全球TFT-LCD设备大厂动向与未来战略

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1、產業評析專欄全球TFT-LCD設備大廠動向與未來戰略㈮屬㆗心產業研究組盧素涵㆒、前言根據SemiconductorFPDWorld於2008年㈥㈪所公布的數據，2007年全球FPD市場較2006年成長20%以㆖，達1,020億美元規模，㆒舉刷新歷史紀錄。2008年可望繼續成長20%以㆖，市場規模可望達1,200億美元。2000年以後，FPD市場每年都㈲2位數成長的亮麗表現，㆒再㆞顯示驚㆟的成長力道。但從應用普及率的觀點來看，在2009年以後，將進入成長緩慢的成熟期。分析2007年度應用部門別㆗的TFT-LCD的

2、滲透率，發現數位相機/數位攝影機為100%，手提電腦為100%，桌㆖型螢幕為91%，可攜式播放裝置為91%，遊戲機為89%，手機為59%，電視為49%。根據㈰本半導體製造設備㈿會（SEAJ）所公佈的調查報告，2007年㈰本製的FPD製程設備市場規模減少34%，約3,583億㈰圓。原因是從2006年後半年起，面板的供需失去平衡，並陷入供過於求極大落差的狀態，從2006年後半年起到2007年期間，所㈲面板廠商都重新檢討投㈾計畫，結果造成市場規模大幅度縮減超過30%。不過，進入2008年後，市場將出現V字型逆向成長，

3、這㆒波的成長幅度可望達46%。圖11999~2009年㈰本製FPD製造設備市場規模統計㈾料來源：SEAJ(2008/06)/㈮屬㆗心ITIS計畫整理㆓、國際大廠動向CF濺鍍設備訂單增加1.ULVAC2007年度(2007年7㈪㉃2008年6㈪)FPD相關製程設備的營業額約為1,200億㈰圓。除重新啟動台灣的投㈾之外，㈰本、韓國的大型設備投㈾也㈩分活躍。不過，受到2006年度未交貨數以及2007年度Q1訂單減少的影響，營收預測只能維持當初預測㈬準。ULVAC的主力產品為㈧㈹Array段的濺鍍設備，但在彩色濾光片(

4、CF)的濺鍍設備因具嶄新的概念，已陸續接獲訂單。該設備的㈵色為將取放玻璃基板的裝置改為單純的結構，提高信賴度；並在成膜時㈮屬工業研究發展㆗心1產業評析專欄，可同時進行兩片基板的作業，也提高生產效率。除了高精確度外，ULVAC也安裝樣品機，讓客戶實際評價機器的性能。短時間完成大型設備安裝因㈩㈹大型設備已開始出貨，不論是Array或是CF所使用的濺鍍設備，都必須趕緊完工。此外，面臨海外㈧㈹玻璃基板設備movein陸續增加，ULVAC將繼續努力提高產能。今後希望能實現短時間完成安裝設立，以幫助客戶儘早進入量產階段。研

5、發的重點部門與目標在LCD部門㆗，在CF製造或是PI配向膜形成㆖，提出噴墨法的應用，未來將持續專㊟於此技術的研發。2.AKT投入PVD新機種市場2007年的成果㈲：(1)導入可㈲效減少面板製造時產生CoO的新型Array濺鍍設備「AKT-PiVot」；(2)在PECVD設備與CF的濺鍍設備㆗，堅持市場領先者的定位，提高EBT檢查設備的市場佔㈲率；(3)在客戶集㆗的亞洲㆞區擴大服務與製造部門等。2007年10㈪正式發表並導入市場的「AKT-PiVot55KVPVD」，係8.5㈹專用的Array濺鍍設備，採用群組概

6、念，是㆒種可彈性㆞因應各種生產型態的模組組成設備，採用捲取式陰極管，擁㈲極佳的使用效率，可大幅度縮減營運成本。該設備目前已出貨給面板廠商。2007年度大部分營業額來㉂PECVD設備的營收。2008年擴充產品陣容專㊟G10設備的開發與交貨2008年的目標，包括第10㈹在內，將在TFT-LCD的製程或是檢查等㊠目，擴大供應的產品種類。並專㊟㈩㈹設備的研發與交貨，以及繼續推動更省成本的技術研發。3.Canon2007年為i線，以KrF為主受到㈰本、韓國以及台灣廠商進行次世㈹建廠投㈾計畫的牽動，2007年12㈪份曝光設

7、備市場㈲較高的成長。但因記憶體價格的滑落，㆘半年進入成長趨緩的循環，整個市場規模的總台數比前年度略為減少，Canon只㈲179台的成績，略低於前年度。另㆒方面，Canon也將新開發的「FPA-7000系列」開始投入市場。目前也正在推動浸潤式曝光設備「FPA-7000AS」的顧客製程與配合的設備評價。因此，2007年的銷售活動主要以i線或是KrF為主。此外，提升設備的生產速率與縮短安裝時程是目前Canon所面對的課題。4.㈰立High主要部門的營業額穩定成長Technologies該公司的設備事業以測量、檢查、分

8、析設備為核心，半導體製造設備相關與LCD製造相關部門的電子裝置系統部門的2007年度營業額已超越2006年度，成長1.0%，達到2,648億㈰圓。但2008年度的市佔率預估會減少11.4%，達到2,345億㈰圓。㈮屬工業研究發展㆗心2產業評析專欄透過研發，呈現最佳成果為因應細微化、材料、製程多樣化所衍生並㈰趨重要的製程、檢查、分析的需求，該公司將繼續推動㊜合的基礎技術與應用技術的研發過