学防溅眼镜。防护服：穿工作服。手：戴防护手套。3．12其它：工作场所应备有眼睛冲洗器具，工作后，淋洗更衣。3．13储存运输：盐酸储存于密封容器内放置于通风，阴凉地方，远离碱类，活性金属粉末。存放地应有防酸底面和

7、良好排水设施，运输按规定路线行驶。3．14泄露处理：气体泄漏时迅速撤离污染区人员至上风处，应急处理人员佩带防毒面具或氧气呼吸器，切断气源，喷氨水或其它稀碱液中和，注意处理废水，抽排（室内）或强力通风（室外）。盐酸储存容器应避免泄漏，突发泄漏时，碱液中和，大量水冲洗，排入地沟。3．15灭火方法：本品不燃，喷水冷却容器有助于防止爆炸，爆裂和减少蒸汽。4.三氯氢硅三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿；分子式为SiHCl3;分子量135.434.1三氯氢硅的物化性质   熔点(101.325kPa)：-134℃；沸点(101.325k

8、Pa)：31.8℃；液体密度(0℃)：1350kg/m3；相对密度(气体，空气=1)：4.7；蒸气压(-16.4℃)：13.3kPa；(14.5℃)：53.3kPa；燃点：-27.8℃；自燃点：104.4℃；闪点：-13.9℃；自燃温度：175℃；爆炸极限：6.9～70%；具有急性毒性。外观：无色透明液体，无机械杂质三氯硅烷在常温