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时间：2019-06-14
《精密加工技术(第八讲)》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、6.1单频激光干涉仪的基本原理6.2双激光干涉仪的基本原理6.3激光干涉仪在精密加工中的应用第6章激光干涉仪及其在精密加工中的应用第1节单频激光干涉仪的基本原理干涉干涉条纹接收器移动λ/2干涉条纹明暗变化一次He-Ne激光波长：632.8nm精度达到±0.2μm，合成光的振幅和为零：暗单频激光干涉仪缺点激光的频率和幅值改变，影响测量精度外部的气压，湿度、温度改变影响测量精度第2节双频激光干涉仪的基本原理发射波频率与反射波频率之差，与物体的移动速度有关，一般说来移动物体的速度越大，频率之差也越大。多普勒效应：
2、f基＝f2－f1M1：分光镜M3：固定棱镜abM2：分光镜f测＝f２－(f1±Δf)M4：可动棱镜f测-f基＝Δf光电元件光电元件激光干涉仪的优点1.精度高双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。即使不做细分也可达到μm量级，细分后更可达到nm量级。2.应用范围广双频激光干涉仪除了可用于长度的精密测量外，配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等。3.环境适应力强即使光强衰减90%，仍然可以得到有效的干涉信号。由于这一特点，双频激光干涉仪既可在恒温、恒湿、防震的计量室内检定
3、量块、量杆、刻尺、微分校准器和坐标测量机，也可以在普通的车间内为大型的机床的刻度进行标定。4.实时动态测量，测速高。现代的双频激光干涉仪测速普遍达到1m/s，有的甚至于十几m/s，适于高速动态测量。第3节激光干涉仪在精密加工中应用激光束的调整技术激光干涉仪测量圆度误差习题依据图中的指示，论述说明双频激光干涉仪测距原理。
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