资源描述：
《半导体器件引线框架材料的现状与发展》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、第19卷第3期材料科学与工程总第75期Vo1119No13MaterialsScience&EngineeringSep.2001文章编号:10042793x(2001)0320127204半导体器件引线框架材料的现状与发展邬震泰(浙江大学材料科学与工程系,杭州310027)【摘要】本文评述了半导体器件引线框架材料国内外研究开发的现状,对引线框架材料性能和材料设计进行了分析,并讨论了随着计算机和信息工业的迅猛发展,引线框架材料今后的发展趋势。【关键词】引线框架材料;半导体器件;材料设计中图分类号:TN305196文献标识码:ACu
2、rrentstatusanddevelopmentofleadframematerialsusedinsemiconductordevicesWUZhen2tai(DepartmentofMaterialsScienceandEngineering,ZhejiangUniversity,Hangzhou310027,China)【Abstract】Thispaperreviewedthecurrentstatusofresearchonleadframematerialsusedinsemiconductordevicesinho
3、meandabroad,andanalyzedperformanceanddesignofthematerials.Thetrendoftheprogressinthefuturewiththerapiddevelopmentofcomputerandinformationindustryisdiscussed.【Keywords】Leadframematerials;Semiconductordevices;Materialdesign时价格又比较高。自美国Olin公司在70年代开发1引言出铜基C19400、C19500合金以来
4、,新型铜基材料以其良好的导电性、导热性、价格低的优势而大量出现自本世纪六十年代初世界上第一块集成电路问于集成电路用引线框架之行列,应用前景十分广阔,世以来,在随后的四十年间中集成电路的技术迅速目前已占据引线框架材料用量的70%。地得到了发展,目前集成电路的集成数已达数千万当今计算机和信息工业已成为世界各工业发达个。最早的集成电路用引线框架材料是Kovar合金国家的主导产业之一,集成电路和电子分离器件是(Fe229%Ni217%Co),到七十年代后由于Co的价格现代电子信息工业技术的核心,是电子、计算机和信暴涨,Kovar合金的价格
5、也随之急剧上扬。为此,人息工业发展的基础。世界工业发达国家都把电子、们致力于开发寻找其代用材料。经过几年的艰苦努计算机和信息工业做为国展经济优先发展基础产业力开发出Fe2Ni42合金。近年来随着电子、计算机和之一,电子、计算机和信息产业在世界各工业发达国信息工业的迅猛发展,集成电路向高性能化、微型化家的国民经济中始终保持着领先地位,九十年代突发展,Fe2Ni42合金的某些性能已满足不了要求,同破1万亿美元大关,已超过其它传统产业,成为世界收稿日期:2001201225作者简介:邬震泰(1963—),男,浙江杭州人,硕士,浙江大学工
6、程师,从事金属材料研究.·127·工业发达国家中发展国民经济的最大支柱产业之(4)应力松弛特性优良(热稳定性优良)一。近年来随着电子信息元件向轻薄短小化方向发(5)线膨胀率适当展,集成危路也向高集成化、微型化和高可靠性方向(6)耐腐蚀性能好发展,从而也促进了引线框架材料生产技术的进步(7)环境、安全、健康和发展,不但合金品种增多,带厚度减薄,而且品种2)引线框架材料加工要求的特性:也在不断增加。目前世界工业发达国家公开发表的(1)冷热加工性能良好就有70多种具有不同性能要求和用途的引线框架(2)弯曲、微细加工和刻蚀性能好合金,但是
7、各厂家的引线框架材料都有自己的合金(3)钎焊性能好,使用中不发生热剥离系列,如日本三菱伸铜的TAMAC系列,神户制钢的(4)电镀性能好(Ag,Pd,Ni,Au)[1～5]KLF系列,古河电工的EFTEC系列等。据有关(5)与树脂的密着性好资料报道,世界集成电路引线框架用铜带量,1988从部件功能方面的要求特性,就是高强度、高导年年产量已发展到6万吨,并以年平均为20%的递电率及与使用环境相适应的性能。同时,部件的微增率增长,仅日本1995年引线框架材料用量已超过型化速度日益加快,需要严格加工性的设计增多,如7万吨。目前世界引线框架
8、用铜带材的主要生产国引线框架材料的超薄化(0107～0115mm)和异型化,有日本、德国、美国和法国等国家。因此更增加了部件加工方面的要求特性的重要性。而我国对引线框架材料的研究开发起步较晚,引线框架材料更注重合金的机械性能和导电性目前的生产状况不
