无尘室及空调设计施工规范

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1、无尘室及空调设计施工规范.txt用快乐去奔跑，用心去倾听，用思维去发展，用努力去奋斗，用目标去衡量，用爱去生活。钱多钱少，常有就好！人老人少，健康就好！家贫家富，和睦就好。本文由yunflame贡献doc文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。无尘室一般空调﹙无尘室一般空调﹙C/R&HVAC﹚系统﹚设计施工规范书设计施工规范书1.一般说明1.0一般说明1.1设计说明1.2.工程范围1.3.法规与标准1.4.文件图说1.5.适用条件2.产品／材料说明2.0一般说明2.1设计说明2.2.工程范围

2、2.3.法规与标准2.4.文件图说2.5.适用条件3.施工说明3.0一般说明3.1设计说明3.2.工程范围3.3.法规与标准3.4.文件图说3.5.适用条件1.1.设计说明:31.1.1.设计说明:洁净室环境必须保持精密而稳定的控制，使晶源制程不受环境的干扰。在不同的气候区，外气条件差异甚大，外气空调箱的设计调整洁净室空气质量。不同的天气季节，外气空调箱各单元所需要的设计容量符合全年气候变化。设计出最佳的外气空调箱设计型式。洁净室的环境主要以DRYCOIL控制温度与MAU控制湿度，亦控制其它如静电、气状污染物污染因子。洁净室内的

3、温、湿度条件一年四季均维持固定，洁净室温度设定值为22±2℃，相对湿度为50%RH±5。建厂的规划。广东地区的气候条件差异甚大。气温夏季为38℃，最冷的天气大约是7℃；在这种状况下，洁净室要保持固定的温、湿度，外气空调箱的设计必须随着气候区的不同而调整。然而，夏天通常为高温、高湿的气候，冬天则通常是低温与低湿的气候条件。外气空调箱(MAU)主要的功能，就是克服外在环境的变化，使进气可以调整到符合洁净室规格后，补充洁净室新鲜而质量稳定的进气。外气空调箱主要由除湿盘管、加热盘管、加湿器、风车与滤网所组成。当外气湿度高于洁净室需求时，

4、除湿盘管将外气温度降到露点而达到除湿目的；除湿后空气温度约8～9℃，低于洁净室的需求，再热盘管将温度提升到符合洁净室进气标准后送进洁净室的回风区。当冬季外气条件低于洁净室需求时，加热盘管将进气温度提升，而加湿器则补充不足的湿度。本洁净室以MAU+DRY、COIL+FFU组合。1.1.1.1.室外1.1.1.1.1.空调系统负荷计算参数及分析室内热负荷计算参数基准设定值夏季空气设计条件：干球温度：36.9℃、湿球温度：31.5℃。夏季平均室外风速及风向：2.5m/s、SW或NE。冬季空调设计条件：干球温度：5℃、相对湿度：70%冬

5、季平均室外风速及风向：3.2m/s、NE冷却水塔设计湿度球温度：29℃1.1.1.2.系统说明1.1.1.2.1.水系统分类1.1.1.2.1.1.冷却水系统：32℃～37℃。1.1.1.2.1.2.冰水系统：6℃～13℃。1.1.1.2.1.3.DryCoil系统：13℃～18℃。1.1.1.2.2.冷却水系统设置说明冷却水塔设于动力房屋外架高，采用方型低噪音冷却水塔减少噪音及振动产生，以达相关法规定。配合冰水主机分期设置，采购3台（2+1）1200RT冷却水塔，即可符合全建筑之需求。1.1.1.2.３.冰水系统设置说明1.1

6、.1.3.本期工程4全系统总量为1000RT*2，并备用一1000RT之空间作为未来冰水主机扩充使用。如此可符合本期之需求及机房空间最小使用量，且因运转容量约为0.9，此效率较全载运转用电更为节省(二台使用一台备用)。热负荷:如表附后1.1.1.3.1.冰水侧为VWV可变流量系统，多组区域冰水皆设压力传感器及温度感知器，经中央监控可分区计算各区空调使用量。1.1.1.3.2.各台空调箱机组设置冰水控制阀，可依各区室内负荷调整冰水量，维持室内温度条件及节约能源。1.1.1.3.3.冰水系统约分为4大系统：1.1.1.3.3.1.M

7、AU及机房空间空调。1.1.1.3.3.2.办公区空调。1.1.1.3.3.3DryCoilSystem。1.1.1.3.3.4.制程冷却水系统。1.1.1.3.4.冰水机房配置（一期）：1.1.1.3.4.1.空调冰水主机1000RT×2台(1000RT+1备用)1.1.1.3.4.2.冷却水塔1200RT×2台(1200RT+1备用)1.1.1.3.4.3.冷却水泵浦12000LPM×2台(12000LPM+1备用)1.1.1.3.4.4.冰水一次泵浦7800LPM×2台(7800LPM+1备用)1.1.1.3.4.5.冰水

8、二次泵浦含变频马达7200LPM×2台(7200LPM+1备用)出水温度为6℃出水温度为13℃1.1.1.3.5.冰水主机及泵浦等设备设置于动力房，冷却水塔安装于动力房屋面高架。1.1.1.4.室内设计条件total:1f：6890m2,ZoneDescript