Q03-JS-35母合金操作规范

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1、镇江市大成新能源有限公司文件编号P型母合金使用管理规范版本号：页码：第1页共2页生效日期：2014年9月1日1、目的为正确、规范地使用P型母合金，特制定本规范。2、适用范围适用于单晶生长用P型母合金的准备、制作和使用等特殊工艺操作。3、主要内容A.P型母合金的制作准备:由生产部门提出P型母合金的需求量，按照生产的需求量进行P型母合金的准备。B.P型母合金的制作来源:a.利用我们公司仓库现有的P型重掺（电阻率小于0.09Ω•cm）晶棒再切片（片厚1mm）制作或P型重掺晶片（电阻率小于0.09Ω•cm）直接制作P型母合金。b.购买硼粉拉制P型重掺（电阻率小于0.01Ω•cm）晶棒

2、再切片制作P型母合金。c.外购P型重掺（电阻率小于0.01Ω•cm）晶棒再切片制作或P型重掺晶片（电阻率小于0.01Ω•cm）直接制作P型母合金。C.P型母合金的制作:a.对P型重掺晶棒进行型号、电阻率初检，母合金的型号检测按GB/T1550执行，电阻率检测按GB/T1552执行。型号必须确保为P型，电阻率初检在P型母合金电阻率分档标准内再安排切片，若是P型重掺晶片初检合格直接进入下一步精检。b.切好片后对P型母合金片进行精检，按照P型母合金电阻率分档标准进行分档。精检时电阻率采用五点法测量，即测中心点、四个边缘点取平均电阻率。c.品管部对已分档好的P型母合金进行型号、电阻率

3、抽检。要求100%合格，否则需全部返工重新精检。d.将抽检合格后的P型母合金送去腐蚀、清洗、烘干，在此过程中各档母合金不得混合，要有专人跟踪。e.处理好的各档P型母合金要单独包装，注明型号、标称电阻率、重量入库。D.母合金的使用:a.生产部门管理人员根据生产原料配置、产品规格和现有P型母合金电阻率提出母合金配置需求。a.车间由专人从仓库领用P型母合金，根据母合金配置需求进行P型母合金称量，配置后标上母合金型号、电阻率、重量和适用生产原料配置、产品规格，交车间配料人员进行配料。镇江市大成新能源有限公司文件编号：P型母合金使用管理规范版本号：页码：第2页共2页生效日期：2014年

4、9月1日b.车间配料人员进行配料，将每炉生产原料、母合金和配料单交单晶生产人员。c.单晶生产人员在使用母合金后，认真作好母合金使用记录。记录母合金的掺杂时间、掺杂量及母合金的型号、电阻率等。1、相应记录直拉单晶操作记录2、附录P型母合金电阻率分档标准分档序号分档时母合金电阻率范围Ω•cm分档后母合金标称电阻率Ω•cm10.0021~0.00300.002520.0031~0.00400.003530.0041~0.00500.004540.0051~0.00600.005550.0061~0.00700.006560.0071~0.00800.007570.0081~0.00

5、900.008580.0091~0.0100.009590.011~0.0130.012100.014~0.0160.015110.017~0.0190.018120.020~0.0220.021130.023~0.0250.024140.026~0.0300.028150.031~0.0350.033160.036~0.0400.038170.041~0.0500.045180.051~0.0600.055190.061~0.0700.065200.071~0.0800.075210.081~0.0900.085批准审核编制修改履历页码内容状态备注