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1、硅片行业术语大全(中英文对照)收藏分享2011-3-914:29
2、 发布者: 么西么西
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5、来自:solarzoom摘要: Acceptor-Anelement,suchasboron,indium,andgalliumusedtocreateafreeholeinasemiconductor.Theacceptoratomsarerequiredtohaveonelessvalenceelectronthanthesemiconductor.... Acceptor -Anelement,suchasboron,
6、indium,andgalliumusedtocreateafreeholeinasemiconductor.Theacceptoratomsarerequiredtohaveonelessvalenceelectronthanthesemiconductor. 受主- 一种用来在半导体中形成空穴的元素,比如硼、铟和镓。受主原子必须比半导体元素少一价电子 AlignmentPrecision -Displacementofpatternsthatoccursduringthephotolithographyprocess. 套准精度-在光刻
7、工艺中转移图形的精度。 Anisotropic -Aprocessofetchingthathasverylittleornoundercutting 各向异性-在蚀刻过程中,只做少量或不做侧向凹刻。 AreaContamination -Anyforeignparticlesormaterialthatarefoundonthesurfaceofawafer.Thisisviewedasdiscoloredorsmudged,anditistheresultofstains,fingerprints,waterspots,etc. 沾
8、污区域-任何在晶圆片表面的外来粒子或物质。由沾污、手印和水滴产生的污染。 Azimuth,inEllipsometry-Theanglemeasuredbetweentheplaneofincidenceandthemajoraxisoftheellipse. 椭圆方位角-测量入射面和主晶轴之间的角度。 Backside -Thebottomsurfaceofasiliconwafer.(Note:Thistermisnotpreferred;instead,use'backsurface'.) 背面-晶圆片的底部表面。(注:不推荐该术
9、语,建议使用"背部表面") BaseSiliconLayer -Thesiliconwaferthatislocatedunderneaththeinsulatorlayer,whichsupportsthesiliconfilmontopofthewafer. 底部硅层-在绝缘层下部的晶圆片,是顶部硅层的基础。 Bipolar -Transistorsthatareabletousebothholesandelectronsaschargecarriers. 双极晶体管-能够采用空穴和电子传导电荷的晶体管。 BondedWafer
10、s -Twosiliconwafersthathavebeenbondedtogetherbysilicondioxide,whichactsasaninsulatinglayer. 绑定晶圆片-两个晶圆片通过二氧化硅层结合到一起,作为绝缘层。 BondingInterface -Theareawherethebondingoftwowafersoccurs. 绑定面-两个晶圆片结合的接触区。 BuriedLayer- Apathoflowresistanceforacurrentmovinginadevice.Manyofthesed
11、opantsareantimonyandarsenic. 埋层-为了电路电流流动而形成的低电阻路径,搀杂剂是锑和砷。 BuriedOxideLayer(BOX) -Thelayerthatinsulatesbetweenthetwowafers. 氧化埋层(BOX)-在两个晶圆片间的绝缘层。 Carrier -Valenceholesandconductionelectronsthatarecapableofcarryingachargethroughasolidsurfaceinasiliconwafer. 载流子-晶圆片中用来传导
12、电流的空穴或电子。 Chemical-MechanicalPolish(CMP) -Aprocessofflatten
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