电子芯片厂方洁净室华夫板施工技术

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1、2011中国建筑技术中心技术交流会电子芯片厂房洁净室华夫板施工技术王永好李奇志（中建二局深圳分公司，深圳518000）提要：由于电子芯片厂房的工艺要求以及对空气洁净度的要求，一般采取新型材料华夫板。华夫板施工质量的好坏直接影响到洁净房功能的发挥。本文根据工程实例来详细阐述介绍华夫板的施工工艺和注意事项，对类似工程有一定的借鉴作用。关键词：电子芯片厂房；洁净室；华夫板；施工工艺ConstructionTechnologiesOfElectronicChipPlantCleanRoomChessSlabAbstract：Becauseofthetechnologi

2、calandaircleanlinessrequirement,Chessslabisadoptedinthecleanroomofelectronicchipplant.Thenormaloperationofacleaningroomliesonthehighconstructionqualityofchessslab.Inthearticle,theauthorintroducesconstructionmethodandkeypointsofthechessslabcombiningtheprojectexample.Thearticlecanbeus

3、edforreferenceinthesimilarprojects.Keywords：ElectronicChipPlant;CleaningRoom;ChessSlab;ConstructionMethod.一、引言为了满足防微震、空气循环的需要和防治尘埃粒子附着，有洁净度要求的电子芯片厂房一般采用华夫楼板（ChessSlab），华夫楼板由华夫模板和钢筋混凝土组成的钢混结构。华夫模板（FRP，环氧玻璃钢）是一种新型的复合材料，混凝土浇筑后与刚度大的密肋交叉梁系和钢筋混凝土剪力墙一起组成楼层结构防微震系统，底模一般不拆除，做为永久性模板同时取代了洁净要求的顶

4、棚环氧涂料，如图。以满足电子厂房的洁净度要求。本文结合中芯国际FAB15芯片生产厂房工程华夫板施工的实例来介绍下华夫板施工工艺和注意事项。图1华夫板完成后照片二、工程概况该工程为三层厂房结构（局部四层），总建筑面积约7万平米。建筑无地下室，结构伸缩缝左侧为框架结构，伸缩缝右侧为框剪结构。建筑2~3层4~21轴为洁净度二级（即100级）的洁净房，为满足洁净度要求，4~21轴的3层楼板采用了华夫楼板。4~9轴采用高500mm，9~21轴采用高600mm，直径350mm，中心距600的圆孔一体成型华夫板，铺排完成后孔筒纵横方向在同一直线，筒间满布250×500（60

5、0）mm的暗梁。标准的六孔华夫板与实物图如下图所示。华夫板的施工面积达12，000m2。242011中国建筑技术中心技术交流会340340340355355355595(495)30060060030030012006003001800图2华夫板尺寸及现场实物照片三、工程难点华夫板是一种新型的结构体系，该工程也是二局第一次施工华夫板，业界尚无成熟的施工经验推广运用，也无成熟的工法艺可参考。华夫板施工质量的好坏直接影响到洁净房功能的发挥，根据图纸的要求，如何合理有效的安排施工工序，减少甚至杜绝华夫模板板缝的漏浆，控制混凝土面层一次成型的平整度（设计要求面层平整度

6、3mx3m误差不超过3mm）是施工控制的重点。四、施工工艺华夫板的施工流程为：模板排版->支撑架搭设及模板安装->华夫板模板安装->密肋梁钢筋绑扎->混凝土浇筑->支撑架及模板拆除->华夫板清洁。下面就每个步骤的施工步骤进行详细阐述：（一）模板排版华夫模板是定型模板，生产周期较长，模板四周都有翻边，进场后几乎无法再进行调整，因此为了满足施工现场进度和施工的原材需求，如果在铺设之前不进行精确的定位排版，由于结构偏差及华夫模板材料本身的累计尺寸偏差，势必会造成华夫模板之间和华夫模板与砼结构之间的缝隙宽度过大或无法铺设，极大地增加了接缝处漏浆的几率。其次，华夫模板圆

7、孔的位置精度要求非常高，体现在水平和平面尺寸。因在楼面有高架地板，华夫板铺设时绝对不能产生累积误差，如偏差过大，将给配管和高架地板等后续施工带来问题。因此，必须根据施工图在施工前期做出华夫板排版图，详细的排出各种定型板单元及异形版的数量与位置。（二）支撑架搭设及模板安装华夫板模板支撑架采用碗扣满堂脚手架，该工程二层层高6.6m，属于高支模的范畴。制定专项方案并进行专家论证。论证后的碗扣满堂脚手架立杆跨距1.0m，步距1.2m，主龙骨为100x100mm木方，次龙骨为50x100mm木方，同时将主次龙骨固定，为防止木方架空影响华夫板的平整度，主次龙骨铺设完毕后检

8、查其标高和平整度，符合要求后再铺设12