厂务设施说明 - 集尘器气布比

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1、半導體與光電廠務設施半導體與光電廠務設施設施真空系統概說設施真空系統概說設施工程所採用之真空系統設施工程所採用之真空系統製程真空製程真空~~不作為直接對製程機台提供真空不作為直接對製程機台提供真空環境環境，，作為製程機台真空設備之末端抽氣作為製程機台真空設備之末端抽氣或產生粗略真空或產生粗略真空((如供真空吸筆用如供真空吸筆用))潔淨集塵系統潔淨集塵系統~~屬於負壓型的集塵系統屬於負壓型的集塵系統，，真真空度僅為粗略真空空度僅為粗略真空，，操作壓力介於排氣系操作壓力介於排氣系統與製程真空間統與製程真空間真空等級真空等級2粗略真空粗略真空:1:1atmatm~10

2、~10PaPa2~-1中度真空中度真空:10:101010PaPa-1~-5高真空高真空:10:101010PaPa-5~-8超高真空超高真空:10:101010PaPa-8極高真空極高真空:<:<1010PaPa氣流壓力範圍劃分氣流壓力範圍劃分氣流壓力範圍運用氣流壓力範圍運用真空泵選用範圍真空泵選用範圍水封式真空泵水封式真空泵保養容易：僅一轉動葉輪，無金屬摩擦面,故內部不須潤滑。排氣量大：氣體吸入後被封液冷卻，因此其排氣量較一般容積式泵浦大。出口溫度低：壓縮熱被封液吸住，故排氣溫度低。振動小：不須昂貴之基礎裝置。近似絕熱壓縮：對易爆氣體排氣安全性特

3、高。適用任何氣體：以水或其它液體作封液，葉輪採不銹鋼,適用於含水份﹑蒸氣﹑微粒固體及腐蝕性氣體之真空排氣。無脈動及噪音：真空度穩定，出口加裝消音器，噪音可完全消除。修護容易：使用超過年限時，葉輪與風座之間隙若磨損過大，在正常狀況下，只須將迫緊換薄，重新調整其間隙。水封式真空泵水封式真空泵NO.零件名稱NO.零件名稱NO.零件名稱NO.零件名稱100機殼131串接出口風座520軸承蓋9215軸承固定螺帽101機殼200葉輪521軸承蓋9410擋水環110托架201葉輪900滾珠軸承9430填料120入口風座210軸9015.1鍵9903調隙螺栓121出口風座500

4、軸承座9015.2鍵9906填料蓋130串接入口風座501軸承座9015.3鍵油封式真空泵油封式真空泵油封式真空泵性能曲線油封式真空泵性能曲線製程真空系統製程真空系統設施工程真空管路的尺寸選擇設施工程真空管路的尺寸選擇利用氣導方式計算利用氣導方式計算::可不必考慮氣體壓縮密度變可不必考慮氣體壓縮密度變化之效應化之效應，，但計算複雜管路系統但計算複雜管路系統((如設施工程如設施工程))不便不便利利，，多半運用於製程機台側的管路設計多半運用於製程機台側的管路設計利用質量流率守恒法利用質量流率守恒法::需考慮氣體壓縮密度變化需考慮氣體壓縮密度變化之效應之效應((可運用一

5、般流體力學上計算壓降的方式處可運用一般流體力學上計算壓降的方式處理問題理問題))壓降限制法壓降限制法::以不超過系統所設定真空度的以不超過系統所設定真空度的30%30%為為原則原則，，一般多用在只針對單點抽氣之系統一般多用在只針對單點抽氣之系統氣導方式氣導方式質量流率守恒質量流率守恒潔淨集塵系統潔淨集塵系統管路的選用管路的選用濾袋之分類濾袋之分類震盪式濾袋震盪式濾袋逆洗式濾袋逆洗式濾袋脈衝式濾袋脈衝式濾袋濾袋之清除濾袋之清除選用濾材考慮的因素選用濾材考慮的因素溫度溫度濾材表面處理濾材表面處理耐酸鹼性耐酸鹼性耐磨損性耐磨損性纖微的型式及種纖微的型式及種透氣

6、率透氣率類類撓曲應力撓曲應力織造方法織造方法補集效率補集效率濾材結構濾材結構選用濾布之要點選用濾布之要點廢氣溫度廢氣溫度粉塵形狀粉塵形狀廢氣化學性廢氣化學性粉塵濃度粉塵濃度質質粉塵逆洗方式粉塵逆洗方式露點露點集塵系統配置集塵系統配置酸露點酸露點集塵系統尺寸集塵系統尺寸粉塵粒徑粉塵粒徑氣氣//布比布比(Air(Air--ClothRatio,A/C)ClothRatio,A/C)定義定義::總廢氣量總廢氣量//濾布面積濾布面積(m/min)(m/min)ACAC過低會造成降低集塵效率過低會造成降低集塵效率，，降低濾布壽降低濾布壽命命機械

7、振盪式機械振盪式AC<1AC<1逆洗式逆洗式AC<1AC<1，，可耐高溫可耐高溫脈衝式脈衝式AC=1.5~3AC=1.5~3濾袋壓損濾袋壓損