各向异性磁阻传感器的应用ppt

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1、各向异性磁阻传感器的应用——从设想到实践指导教师：刘进老师合作者：物理系：刘奇电子系：虞南方裴轶Evaluationonly.CreatedwithAspose.Slidesfor.NET3.5ClientProfile5.2.0.0.Copyright2004-2011AsposePtyLtd.各向异性磁阻传感器(AMR)原理：*AnisotropicMagnetoresistiveEffect——各向异性磁阻效应*UnliketheHalleffect,AMRisfundamentallyaquan

2、tum-mechanicaleffect.*spin-orbitinteractionsbetweentheelectrontrajectory(orbit)andthemagnetization(spin).Evaluationonly.CreatedwithAspose.Slidesfor.NET3.5ClientProfile5.2.0.0.Copyright2004-2011AsposePtyLtd.传感器原理各向异性磁阻传感器是将铁镍合金薄膜沉积在硅基底上构成的，沉积的时候薄膜以条带的形式排布

3、，形成一个平面的线阵以增加磁阻的感知磁场的面积。Evaluationonly.CreatedwithAspose.Slidesfor.NET3.5ClientProfile5.2.0.0.Copyright2004-2011AsposePtyLtd.传感器原理当外部磁场加到这样的铁磁性薄膜上的时候，磁畴旋转，改变空间取向，这样使得薄膜条带构成的线阵的表观电阻发生改变。具体的说，电桥的相对的两个臂上的电阻增大，而另外两只相对的臂上的电阻减小，就反应在电桥电压输出的改变上。Evaluationonly.Cr

4、eatedwithAspose.Slidesfor.NET3.5ClientProfile5.2.0.0.Copyright2004-2011AsposePtyLtd.Evaluationonly.CreatedwithAspose.Slidesfor.NET3.5ClientProfile5.2.0.0.Copyright2004-2011AsposePtyLtd.Evaluationonly.CreatedwithAspose.Slidesfor.NET3.5ClientProfile5.2.0.0

5、.Copyright2004-2011AsposePtyLtd.各向异性磁阻传感器HMC1002实验中采用HoneyWell公司的HMC1002特性：*响应时间短（可以测高频交变磁场）*测量精度高（达10^(-8)T)*有两个敏感轴，可确定平面内大小方向芯片体积小，定位较准确Evaluationonly.CreatedwithAspose.Slidesfor.NET3.5ClientProfile5.2.0.0.Copyright2004-2011AsposePtyLtd.芯片管脚排布Evaluatio

6、nonly.CreatedwithAspose.Slidesfor.NET3.5ClientProfile5.2.0.0.Copyright2004-2011AsposePtyLtd.电压与磁场关系曲线外加磁场和电桥电压输出的线性关系：Evaluationonly.CreatedwithAspose.Slidesfor.NET3.5ClientProfile5.2.0.0.Copyright2004-2011AsposePtyLtd.Evaluationonly.CreatedwithAspose.Sl

7、idesfor.NET3.5ClientProfile5.2.0.0.Copyright2004-2011AsposePtyLtd.芯片内的惠斯通电桥Evaluationonly.CreatedwithAspose.Slidesfor.NET3.5ClientProfile5.2.0.0.Copyright2004-2011AsposePtyLtd.Offset管脚通过在Offset管脚上加置合适的电压可以使得：l把某个特定方向的不需要的磁场扣减掉（“屏蔽”）；l修正由于工艺本身造成的电桥的不平衡；l通

8、过电桥输出的电压信号的反馈可以由offset功能完全抵消外部磁场对传感器的作用，可以方便的实现“回零”的操作，这在用这个传感器搭建一些更复杂的测量系统的时候会非常有用；同时，honeywell1022磁阻传感器还内置了两组功能性的铁磁性电阻，外部相应的有两组功能管脚，称作offset管脚和set/reset管脚。Evaluationonly.CreatedwithAspose.Slidesfor.NET3.5ClientProfile5.2