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《光电测量设备光学系统的像面照度均匀性检测_沈湘衡》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、第16卷第12期光学精密工程Vol.16No.122008年12月OpticsandPrecisionEngineeringDec.2008文章编号1004-924X(2008)12-2531-06光电测量设备光学系统的像面照度均匀性检测11,211,2沈湘衡,杨亮,贺庚贤,王力(1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;2.中国科学院研究生院,北京,10039)摘要:提出了一种光电测量设备光学系统像面照度均匀性的检测方法。该方法首先对被检设备的CCD进行标定,然后用给出的均匀性检测
2、系统对整机光学系统进行检测。该检测系统利用积分球产生均匀背景光信号,将光测设备置于积分球通光口处,利用计算机采集CCD图像。根据CCD的标定结果,用两点多段校正算法对采集到的图像进行校正,通过对校正后的图像进行分析,得到像面照度的不均匀度。此外,将图像分为多个区域,计算各个区域的灰度与像面中心区域灰度的比值,得出图像的灰度分布,实现了光电测量设备光学系统像面照度均匀性的室内检测。利用研制的光电测量设备光学系统像面照度均匀性检测系统对某型号光电测量设备进行了检测,得到了该设备光学系统像面照度不均匀度达到18.
3、7%,不满足不均匀度[10%的要求,应对该光测设备进行重新装调。在重新装调后对该设备进行复检,得到重新装调后的不均匀度为6.7%,像面照度均匀性得到了提高,验证了该方法的有效性。关键词:像面照度不均匀度;光学镜头;CCD校正;积分球;光电测量设备中图分类号:TH703;TB96文献标识码:AMeasurementofimageplaneilluminationnon-uniformityofopticalsysteminphotoelectricequipment11,211,2SHENXiang-heng
4、,YANGLiang,HEGeng-xian,WANGLi(1.ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysics,ChineseAcademyofSciences,Changchun130033,China;2.GraduateUniversityofChineseAcademyofSciences,Beijing100039,China)Abstract:Ameasurementmethodwasproposedfortheimageplaneillum
5、inationnon-uniformityofop-ticalsysteminphotoelectricmeasuringequipment.Firstlly,theCCDofphotoelectricmeasuringe-quipmentwascalibratedbyusinganintegratingsphereandthen,theimageplaneilluminationnon-u-niformityofwholeopticalsystemwasmeasured.Forsimulatingtheb
6、ackgroundofsky,integratingspherewasusedtoprovideanuniformradiantsource.Thephotoelectricequipmentwasputonthefrontofintegratingsphere,andaCCDimagewascapturedbyacomputer.Afteranalyzingtheimage,theimageplaneilluminationnon-uniformityofopticalsystemwasobtained.
7、Forimprovingthere-sults,thetwo-pointmult-isectioncorrectionwasusedtocorrectthephotoelectricresponsenon-un-iformityofCCD.Moreover,thecorrectedimagewasdividedintoseveralsections,andtheratioofaver-agegrayineachsectiontothatincenterareaofimageplanewascalculate
8、d,sothatthegraydistribu-收稿日期:2008-07-29;修订日期:2008-10-07.基金项目:国家自然科学基金资助项目(No.60507003)2532光学精密工程第16卷tionwasobtained,bywhichtheimageplaneilluminationnon-uniformitywasmeasuredindoorsuccess-fully.Finally,agroupo
