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1、第23卷第1期红外与毫米波学报Vol.23,No.12004年2月J.InfraredMillim.WavesFebruary,2004文章编号:1001-9014(2004)01-0006-05红外30m亚波长抗反射光栅的制作111121,3曹召良,卢振武,张平,王淑荣,赵晶丽,李凤有(1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130022;2.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光电传感技术研究室,吉林长春1300223.南开大学现代光学研究所,光电信息,技术科
2、学教育部重点实验室,天津300071)摘要:利用严格耦合波理论设计出亚波长抗反射光栅,并通过等离子体辅助刻蚀制作出了立方状抗反抗光栅.测量结果发现该光栅具有良好的增透特性,并且测得光栅参数和理论设计参数基本一致,表明等离子体辅助刻蚀是制作深光栅的有效方法.对实验结果进行了分析和讨论,结果表明,临界周期点随折射率的变化规律在亚波长抗反射光栅的制作中有重要的作用.关键词:严格耦合波理论;亚波长;抗反射;光栅中图分类号:TN214文献标识码:AFABRICATIONOFANTIREFLECTIVESUBWAVEL
3、ENGTHGRATINGATINFRARED30mREGION1111CAOZhaoLiang,LUZhenWu,ZHANGPing,WANGShuRong,21,3ZHAOJingLi,LIFengYou(1.StateKeyLaboratoryofAppliedOptics,ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysics,ChineseAcademyofSciences,Changchun130022,China;2.Departmento
4、fOptoelectronicSensorsandApplication,ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysics,ChineseAcademyofSciences,Changchun,130022,China3.ThekeyLaboratoryofOptoelectronicInformationScienceandTechnology,InstituteofModernOptics,NankaiUniversity,Tianjin300071,Chi
5、na)Abstract:Antireflectivesubwavelengthgratingwasdesignedbyusingrigorouscoupledwaveapproach(RCWA).Thesquarepillargratingwasfabricatedbyplasmaassistedetching.Testingresultsshowthatthegratinghasaverygoodantireflectivecharacteristic,andthevaluesoftestingparamete
6、rsapproximatelyequaltothedesigneddata.Itindicatesthattheplasmaassistedetchingmethodisvalidtofabricatedeepgroovegrating.Theexperimentalresultsareanalyzedanddiscusssed.Itisshownthatthecriticalperiodicpointasafunctionofrefractiveindexisveryimportanttofabricatethe
7、antireflectiveaubwavelengthgrating.Keywords:rigorouscouplewaveapproach(RCWA);subwavelength;antireflection;grating寸小于波长时,称之为亚波长光学元件.亚波长光学引言[3,4]元件可以用作抗反射元件、偏振器件和窄带滤由于衍射光学元件具有重量轻、体积小和消色波器等.当用作抗反射元件时,由于其可以解决传统[1,2]差等特点,已被广泛用于经典的光学系统中,以镀膜无法克服的一些困难,在某些应用方面它大有提高光学系统
8、的成像质量同时减小光学系统的重量取代传统镀膜之势.由于其波长光栅可以通过调节和体积.在衍射光学元件中,当元件的周期或特征尺光栅的周期、面形、占空比和沟槽深度等参数实现任收稿日期:20021209,修回日期:20030820ReceivedDate:20021209,revisedDate:20030820基
